4인치 사파이어 웨이퍼 C-Plane SSP/DSP 0.43mm 0.65mm

4인치 사파이어 웨이퍼 C-평면 SSP/DSP 0.43mm 0.65mm 주요 이미지

간단한 설명:

사파이어는 물리적, 화학적, 광학적 특성이 독특하게 결합된 소재로 고온, 열충격, 물 및 모래 침식, 긁힘에 대한 저항성을 갖습니다.

제품 상세 정보

제품 태그

응용

● III-V 및 II-VI 화합물의 성장 기질.
● 전자공학 및 광전자공학.
● IR 애플리케이션.
● 실리콘 온 사파이어 집적회로(SOS).
● 무선 주파수 집적 회로(RFIC).
LED 생산에서 사파이어 웨이퍼는 전류가 가해질 때 빛을 방출하는 질화갈륨(GaN) 결정 성장을 위한 기판으로 사용됩니다.사파이어는 GaN과 유사한 결정 구조와 열팽창 계수를 갖고 있어 결함을 최소화하고 결정 품질을 향상시키기 때문에 GaN 성장에 이상적인 기판 재료입니다.

광학 분야에서 사파이어 웨이퍼는 높은 투명성과 경도로 인해 적외선 이미징 시스템뿐만 아니라 고압 및 고온 환경에서 창 및 렌즈로 사용됩니다.

사양

안건	4인치 C-plane(0001) 650μm 사파이어 웨이퍼
크리스탈 재료	99,999%, 고순도, 단결정 Al2O3
등급	프라임, Epi-Ready
표면 방향	C면(0001)
	M축을 향한 C면 오프 각도 0.2 +/- 0.1°
지름	100.0mm +/- 0.1mm
두께	650μm +/- 25μm
기본 평면 방향	A면(11-20) +/- 0.2°
1차 플랫 길이	30.0mm +/- 1.0mm
단면 광택	전면	Epi-polished, Ra < 0.2 nm(AFM 기준)
(SSP)	뒷면	미세 연삭, Ra = 0.8μm ~ 1.2μm
양면 광택	전면	Epi-polished, Ra < 0.2 nm(AFM 기준)
(DSP)	뒷면	Epi-polished, Ra < 0.2 nm(AFM 기준)
TTV	< 20μm
절하다	< 20μm
경사	< 20μm
청소/포장	클래스 100 클린룸 청소 및 진공 포장,
	1개의 카세트 포장 또는 단일 포장에 25개.