4inch 6inch 리튬 니오베이트 단결정 필름 LNOI 웨이퍼

간단한 설명:

니오브산리튬은 우수한 전기광학, 비선형 및 압전 특성을 가지고 있습니다. 첨단 마이크로 및 나노 처리 기술의 도움으로 절연체에 니오브산리튬박막(LNOI)을 기반으로 한 통합 포토닉스 장치가 광범위하게 개발되었습니다. 앞으로 고성능 LNOI 소재는 LNOI 기반 마이크로 나노 광학, 통합 포토닉스 및 마이크로파 포토닉스의 추가 개발을 지원할 것입니다. 고성능 LNOI 재료의 생산은 니오브산리튬 광전자공학 장치의 산업적 적용에서 중요한 단계가 될 것입니다.

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제품 세부정보

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LNOI 물질의 준비 과정은 주로 다음 네 단계로 나뉜다.

(1) He 이온은 특정 에너지로 X-컷 니오브산리튬 재료에 주입되고, 니오브산리튬 표면층 아래의 특정 깊이에서 결함층으로 도입됩니다.

(2) 이온주입된 니오브산리튬재료를 산화물층을 갖는 실리콘 기판에 결합시켜 결합구조를 형성하는 단계;

(3) 결합 구조를 어닐링하여 He 이온 주입으로 인해 발생한 결함이 진화하고 집합하여 균열을 형성하도록 했습니다. 마지막으로, 니오브산리튬은 결함층을 따라 분리되어 잔여 니오브산리튬 슬라이스와 LNOI 웨이퍼를 형성했습니다.

LNOI 웨이퍼의 응용 및 장점

1-니오브산 리튬 압전 필름(LNOI)은 압전 계수와 유전 상수가 높기 때문에 기계적 에너지를 전기 에너지로 변환하거나 전기 에너지를 기계 에너지로 변환할 수 있습니다. 따라서 압력 센서, 가속도 센서, 온도 센서 등과 같은 센서 분야에서 널리 사용됩니다. 또한 니오브산 리튬 압전 필름은 압전 세라믹 변환기 복합 압전 세라믹 필터와 같은 음향 장치 및 진동 장치에도 사용할 수 있습니다.

2-니오브산 리튬 압전 필름의 안정성도 장점 중 하나입니다. 결정 구조 안정성과 화학적 불활성으로 인해 니오브산 리튬 압전 필름은 고온, 고습, 강산, 강알칼리 및 기타 가혹한 환경에서 우수한 내식성과 내구성으로 작동할 수 있습니다.

3-리튬 니오베이트 압전 필름은 성능과 안정성이 뛰어난 새로운 압전 재료로 응용 가능성이 넓습니다. 과학과 기술의 지속적인 발전으로 니오브산 리튬 압전 필름은 더 많은 도시에 적용되어 사람들의 삶에 더 많은 편리함과 혁신을 가져올 것입니다.