2인치 SiC 웨이퍼 6H 또는 4H 반절연 SiC 기판 직경 50.8mm

탄화규소 기판은 저항률에 따라 전도성과 반절연성으로 구분할 수 있습니다. 전도성 탄화규소 소자는 주로 전기 자동차, 태양광 발전, 철도 운송, 데이터 센터, 충전 및 기타 인프라에 사용됩니다. 전기 자동차 산업은 전도성 탄화규소 기판에 대한 수요가 매우 높으며, 현재 테슬라, BYD, NIO, 샤오펑 등 신에너지 자동차 기업들이 탄화규소 개별 소자 또는 모듈을 사용할 계획입니다.

반절연 실리콘 카바이드 소자는 주로 5G 통신, 차량 통신, 국방, 데이터 전송, 항공우주 및 기타 분야에 사용됩니다. 반절연 실리콘 카바이드 기판에 질화갈륨 에피택셜층을 성장시킴으로써, 실리콘 기반 질화갈륨 에피택셜 웨이퍼는 마이크로파 RF 소자로 제작될 수 있으며, 이는 주로 RF 분야에서 사용되며, 5G 통신의 전력 증폭기 및 국방의 무선 탐지기에 사용됩니다.

탄화규소 기판 제품 제조에는 장비 개발, 원료 합성, 결정 성장, 결정 절단, 웨이퍼 가공, 세정 및 테스트 등 여러 단계가 포함됩니다. 원료 측면에서는 쑹산 보론 산업(Songshan Boron Industry)이 시장에 탄화규소 원료를 공급하고 있으며, 소량 생산을 달성했습니다. 탄화규소로 대표되는 3세대 반도체 소재는 현대 산업에서 핵심적인 역할을 담당하고 있으며, 신에너지 자동차와 태양광 응용 분야의 보급이 가속화됨에 따라 탄화규소 기판 수요는 전환점을 맞이할 것으로 예상됩니다.