반도체, 광자 광학 응용 분야용 고순도 용융 석영 웨이퍼 2″4″6″8″12″
상세도
석영 유리 개요
석영 웨이퍼는 오늘날 디지털 세상을 움직이는 수많은 현대 기기의 핵심 소재입니다. 스마트폰 내비게이션부터 5G 기지국의 핵심 회로에 이르기까지, 석영은 고성능 전자 및 광자 장치에 필요한 안정성, 순도 및 정밀도를 안정적으로 제공합니다. 유연한 회로를 지원하거나, MEMS 센서를 구현하거나, 양자 컴퓨팅의 기반을 형성하는 등, 석영의 고유한 특성은 다양한 산업 분야에서 없어서는 안 될 필수 요소입니다.
용융 실리카 또는 용융 석영은 석영(SiO2)의 비정질상입니다. 붕규산 유리와 달리 용융 실리카는 첨가제가 없어 순수한 SiO2 형태로 존재합니다. 용융 실리카는 일반 유리보다 적외선 및 자외선 영역에서 투과율이 높습니다. 용융 실리카는 초고순도 SiO2를 녹였다가 다시 응고시켜 생산합니다. 반면 합성 용융 실리카는 SiCl4와 같은 실리콘이 풍부한 화학 전구체를 기화시킨 후 H2 + O2 분위기에서 산화시켜 만듭니다. 이렇게 생성된 SiO2 분진을 기판 위에 용융시켜 실리카를 형성합니다. 용융 실리카 블록을 웨이퍼로 절단한 후 최종적으로 연마합니다.
석영 유리 웨이퍼의 주요 특징 및 장점
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초고순도(이산화규소 99.99% 이상)
재료 오염을 최소화해야 하는 초청정 반도체 및 광자 공정에 이상적입니다. -
넓은 열 작동 범위
극저온부터 1100°C 이상의 고온까지 변형이나 열화 없이 구조적 무결성을 유지합니다. -
뛰어난 자외선 및 적외선 투과율
심자외선(DUV)부터 근적외선(NIR)까지 탁월한 광학적 선명도를 제공하여 정밀 광학 응용 분야를 지원합니다. -
낮은 열팽창 계수
온도 변화에 따른 치수 안정성을 향상시켜 응력을 줄이고 공정 신뢰성을 높입니다. -
탁월한 내화학성
대부분의 산, 알칼리 및 용매에 대해 불활성이므로 화학적으로 부식성이 강한 환경에 매우 적합합니다. -
표면 마감 유연성
매우 매끄러운 단면 또는 양면 연마 마감으로 제공되며, 포토닉스 및 MEMS 요구 사항과 호환됩니다.
석영 유리 웨이퍼의 제조 공정
용융 석영 웨이퍼는 일련의 제어되고 정밀한 단계를 통해 생산됩니다.
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원자재 선택
고순도 천연 석영 또는 합성 SiO₂ 공급원 선택. -
용융과 융합
석영은 불순물과 기포를 제거하기 위해 제어된 분위기 하에서 전기 용광로에서 약 2000°C로 용융됩니다. -
블록 성형
용융된 실리카는 냉각되어 고체 덩어리 또는 주괴가 됩니다. -
웨이퍼 슬라이싱
정밀 다이아몬드 톱이나 와이어 톱을 사용하여 잉곳을 웨이퍼 블랭크로 절단합니다. -
연마 및 광택
두 표면 모두 정확한 광학적, 두께 및 거칠기 사양을 충족하도록 평평하게 하고 연마했습니다. -
청소 및 점검
웨이퍼는 ISO 100/1000 등급의 클린룸에서 세척되며, 결함 및 치수 적합성에 대한 엄격한 검사를 거칩니다.
