초고전압 MOSFET용 4H-SiC 에피택셜 웨이퍼(100~500μm, 6인치)
상세도
제품 개요
전기 자동차, 스마트 그리드, 신재생 에너지 시스템 및 고출력 산업 장비의 급속한 성장은 더 높은 전압, 더 높은 전력 밀도 및 더 높은 효율을 처리할 수 있는 반도체 소자에 대한 시급한 필요성을 야기했습니다. 광대역 밴드갭 반도체 중에서도,탄화규소(SiC)넓은 밴드갭, 높은 열전도율, 그리고 우수한 임계 전기장 강도가 특징입니다.
우리의4H-SiC 에피택셜 웨이퍼다음과 같은 용도로 특별히 설계되었습니다.초고전압 MOSFET 응용 분야에피택셜 층의 범위는 다음과 같습니다.100μm ~ 500μm on 6인치(150mm) 기판이 웨이퍼는 뛰어난 결정 품질과 확장성을 유지하면서 kV급 장치에 필요한 확장된 드리프트 영역을 제공합니다. 표준 두께는 100μm, 200μm, 300μm이며, 맞춤 제작도 가능합니다.
에피택셜 층 두께
에피택셜 층은 MOSFET 성능을 결정하는 데 결정적인 역할을 하며, 특히 다음 요소들 간의 균형이 중요합니다.항복 전압그리고온 저항.
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100–200 μm중고전압 MOSFET에 최적화되어 뛰어난 전도 효율과 차단 강도의 균형을 제공합니다.
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200–500 μm: 초고전압 기기(10kV 이상)에 적합하며, 긴 드리프트 영역을 통해 견고한 항복 특성을 제공합니다.
전 범위에 걸쳐,두께 균일성은 ±2% 이내로 관리됩니다.이를 통해 웨이퍼 간, 배치 간 일관성을 보장합니다. 이러한 유연성을 통해 설계자는 대량 생산에서 재현성을 유지하면서 목표 전압 등급에 맞춰 디바이스 성능을 미세 조정할 수 있습니다.
제조 공정
당사의 웨이퍼는 다음을 사용하여 제작됩니다.최첨단 CVD(화학 기상 증착) 에피택시이 기술을 통해 매우 두꺼운 층에서도 두께, 도핑 및 결정 품질을 정밀하게 제어할 수 있습니다.
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CVD 에피택시– 고순도 가스와 최적화된 조건은 매끄러운 표면과 낮은 결함 밀도를 보장합니다.
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두꺼운 층 성장– 독자적인 공정 레시피를 통해 최대 에피택셜 두께까지 구현 가능500 μm균일성이 매우 뛰어납니다.
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도핑 관리– 농도 조절 가능1×10¹⁴ – 1×10¹⁶ cm⁻³균일도는 ±5%보다 우수합니다.
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표면 준비웨이퍼는 다음과 같은 과정을 거칩니다.CMP 연마또한 엄격한 검사를 통해 게이트 산화, 포토리소그래피 및 금속화와 같은 고급 공정과의 호환성을 보장합니다.
주요 장점
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초고전압 기능– 두꺼운 에피택셜 층(100~500μm)은 kV급 MOSFET 설계에 적합합니다.
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탁월한 크리스탈 품질– 낮은 전위 밀도와 기저면 결함 밀도는 신뢰성을 보장하고 누출을 최소화합니다.
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6인치 대형 기질대량 생산 지원, 기기당 비용 절감 및 제조 공정 호환성 확보.
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탁월한 열적 특성높은 열전도율과 넓은 밴드갭 덕분에 고출력 및 고온 환경에서도 효율적인 작동이 가능합니다.
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사용자 정의 가능한 매개변수두께, 도핑, 배향 및 표면 마감은 특정 요구 사항에 맞게 조정할 수 있습니다.
일반적인 사양
| 매개변수 | 사양 |
|---|---|
| 전도 유형 | N형(질소 도핑) |
| 저항률 | 어느 |
| 축외각 | 4° ± 0.5° ([11-20] 방향) |
| 결정 방향 | (0001) Si면 |
| 두께 | 200~300μm (맞춤 제작 가능 범위: 100~500μm) |
| 표면 마감 | 전면: CMP 연마 처리(에피네프린팅 준비 완료) 후면: 래핑 또는 연마 처리 |
| 티비 | ≤ 10 μm |
| 활/워프 | ≤ 20 μm |
적용 분야
4H-SiC 에피택셜 웨이퍼는 다음과 같은 용도에 이상적입니다.초고전압 시스템의 MOSFET, 포함:
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전기 자동차용 트랙션 인버터 및 고전압 충전 모듈
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스마트 그리드 송배전 장비
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재생에너지 인버터(태양광, 풍력, 에너지 저장 장치)
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고출력 산업용 전원 공급 장치 및 스위칭 시스템
자주 묻는 질문
Q1: 전도 유형은 무엇입니까?
A1: N형, 질소 도핑 — MOSFET 및 기타 전력 소자의 업계 표준
Q2: 사용 가능한 에피택셜 두께는 무엇입니까?
A2: 100~500μm, 표준 옵션은 100μm, 200μm, 300μm입니다. 맞춤형 두께는 요청 시 제공 가능합니다.
Q3: 웨이퍼 방향과 오프축 각도는 무엇입니까?
A3: (0001) Si면, [11-20] 방향으로 4° ± 0.5° 오프축.
회사 소개
XKH는 특수 광학 유리 및 신형 결정 소재의 첨단 개발, 생산 및 판매 전문 기업입니다. 당사의 제품은 광전자, 소비자 가전 및 군사 분야에 사용됩니다. 사파이어 광학 부품, 휴대폰 렌즈 커버, 세라믹, LT, 탄화규소(SIC), 석영 및 반도체 결정 웨이퍼 등을 제공합니다. 숙련된 전문가와 최첨단 설비를 바탕으로 비표준 제품 가공에 탁월한 역량을 발휘하며, 광전자 소재 분야의 선도적인 첨단 기술 기업으로 성장하는 것을 목표로 합니다.
