사파이어 에피층 웨이퍼의 100mm 4인치 GaN 질화갈륨 에피택셜 웨이퍼

질화 갈륨 에피택시 시트는 넓은 밴드 갭, 높은 항복 전계 강도, 높은 열 전도성, 높은 전자 포화 드리프트 속도, 강한 방사선 저항 및 높은 특성과 같은 우수한 특성을 갖는 3세대 와이드 밴드 갭 반도체 에피택시 재료의 대표적인 대표 제품입니다. 화학적 안정성.

제품 세부정보

(1) 고온 베이킹, 사파이어 기판은 먼저 수소 분위기에서 1050℃로 가열되며, 목적은 기판 표면을 청소하는 것입니다.

(2) 기판 온도가 510℃로 떨어지면 사파이어 기판 표면에 30nm 두께의 저온 GaN/AlN 버퍼층이 증착됩니다.

(3) 온도를 10℃까지 상승시키고, 반응 가스인 암모니아, 트리메틸갈륨 및 실란을 주입하고 각각 해당 유량을 제어하여 4um 두께의 실리콘 도핑된 N형 GaN을 성장시킨다.

(4) 트리메틸 알루미늄과 트리메틸 갈륨의 반응 가스를 사용하여 두께 0.15um의 실리콘 도핑된 N형 A⒑ 대륙을 제조했습니다.

(5) 50nm Zn 도핑 InGaN은 트리메틸갈륨, 트리메틸인듐, 디에틸아연 및 암모니아를 800℃의 온도에서 주입하고 각각 다른 유량을 제어하여 제조되었습니다.

(6) 온도를 1020℃로 올리고 트리메틸알루미늄, 트리메틸갈륨, 비스(사이클로펜타디에닐)마그네슘을 주입하여 0.15um Mg 도핑된 P형 AlGaN과 0.5um Mg 도핑된 P형 G 혈당을 제조한다.

(7) 고품질 P형 GaN Sibuyan 필름은 700℃의 질소 분위기에서 어닐링하여 얻어졌습니다.

(8) N형 G 정체 표면을 드러내기 위해 P형 G 정체 표면을 에칭하는 단계;

(9) p-GaNI 표면의 Ni/Au 접촉판을 증발시키고, ll-GaN 표면의 △/Al 접촉판을 증발시켜 전극을 형성한다.

목	GaN-TCU-C100	GaN-TCN-C100
치수	전자 100mm ± 0.1mm
두께	4.5±0.5 um 사용자 정의 가능
정위	C면(0001) ±0.5°
전도 유형	N형(Undoped)	N형(Si 도핑)
저항률(300K)	< 0.5Q・cm	< 0.05 Q・cm
캐리어 농도	< 5x10¹⁷센티미터^-3	> 1x10¹⁸센티미터^-3
유동성	~ 300cm²/대	~ 200cm²/대
전위 밀도	5x10 미만⁸센티미터^-2(XRD의 FWHM로 계산)
기판 구조	사파이어 GaN(표준: SSP 옵션: DSP)
사용 가능한 표면적	> 90%
패키지	질소 분위기 하에서 클래스 100 클린룸 환경, 25개짜리 카세트 또는 단일 웨이퍼 용기에 포장됩니다.