탄화규소 세라믹 트레이 – 열 및 화학 응용 분야에 적합한 내구성이 뛰어나고 성능이 우수한 트레이
상세도
제품 소개
탄화규소(SiC) 세라믹 트레이는 고온, 고하중 및 화학적으로 가혹한 산업 환경에서 널리 사용되는 고성능 부품입니다. 첨단 탄화규소 세라믹 소재로 설계된 이 트레이는 탁월한 기계적 강도, 우수한 열전도율, 그리고 열충격, 산화 및 부식에 대한 뛰어난 저항성을 제공합니다. 이러한 견고한 특성 덕분에 반도체 제조, 태양광 발전 공정, 분말 야금 부품 소결 등 다양한 산업 분야에 매우 적합합니다.
탄화규소 트레이는 치수 정확도, 구조적 안정성 및 내화학성이 중요한 열처리 공정에서 필수적인 운반체 또는 지지대 역할을 합니다. 알루미나나 멀라이트와 같은 기존 세라믹 소재와 비교했을 때, 탄화규소 트레이는 특히 반복적인 열 순환 및 부식성 환경 조건에서 훨씬 뛰어난 성능을 제공합니다.
제조 공정 및 재료 구성
SiC 세라믹 트레이 생산에는 고밀도, 균일한 미세구조 및 일관된 성능을 보장하기 위해 정밀 엔지니어링과 첨단 소결 기술이 필요합니다. 일반적인 단계는 다음과 같습니다.
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원자재 선택
높은 순도의 탄화규소 분말(≥99%)을 선택하며, 종종 특정 입자 크기 제어 및 최소한의 불순물을 통해 우수한 기계적 및 열적 특성을 보장합니다. -
형성 방법
트레이 사양에 따라 다양한 성형 기술이 사용됩니다.-
고밀도, 균일한 압축체를 위한 냉간 등방압 성형(CIP)
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복잡한 형상의 경우 압출 또는 슬립 캐스팅
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정밀하고 세밀한 형상 구현을 위한 사출 성형
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소결 기술
성형체는 일반적으로 2000°C 범위의 초고온에서 불활성 또는 진공 분위기 하에 소결됩니다. 일반적인 소결 방법에는 다음이 포함됩니다.-
반응 결합형 SiC(RB-SiC)
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무가압 소결 SiC(SSiC)
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재결정화된 SiC(RBSiC)
각 방법은 다공성, 강도 및 열전도율과 같은 재료 특성에 약간씩 다른 결과를 가져옵니다.
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정밀 가공
소결 후, 트레이는 정밀한 치수 공차, 매끄러운 표면 마감 및 평탄도를 얻기 위해 가공됩니다. 래핑, 연삭 및 연마와 같은 표면 처리는 고객의 요구에 따라 적용될 수 있습니다.
일반적인 적용 사례
탄화규소 세라믹 트레이는 다용도성과 내구성 덕분에 다양한 산업 분야에서 사용됩니다. 일반적인 적용 분야는 다음과 같습니다.
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반도체 산업
SiC 트레이는 웨이퍼 어닐링, 확산, 산화, 에피택시 및 이온 주입 공정에서 캐리어로 사용됩니다. SiC 트레이의 안정성은 균일한 온도 분포와 최소한의 오염을 보장합니다. -
태양광(PV) 산업
태양 전지 생산에서 SiC 트레이는 고온 확산 및 소결 단계 동안 실리콘 잉곳 또는 웨이퍼를 지지하는 역할을 합니다. -
분말야금 및 세라믹
금속 분말, 세라믹 및 복합 재료의 소결 과정에서 구성 요소를 지지하는 데 사용됩니다. -
유리 및 디스플레이 패널
특수 유리, LCD 기판 또는 기타 광학 부품 제조용 가마 트레이 또는 플랫폼으로 사용됩니다. -
화학 공정 및 열로
화학 반응기에서 내식성 담체로 사용되거나 진공 및 제어 분위기 용광로에서 열 지지 트레이로 사용됩니다.
