4인치 6인치 리튬 니오베이트 단결정 필름 LNOI 웨이퍼

간단한 설명:

니오브산리튬은 우수한 전기광학, 비선형 및 압전 특성을 가지고 있습니다. 첨단 마이크로 및 나노 공정 기술의 도움으로 절연체 위에 니오브산리튬 박막(LNOI)을 증착한 집적 광자 소자가 광범위하게 개발되었습니다. 앞으로 고성능 LNOI 소재는 LNOI 기반 마이크로나노 광학, 집적 광자, 그리고 마이크로파 광자 소자의 발전을 지원할 것입니다. 고성능 LNOI 소재의 생산은 니오브산리튬 광전자 소자의 산업적 응용에 중요한 진전이 될 것입니다.

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특징

LNOI 소재의 제조 공정은 주로 다음의 4단계로 구분된다.

(1) He 이온을 X-컷 리튬 니오베이트 재료에 일정한 에너지로 주입하여 리튬 니오베이트 표층 아래 일정 깊이의 결함층에 도입하였다.

(2) 이온 주입된 리튬 니오베이트 물질은 산화층으로 실리콘 기판에 결합되어 결합 구조를 형성합니다.

(3) 결합 구조를 어닐링하여 He 이온 주입으로 인해 발생한 결함이 진화하고 응집되어 균열을 형성하도록 했습니다. 마지막으로, 결함층을 따라 리튬 니오베이트를 분리하여 잔류 리튬 니오베이트 슬라이스와 LNOI 웨이퍼를 형성했습니다.

LNOI 웨이퍼의 응용 분야 및 장점

1--리튬 니오베이트 압전 필름(LNOI)은 높은 압전 계수와 유전율을 가지고 있어 기계적 에너지를 전기 에너지로 또는 전기 에너지를 기계적 에너지로 변환할 수 있습니다. 따라서 압력 센서, 가속도 센서, 온도 센서 등 센서 분야에 널리 사용됩니다. 또한, 리튬 니오베이트 압전 필름은 압전 세라믹 변환기, 압전 세라믹 필터 등 음향 소자 및 진동 소자에도 사용될 수 있습니다.

2. 니오브산리튬 압전막의 안정성 또한 장점 중 하나입니다. 결정 구조의 안정성과 화학적 불활성으로 인해 니오브산리튬 압전막은 고온, 고습, 강산, 강알칼리 등 가혹한 환경에서도 작동할 수 있으며, 우수한 내식성과 내구성을 자랑합니다.

3-니오브산리튬 압전 필름은 뛰어난 성능과 안정성을 갖춘 새로운 압전 소재로, 폭넓은 응용 가능성을 가지고 있습니다. 과학기술의 지속적인 발전에 따라 니오브산리튬 압전 필름은 더 많은 도시에 적용되어 사람들의 삶에 더 큰 편리함과 혁신을 가져올 것입니다.