SiC 사파이어 Si GAAs 웨이퍼용 실리콘 카바이드 세라믹 척
상세도
탄화규소(SiC) 세라믹 척 개요
그만큼탄화규소 세라믹 척반도체 검사, 웨이퍼 제조 및 접합 응용 분야를 위해 설계된 고성능 플랫폼입니다. 첨단 세라믹 소재를 사용하여 제작되었습니다.소결 실리콘 카바이드(SSiC), 반응 결합형 SiC(RSiC), 질화규소, 그리고질화알루미늄—그것은 제공합니다높은 강성, 낮은 열팽창률, 뛰어난 내마모성 및 긴 수명.
정밀 엔지니어링과 최첨단 연마 기술을 통해 제작된 이 척은 뛰어난 성능을 제공합니다.서브마이크론 수준의 평탄도, 거울처럼 매끄러운 표면, 그리고 장기적인 치수 안정성따라서 중요한 반도체 공정에 이상적인 솔루션입니다.
주요 장점
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고정밀도
평탄도는 다음과 같이 제어됩니다.0.3–0.5 μm웨이퍼의 안정성과 일관된 공정 정확도를 보장합니다. -
거울처럼 광택을 내다
달성하다Ra 0.02 μm표면 거칠기가 적어 웨이퍼 긁힘과 오염을 최소화하므로 초청정 환경에 적합합니다. -
초경량
석영이나 금속 기판보다 강하면서도 가벼워 동작 제어, 반응성 및 위치 정확도가 향상됩니다. -
높은 강성
탁월한 영률은 고하중 및 고속 작동 조건에서도 치수 안정성을 보장합니다. -
낮은 열팽창률
CTE(열팽창 계수)가 실리콘 웨이퍼와 매우 유사하여 열 스트레스를 줄이고 공정 신뢰성을 향상시킵니다. -
탁월한 내마모성
극도로 단단한 재질 덕분에 장기간 고빈도 사용 환경에서도 평탄도와 정밀도를 유지합니다.
제조 공정
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원료 준비
입자 크기가 제어되고 불순물 함량이 극히 낮은 고순도 SiC 분말. -
성형 및 소결
다음과 같은 기술무압 소결(SSiC) or 반응 결합(RSiC)밀도가 높고 균일한 세라믹 기판을 생산합니다. -
정밀 가공
CNC 연삭, 레이저 트리밍 및 초정밀 가공을 통해 ±0.01mm의 공차와 ≤3μm의 평행도를 달성합니다. -
표면 처리
Ra 0.02 μm까지 다단계 연삭 및 연마 처리; 부식 방지 또는 맞춤형 마찰 특성 향상을 위한 코팅 옵션 제공. -
검사 및 품질 관리
간섭계와 표면 거칠기 측정기는 반도체 등급 사양 준수 여부를 검증합니다.
기술 사양
| 매개변수 | 값 | 단위 |
|---|---|---|
| 평탄 | ≤0.5 | μm |
| 웨이퍼 크기 | 6인치, 8인치, 12인치 (맞춤 제작 가능) | — |
| 표면 유형 | 핀 타입 / 링 타입 | — |
| 핀 높이 | 0.05–0.2 | mm |
| 최소 핀 직경 | ϕ0.2 | mm |
| 최소 핀 간격 | 3 | mm |
| 최소 씰링 링 너비 | 0.7 | mm |
| 표면 거칠기 | Ra 0.02 | μm |
| 두께 공차 | ±0.01 | mm |
| 직경 공차 | ±0.01 | mm |
| 평행성 허용 오차 | ≤3 | μm |
주요 응용 분야
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반도체 웨이퍼 검사 장비
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웨이퍼 제조 및 전송 시스템
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웨이퍼 본딩 및 패키징 도구
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첨단 광전자 장치 제조
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극도로 평평하고 깨끗한 표면이 요구되는 정밀 기기
질의응답 – 탄화규소 세라믹 척
Q1: SiC 세라믹 척은 석영 또는 금속 척과 비교했을 때 어떤 차이점이 있습니까?
A1: SiC 척은 더 가볍고, 더 단단하며, 실리콘 웨이퍼와 유사한 열팽창 계수를 가지고 있어 열 변형을 최소화합니다. 또한 뛰어난 내마모성과 더 긴 수명을 제공합니다.
Q2: 어느 정도의 평탄도를 달성할 수 있습니까?
A2: 내부에서 제어됨0.3–0.5 μm반도체 생산의 엄격한 요구 사항을 충족합니다.
Q3: 표면이 웨이퍼에 흠집을 낼까요?
A3: 아니요—거울처럼 광택 처리됨Ra 0.02 μm긁힘 없는 취급과 입자 발생 감소를 보장합니다.
Q4: 지원되는 웨이퍼 크기는 무엇입니까?
A4: 표준 크기6인치, 8인치, 12인치맞춤 설정이 가능합니다.
Q5: 열 저항은 어떻습니까?
A5: SiC 세라믹은 열 순환 과정에서 최소한의 변형으로 탁월한 고온 성능을 제공합니다.
회사 소개
XKH는 특수 광학 유리 및 신형 결정 소재의 첨단 개발, 생산 및 판매 전문 기업입니다. 당사의 제품은 광전자, 소비자 가전 및 군사 분야에 사용됩니다. 사파이어 광학 부품, 휴대폰 렌즈 커버, 세라믹, LT, 탄화규소(SIC), 석영 및 반도체 결정 웨이퍼 등을 제공합니다. 숙련된 전문가와 최첨단 설비를 바탕으로 비표준 제품 가공에 탁월한 역량을 발휘하며, 광전자 소재 분야의 선도적인 첨단 기술 기업으로 성장하는 것을 목표로 합니다.