주요 성능 특징
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✅탁월한 열 안정성
최대 1600~2000°C의 온도에서 지속적으로 사용해도 변형이나 성능 저하가 발생하지 않습니다. -
✅높은 기계적 강도
높은 굽힘 강도(일반적으로 >350 MPa)를 제공하여 고하중 조건에서도 장기간 내구성을 보장합니다. -
✅열충격 저항성
급격한 온도 변화가 있는 환경에서도 탁월한 성능을 발휘하여 균열 발생 위험을 최소화합니다. -
✅부식 및 산화 저항성
대부분의 산, 알칼리 및 산화/환원 가스에서 화학적으로 안정하며, 가혹한 화학 공정에 적합합니다. -
✅치수 정확도 및 평탄도
높은 정밀도로 가공되어 균일한 가공과 자동화 시스템과의 호환성을 보장합니다. -
✅긴 수명 및 비용 효율성
낮은 교체율과 유지보수 비용 절감으로 장기적으로 비용 효율적인 솔루션이 됩니다.
기술 사양
| 매개변수 | 일반적인 값 |
|---|---|
| 재료 | 반응 결합 SiC / 소결 SiC |
| 최대 작동 온도 | 1600–2000°C |
| 굽힘 강도 | ≥350 MPa |
| 밀도 | ≥3.0 g/cm³ |
| 열전도율 | 약 120~180 W/m·K |
| 표면 평탄도 | ≤ 0.1 mm |
| 두께 | 5~20mm (맞춤 설정 가능) |
| 치수 | 표준 크기: 200×200mm, 300×300mm 등 |
| 표면 마감 | 정밀 가공 및 연마 (요청 시) |
자주 묻는 질문(FAQ)
Q1: 탄화규소 트레이를 진공로에 사용할 수 있습니까?
A:네, SiC 트레이는 가스 방출량이 적고 화학적으로 안정적이며 고온에 강하기 때문에 진공 환경에 이상적입니다.
Q2: 사용자 지정 모양이나 슬롯을 사용할 수 있습니까?
A:물론입니다. 저희는 고객의 특별한 요구 사항을 충족하기 위해 트레이 크기, 모양, 표면 특징(예: 홈, 구멍) 및 표면 연마를 포함한 맞춤 제작 서비스를 제공합니다.
Q3: SiC는 알루미나 또는 석영 트레이와 비교했을 때 어떤 차이가 있습니까?
A:SiC는 강도가 높고 열전도율이 우수하며 열충격 및 화학적 부식에 대한 저항성이 뛰어납니다. 알루미나가 가격 경쟁력은 더 높지만, SiC는 까다로운 환경에서 더 나은 성능을 발휘합니다.
질문 4: 이 트레이의 표준 두께가 있나요?
A:두께는 일반적으로 5~20mm 범위이지만, 용도 및 하중 지지 요구 사항에 따라 조정할 수 있습니다.
Q5: 맞춤형 SiC 트레이의 일반적인 리드 타임은 얼마입니까?
A:제작 기간은 주문의 복잡성과 수량에 따라 다르지만, 일반적으로 맞춤 주문의 경우 2~4주 정도 소요됩니다.
회사 소개
XKH는 특수 광학 유리 및 신형 결정 소재의 첨단 개발, 생산 및 판매 전문 기업입니다. 당사의 제품은 광전자, 소비자 가전 및 군사 분야에 사용됩니다. 사파이어 광학 부품, 휴대폰 렌즈 커버, 세라믹, LT, 탄화규소(SIC), 석영 및 반도체 결정 웨이퍼 등을 제공합니다. 숙련된 전문가와 최첨단 설비를 바탕으로 비표준 제품 가공에 탁월한 역량을 발휘하며, 광전자 소재 분야의 선도적인 첨단 기술 기업으로 성장하는 것을 목표로 합니다.











