GaN 물질이 성장된 2인치, 4인치, 6인치 패턴 사파이어 기판(PSS)은 LED 조명에 사용할 수 있습니다.

간략한 설명:

패턴형 사파이어 기판(PSS)은 사파이어 기판 위에 건식 식각을 위한 마스크로 사용됩니다. 이 마스크는 표준 리소그래피 공정을 통해 패턴이 새겨지고, ICP 식각 기술로 사파이어를 식각한 후 마스크를 제거합니다. 마지막으로 그 위에 GaN 물질을 성장시켜 GaN 물질의 종방향 에피택시를 횡방향 에피택시로 전환합니다. 이 공정은 포토레지스트 코팅, 단계별 노광, 노광 패턴 현상, ICP 건식 식각 및 세척 등 여러 단계를 거칩니다.


특징

주요 특징

1. 구조적 특징:
PSS 표면은 에칭 공정 매개변수를 조정하여 모양, 크기 및 분포를 제어할 수 있는 규칙적인 원뿔 또는 삼각형 원뿔 패턴을 가지고 있습니다.
이러한 그래픽 구조는 빛의 전파 경로를 변경하고 빛의 전반사를 줄여 광 추출 효율을 향상시키는 데 도움이 됩니다.

2. 재료 특성:
PSS는 고품질 사파이어를 기판 소재로 사용하며, 이는 높은 경도, 높은 열전도율, 우수한 화학적 안정성 및 광학적 투명성 등의 특성을 지니고 있습니다.
이러한 특성 덕분에 PSS는 고온 및 고압과 같은 가혹한 환경에서도 뛰어난 광학 성능을 유지할 수 있습니다.

3. 광학적 성능:
PSS는 GaN과 사파이어 기판 사이의 계면에서 발생하는 다중 산란을 변화시킴으로써 GaN 층 내부에서 완전히 반사된 광자들이 사파이어 기판 밖으로 빠져나갈 수 있도록 합니다.
이 기능은 LED의 광 추출 효율을 크게 향상시키고 LED의 광도를 높입니다.

4. 공정 특성:
PSS의 제조 공정은 리소그래피 및 에칭과 같은 여러 단계를 포함하는 비교적 복잡한 공정이며, 고정밀 장비와 공정 제어가 필요합니다.
하지만 기술의 지속적인 발전과 비용 절감으로 PSS의 제조 공정은 점차 최적화되고 개선되고 있습니다.

핵심 경쟁력

1. 광 추출 효율 향상: PSS는 빛의 전파 경로를 변경하고 전반사를 감소시켜 LED의 광 추출 효율을 크게 향상시킵니다.

2. LED 수명 연장: PSS는 GaN 에피택셜 재료의 전위 밀도를 감소시켜 활성 영역의 비방사 재결합 및 역방향 누설 전류를 줄이고 LED의 수명을 연장할 수 있습니다.

3. LED 밝기 향상: 광 추출 효율 향상 및 LED 수명 연장으로 인해 PSS의 LED 발광 강도가 크게 향상되었습니다.

4. 생산 비용 절감: PSS의 제조 공정은 비교적 복잡하지만, LED의 발광 효율과 수명을 크게 향상시켜 생산 비용을 일정 수준 절감하고 제품 경쟁력을 높일 수 있습니다.

주요 적용 분야

1. LED 조명: PSS는 LED 칩의 기판 소재로 사용되어 LED의 발광 효율과 수명을 크게 향상시킬 수 있습니다.
LED 조명 분야에서 PSS는 가로등, 탁상등, 자동차 조명 등 다양한 조명 제품에 널리 사용됩니다.

2. 반도체 소자: PSS는 LED 조명 외에도 광 검출기, 레이저 등과 같은 다양한 반도체 소자를 제조하는 데 사용될 수 있습니다. 이러한 소자는 통신, 의료, 군사 및 기타 분야에서 폭넓게 응용됩니다.

3. 광전자 집적: PSS의 광학적 특성과 안정성은 광전자 집적 분야에서 이상적인 소재 중 하나로 만들어 줍니다. 광전자 집적에서 PSS는 광 도파관, 광 스위치 및 기타 구성 요소를 제작하는 데 사용되어 광 신호의 전송 및 처리를 구현할 수 있습니다.

기술적 매개변수

패턴 사파이어 기판(2~6인치)
지름 50.8 ± 0.1 mm 100.0 ± 0.2 mm 150.0 ± 0.3 mm
두께 430 ± 25μm 650 ± 25μm 1000 ± 25μm
표면 방향 C면(0001)이 M축(10-10) 방향으로 0.2 ± 0.1° 기울어져 있음
C면(0001)은 A축(11-20) 방향으로 0 ± 0.1° 각도로 기울어져 있습니다.
기본 평면 방향 A면 (11-20) ± 1.0°
기본 평면 길이 16.0 ± 1.0 mm 30.0 ± 1.0 mm 47.5 ± 2.0 mm
R-플레인 9시
전면 표면 마감 무늬가 있는
뒷면 마감 SSP:정밀연마, Ra=0.8-1.2μm; DSP:에피폴리싱, Ra<0.3nm
레이저 마킹 후면
티비 ≤8μm ≤10μm ≤20μm
절하다 ≤10μm ≤15μm ≤25μm
경사 ≤12μm ≤20μm ≤30μm
에지 제외 ≤2mm
패턴 사양 형태 구조 돔, 원뿔, 피라미드
패턴 높이 1.6~1.8μm
패턴 직경 2.75~2.85μm
패턴 공간 0.1~0.3μm

XKH는 패턴 사파이어 기판(PSS)의 개발, 생산 및 판매에 주력하며, 전 세계 고객에게 고품질, 고성능 PSS 제품을 제공하기 위해 최선을 다하고 있습니다. XKH는 첨단 제조 기술과 전문 기술팀을 보유하고 있어 고객의 요구에 따라 다양한 사양과 패턴 구조의 PSS 제품을 맞춤 제작할 수 있습니다. 또한, 제품 품질과 서비스 품질에 중점을 두고 고객에게 포괄적인 기술 지원과 솔루션을 제공하기 위해 노력하고 있습니다. XKH는 PSS 분야에서 풍부한 경험과 전문성을 축적해 왔으며, 글로벌 파트너와 협력하여 LED 조명, 반도체 소자 및 기타 산업의 혁신적인 발전을 공동으로 추진하기를 기대합니다.

상세도

패턴형 사파이어 기판(PSS) 6
패턴형 사파이어 기판(PSS) 5
패턴형 사파이어 기판(PSS) 4

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