12인치(300mm) 전면 개방형 운송 상자 FOSB 웨이퍼 캐리어 상자 25개 용량 웨이퍼 취급 및 운송 자동화 작업
주요 특징
| 특징 | 설명 |
| 웨이퍼 용량 | 25개 슬롯300mm 웨이퍼에 대해 웨이퍼 운송 및 보관을 위한 고밀도 솔루션을 제공합니다. |
| 규정 준수 | 충분히반도체/FIMS그리고AMHS반도체 제조 공장의 자동화된 자재 취급 시스템과의 호환성을 보장합니다. |
| 자동화된 작업 | 을 위해 설계되었습니다자동화된 처리인간 상호 작용을 줄이고 오염 위험을 최소화합니다. |
| 수동 처리 옵션 | 인간의 개입이 필요한 상황이나 자동화되지 않은 프로세스 중에 수동 접근이 가능한 유연성을 제공합니다. |
| 재료 구성 | 에서 만들어짐초고청정, 저가스 발생 소재입자 발생 및 오염 위험을 줄입니다. |
| 웨이퍼 유지 시스템 | 고급의웨이퍼 유지 시스템운송 중 웨이퍼가 움직일 위험을 최소화하여 웨이퍼가 제자리에 안전하게 고정되도록 보장합니다. |
| 청결 디자인 | 반도체 생산에 필요한 높은 기준을 유지하면서 입자 발생 및 오염 위험을 줄이도록 특별히 설계되었습니다. |
| 내구성 및 강도 | 운송 중 발생하는 혹독한 환경을 견디는 동시에 운반대의 구조적 무결성을 유지하기 위해 고강도 소재로 제작되었습니다. |
| 사용자 정의 | 제안사용자 정의 옵션다양한 웨이퍼 크기나 운송 요구 사항에 맞게 고객이 상자를 자신의 요구 사항에 맞게 조정할 수 있습니다. |
자세한 기능
300mm 웨이퍼용 25슬롯 용량
eFOSB 웨이퍼 캐리어는 최대 25개의 300mm 웨이퍼를 수용하도록 설계되었으며, 각 슬롯은 정밀한 간격으로 배치되어 웨이퍼의 안정적인 배치를 보장합니다. 이러한 설계는 웨이퍼 간 접촉을 방지하면서 웨이퍼를 효율적으로 적재할 수 있도록 하여 긁힘, 오염 또는 기계적 손상의 위험을 줄여줍니다.
자동 처리
eFOSB 박스는 반도체 생산 과정에서 웨이퍼 이동을 간소화하고 처리량을 높이는 데 도움이 되는 자동 자재 취급 시스템(AMHS)과 함께 사용하도록 최적화되어 있습니다. 공정을 자동화함으로써 오염이나 손상과 같은 인적 취급 관련 위험을 크게 최소화합니다. eFOSB 박스는 수평 및 수직 방향 모두에서 자동으로 취급되도록 설계되어 원활하고 안정적인 운송 과정을 가능하게 합니다.
수동 처리 옵션
자동화가 우선시되지만, eFOSB 박스는 수동 처리 옵션과도 호환됩니다. 이러한 이중 기능은 자동화 시스템이 없는 곳으로 웨이퍼를 옮기거나 추가적인 정밀성이나 주의가 필요한 상황처럼 사람의 개입이 필요한 상황에서 유용합니다.
초고청정, 저가스 발생 소재
eFOSB 박스에 사용되는 소재는 낮은 가스 방출 특성을 위해 특별히 선정되어 웨이퍼를 오염시킬 수 있는 휘발성 화합물의 방출을 방지합니다. 또한, 이 소재는 입자에 대한 저항성이 매우 뛰어나 웨이퍼 운송 중 오염을 방지하는 데 중요한 요소이며, 특히 청결이 매우 중요한 환경에서 더욱 그렇습니다.
파티클 생성 방지
이 상자의 디자인은 취급 중 입자 발생을 방지하기 위한 특수 기능을 포함하고 있습니다. 이를 통해 웨이퍼가 오염되지 않도록 보장하는데, 이는 아주 작은 입자라도 심각한 결함을 유발할 수 있는 반도체 제조에 매우 중요합니다.
내구성 및 신뢰성
eFOSB 상자는 운송 중 발생하는 물리적 충격을 견딜 수 있는 내구성 있는 소재로 제작되어 시간이 지나도 상자의 구조적 무결성을 유지합니다. 이러한 내구성 덕분에 잦은 교체가 필요 없어 장기적으로 비용 효율적인 솔루션입니다.
사용자 정의 옵션
모든 반도체 생산 라인마다 고유한 요구 사항이 있을 수 있음을 인지하고, eFOSB 웨이퍼 캐리어 박스는 맞춤형 옵션을 제공합니다. 슬롯 수 조정, 박스 크기 변경, 특수 소재 추가 등 eFOSB 박스는 고객의 특정 요구에 맞춰 맞춤 제작될 수 있습니다.
