3인치 직경(76.2mm) SiC 기판, HPSI Prime Research 및 Dummy 등급
탄화규소 기판은 두 가지 범주로 나눌 수 있다.
전도성 기판: 15~30mΩ·cm의 비저항을 갖는 탄화규소 기판을 의미합니다. 이 전도성 탄화규소 기판에서 성장시킨 탄화규소 에피택셜 웨이퍼는 신에너지 자동차, 태양광 발전, 스마트 그리드, 철도 운송 등 다양한 분야에서 널리 사용되는 전력 소자로 제작될 수 있습니다.
반절연 기판은 저항률이 100,000Ω·cm 이상인 탄화규소 기판을 말하며, 주로 질화갈륨 마이크로파 무선 주파수 장치 제조에 사용되고 무선 통신 분야의 기반이 됩니다.
이는 무선 통신 분야의 기본 구성 요소입니다.
탄화규소 전도성 및 반절연성 기판은 다음을 포함하되 이에 국한되지 않는 다양한 전자 기기 및 전력 기기에 사용됩니다.
고출력 반도체 소자(전도성): 탄화규소 기판은 높은 항복 전계 강도와 열전도율을 가지며, 고출력 파워 트랜지스터, 다이오드 등의 소자 생산에 적합합니다.
RF 전자 장치(반절연): 탄화규소 기판은 높은 스위칭 속도와 전력 내성을 가지므로 RF 전력 증폭기, 마이크로파 장치 및 고주파 스위치와 같은 응용 분야에 적합합니다.
광전자 소자(반절연): 탄화규소 기판은 넓은 에너지 밴드갭과 높은 열 안정성을 가지고 있어 포토다이오드, 태양 전지, 레이저 다이오드 등의 소자 제작에 적합합니다.
온도 센서(전도성): 탄화규소 기판은 높은 열전도율과 열 안정성을 지니고 있어 고온 센서 및 온도 측정 기기 생산에 적합합니다.
탄화규소 전도성 및 반절연성 기판의 생산 공정 및 응용 분야는 광범위한 분야와 잠재력을 지니고 있어 전자 기기 및 전력 기기 개발에 새로운 가능성을 제시합니다.
상세도