석영 유리 웨이퍼의 특성
| 투기 | 단위 | 4" | 6" | 8" | 10인치 | 12인치 |
|---|---|---|---|---|---|---|
| 지름/크기 (또는 정사각형) | mm | 100 | 150 | 200 | 250 | 300 |
| 허용 오차(±) | mm | 0.2 | 0.2 | 0.2 | 0.2 | 0.2 |
| 두께 | mm | 0.10 이상 | 0.30 이상 | 0.40 이상 | 0.50 이상 | 0.50 이상 |
| 기본 참조 평면 | mm | 32.5 | 57.5 | 반노치 | 반노치 | 반노치 |
| LTV (5mm×5mm) | μm | < 0.5 | < 0.5 | < 0.5 | < 0.5 | < 0.5 |
| 티비 | μm | < 2 | < 3 | < 3 | < 5 | < 5 |
| 절하다 | μm | ±20 | ±30 | ±40 | ±40 | ±40 |
| 경사 | μm | ≤ 30 | ≤ 40 | ≤ 50 | ≤ 50 | ≤ 50 |
| PLTV(5mm×5mm) < 0.4μm | % | 95% 이상 | 95% 이상 | 95% 이상 | 95% 이상 | 95% 이상 |
| 모서리 둥글게 처리 | mm | SEMI M1.2 표준 준수 / IEC62276 참조 | ||||
| 표면 유형 | 단면 광택 / 양면 광택 | |||||
| 광택 처리된 측면 Ra | nm | ≤1 | ≤1 | ≤1 | ≤1 | ≤1 |
| 뒷면 기준 | μm | 일반 0.2-0.7 또는 사용자 지정 | ||||
석영과 기타 투명 소재 비교
| 재산 | 석영 유리 | 붕규산 유리 | 사파이어 | 표준 유리 |
|---|---|---|---|---|
| 최대 작동 온도 | 약 1100°C | 약 500°C | 약 2000°C | 약 200°C |
| 자외선 투과율 | 훌륭함 (JGS1) | 가난한 | 좋은 | 매우 가난함 |
| 내화학성 | 훌륭한 | 보통의 | 훌륭한 | 가난한 |
| 청정 | 매우 높은 | 낮음~중간 | 높은 | 낮은 |
| 열팽창 | 매우 낮음 | 보통의 | 낮은 | 높은 |
| 비용 | 중상급 | 낮은 | 높은 | 매우 낮음 |
석영 유리 웨이퍼 관련 FAQ
Q1: 용융 석영과 용융 규사의 차이점은 무엇인가요?
둘 다 이산화규소(SiO₂)의 비정질 형태이지만, 용융 석영은 일반적으로 천연 석영에서 추출되는 반면, 용융 실리카는 합성으로 생산됩니다. 기능적으로는 유사한 성능을 제공하지만, 용융 실리카가 순도와 균질성이 약간 더 높을 수 있습니다.
Q2: 용융 석영 웨이퍼는 고진공 환경에서 사용할 수 있습니까?
네. 용융 석영 웨이퍼는 가스 방출량이 적고 열 저항성이 높아 진공 시스템 및 항공우주 분야에 매우 적합합니다.
Q3: 이 웨이퍼는 심자외선 레이저 응용 분야에 적합한가요?
물론입니다. 용융 석영은 약 185nm까지 높은 투과율을 가지고 있어 심자외선 광학 장치, 리소그래피 마스크 및 엑시머 레이저 시스템에 이상적입니다.
Q4: 맞춤형 웨이퍼 제작을 지원하시나요?
네. 직경, 두께, 표면 품질, 평면/노치, 레이저 패턴 등 고객의 특정 용도 요구 사항에 따라 완벽한 맞춤 제작이 가능합니다.
회사 소개
XKH는 특수 광학 유리 및 신형 결정 소재의 첨단 개발, 생산 및 판매 전문 기업입니다. 당사의 제품은 광전자, 소비자 가전 및 군사 분야에 사용됩니다. 사파이어 광학 부품, 휴대폰 렌즈 커버, 세라믹, LT, 탄화규소(SIC), 석영 및 반도체 결정 웨이퍼 등을 제공합니다. 숙련된 전문가와 최첨단 설비를 바탕으로 비표준 제품 가공에 탁월한 역량을 발휘하며, 광전자 소재 분야의 선도적인 첨단 기술 기업으로 성장하는 것을 목표로 합니다.