응용 프로그램
그만큼12인치(300mm) 전면 개방형 배송 상자(eFOSB)다음을 포함한 반도체 산업 내 다양한 응용 분야에서 사용하도록 설계되었습니다.
반도체 웨이퍼 핸들링
eFOSB 박스는 초기 제조부터 테스트 및 패키징까지 모든 생산 단계에서 300mm 웨이퍼를 안전하고 효율적으로 처리할 수 있는 수단을 제공합니다. 정밀성과 청결성이 핵심인 반도체 제조에 필수적인 오염 및 손상 위험을 최소화합니다.
웨이퍼 스토리지
반도체 제조 환경에서 웨이퍼는 무결성을 유지하기 위해 엄격한 조건에서 보관되어야 합니다. eFOSB 캐리어는 안전하고 깨끗하며 안정적인 환경을 제공하여 안전한 보관을 보장하고, 보관 중 웨이퍼 손상 위험을 줄여줍니다.
운송
여러 시설 간 또는 팹 내에서 반도체 웨이퍼를 운송하려면 섬세한 웨이퍼를 보호하기 위한 안전한 포장이 필수적입니다. eFOSB 박스는 운송 중 최적의 보호 기능을 제공하여 웨이퍼가 손상 없이 도착하고 높은 제품 수율을 유지할 수 있도록 보장합니다.
AMHS와의 통합
eFOSB 박스는 효율적인 자재 취급이 필수적인 현대식 자동화 반도체 제조 공장에 이상적입니다. AMHS와 호환되어 생산 라인 내 웨이퍼의 신속한 이동을 용이하게 하여 생산성을 높이고 취급 오류를 최소화합니다.
FOSB 키워드 Q&A
Q1: eFOSB 박스가 반도체 제조 공정에서 웨이퍼 취급에 적합한 이유는 무엇입니까?
A1:eFOSB 박스는 반도체 웨이퍼용으로 특별히 설계되어 웨이퍼 취급, 보관 및 운송 시 안전하고 안정적인 환경을 제공합니다. SEMI/FIMS 및 AMHS 표준을 준수하여 자동화 시스템과 완벽하게 통합됩니다. 초고청정 저가스 소재와 웨이퍼 유지 시스템은 오염 위험을 최소화하고 공정 전반에 걸쳐 웨이퍼 무결성을 보장합니다.
Q2: eFOSB 상자는 웨이퍼 운송 중 오염을 어떻게 방지합니까?
답변2:eFOSB 박스는 가스 방출에 강한 소재로 제작되어 웨이퍼를 오염시킬 수 있는 휘발성 화합물의 방출을 방지합니다. 또한, 이러한 설계는 입자 발생을 줄이고, 웨이퍼 고정 시스템을 통해 웨이퍼를 제자리에 고정하여 운송 중 기계적 손상 및 오염 위험을 최소화합니다.
질문 3: eFOSB 박스를 수동 및 자동 시스템 모두에서 사용할 수 있나요?
A3:예, eFOSB 상자는 다재다능하며 두 가지 모두에 사용할 수 있습니다.자동화 시스템수동 처리 시나리오도 지원합니다. 사람의 개입을 줄이기 위해 자동 처리되도록 설계되었지만, 필요한 경우 수동 접근도 가능합니다.
질문 4: eFOSB 박스를 다양한 웨이퍼 크기에 맞게 사용자 정의할 수 있나요?
A4:예, eFOSB 박스는 다음을 제공합니다.사용자 정의 옵션다양한 웨이퍼 크기, 슬롯 구성 또는 특정 취급 요구 사항을 수용하여 다양한 반도체 생산 라인의 고유한 요구 사항을 충족합니다.
Q5: eFOSB 박스는 어떻게 웨이퍼 취급 효율성을 향상시키나요?
A5:eFOSB 박스는 효율성을 향상시킵니다.자동화된 작업반도체 제조 공정 내 수동 개입 필요성을 줄이고 웨이퍼 운반을 간소화합니다. 또한, 웨이퍼의 안전성을 보장하여 취급 오류를 최소화하고 전반적인 처리량을 향상시킵니다.
결론
12인치(300mm) 전면 개방형 운송 박스(eFOSB)는 반도체 제조 공정에서 웨이퍼 취급, 보관 및 운송을 위한 매우 안정적이고 효율적인 솔루션입니다. 고급 기능, 업계 표준 준수, 그리고 다재다능함을 갖춘 eFOSB는 반도체 제조업체에 웨이퍼 무결성을 보호하고 생산 효율을 최적화하는 효과적인 방법을 제공합니다. 자동 또는 수동 취급 여부에 관계없이 eFOSB 박스는 반도체 산업의 엄격한 요구 사항을 충족하여 생산 공정의 모든 단계에서 오염 및 손상 없는 웨이퍼 운송을 보장합니다.
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