2인치 SiC 웨이퍼, 6H 또는 4H 반절연 SiC 기판, 직경 50.8mm

탄화규소 기판은 저항률에 따라 전도성과 반절연성으로 나눌 수 있다. 전도성 탄화규소 소자는 주로 전기 자동차, 태양광 발전, 철도 운송, 데이터 센터, 충전 및 기타 인프라 분야에 사용된다. 특히 전기 자동차 산업은 전도성 탄화규소 기판에 대한 수요가 매우 높으며, 현재 테슬라, BYD, 니오, 샤오펑 등 신에너지 자동차 기업들이 탄화규소 개별 소자 또는 모듈을 사용할 계획을 세우고 있다.

반절연 실리콘 카바이드 소자는 주로 5G 통신, 차량 통신, 국방, 데이터 전송, 항공우주 및 기타 분야에 사용됩니다. 반절연 실리콘 카바이드 기판 위에 질화갈륨 에피택셜 층을 성장시킴으로써, 실리콘 기반 질화갈륨 에피택셜 웨이퍼를 마이크로파 RF 소자로 제작할 수 있으며, 이는 주로 5G 통신용 전력 증폭기 및 국방용 무선 탐지기와 같은 RF 분야에 사용됩니다.

탄화규소 기판 제품 제조는 장비 개발, 원료 합성, 결정 성장, 결정 절단, 웨이퍼 가공, 세척 및 테스트 등 여러 단계를 거칩니다. 송산붕소산업은 원료 측면에서 시장에 탄화규소 원료를 공급하며 소량 판매를 진행하고 있습니다. 탄화규소로 대표되는 3세대 반도체 소재는 현대 산업에서 핵심적인 역할을 하며, 신에너지 자동차와 태양광 발전의 보급이 가속화됨에 따라 탄화규소 기판에 대한 수요는 변곡점을 맞이할 것으로 예상됩니다.