2인치(50.8mm) 사파이어 웨이퍼 C면 M면 R면 A면 두께 350um 430um 500um
다양한 방향 지정
| 정위 | C(0001)-축 | R(1-102)-축 | M(10-10) -축 | A(11-20)축 | ||
| 물리적 속성 | C축은 결정광을 띠고, 다른 축들은 음광을 띤다. C면은 평평해야 하며, 가급적 절단된 형태여야 한다. | R 평면은 A 평면보다 약간 더 단단합니다. | M 평면은 계단식 톱니 모양이라 잘리지 않거나 잘릴 수 있습니다. | A면의 경도는 C면보다 현저히 높으며, 이는 내마모성, 내긁힘성 및 높은 경도로 나타납니다. 측면 A면은 지그재그 형태이므로 절단이 용이합니다. | ||
| 응용 프로그램 | C 방향으로 배향된 사파이어 기판은 질화갈륨과 같은 III-V 및 II-VI 증착막을 성장시키는 데 사용되며, 이러한 박막은 청색 LED 제품, 레이저 다이오드 및 적외선 검출기 응용 분야에 활용될 수 있습니다. | 마이크로일렉트로닉스 집적 회로에 사용되는 다양한 증착 실리콘 외피층의 R 방향 기판 성장. | 주로 비극성/반극성 GaN 에피택셜 박막을 성장시켜 발광 효율을 향상시키는 데 사용됩니다. | 기판에 대해 A 방향으로 배향된 결정은 균일한 유전율/매질을 생성하며, 높은 절연성은 하이브리드 마이크로 전자 기술에 사용됩니다. A 기반 장축 결정으로부터 고온 초전도체를 생산할 수 있습니다. | ||
| 처리 용량 | 패턴 사파이어 기판(PSS): 성장 또는 에칭 방식을 통해 사파이어 기판 상에 나노 스케일의 특정한 규칙적인 미세 구조 패턴을 설계 및 형성함으로써 LED의 광 출력 형태를 제어하고, 사파이어 기판 상에 성장하는 GaN 사이의 차별적 결함을 줄이며, 에피택시 품질을 향상시키고, LED의 내부 양자 효율을 높이고 광 추출 효율을 증가시킵니다. 또한 사파이어 프리즘, 거울, 렌즈, 구멍, 원뿔 및 기타 구조 부품은 고객 요구 사항에 따라 맞춤 제작할 수 있습니다. | |||||
| 재산 신고 | 밀도 | 경도 | 녹는점 | 굴절률(가시광선 및 적외선) | 전송률(DSP) | 유전 상수 |
| 3.98g/cm3 | 9(모스 경도) | 2053℃ | 1.762~1.770 | 85% 이상 | C축에서 11.58@300K(A축에서 9.4) | |
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