MOS 또는 SBD용 4인치 SiC Epi 웨이퍼

에피택시는 탄화규소 기판 표면에 고품질 단결정 재료 층이 성장하는 것을 의미합니다.그 중 반절연 탄화규소 기판에 질화갈륨 에피택시층을 성장시키는 것을 이종 에피택시라고 합니다.전도성 탄화규소 기판 표면에 탄화규소 에피택셜 층이 성장하는 것을 균일한 에피택시라고 합니다.

에피택셜은 주요 기능층의 성장에 대한 장치 설계 요구 사항에 따라 칩과 장치의 성능을 크게 결정하며 비용은 23%입니다.이 단계에서 SiC 박막 에피택시의 주요 방법으로는 화학 기상 증착(CVD), 분자 빔 에피택시(MBE), 액상 에피택시(LPE), 펄스 레이저 증착 및 승화(PLD)가 있습니다.

에피택시는 전체 산업에서 매우 중요한 연결고리입니다.반절연 탄화규소 기판에 GaN 에피택셜 층을 성장시킴으로써 탄화규소를 기반으로 한 GaN 에피택셜 웨이퍼가 생산되며, 이는 HEMT(고전자 이동성 트랜지스터)와 같은 GaN RF 장치로 추가로 만들어질 수 있습니다.

탄화규소 에피택셜 웨이퍼를 얻기 위해 전도성 기판에 탄화규소 에피택셜 층을 성장시키고, 쇼트키 다이오드, 금-산소 반전계 효과 트랜지스터, 절연 게이트 바이폴라 트랜지스터 및 기타 전력 장치 제조의 에피택셜 층에 품질을 향상시킵니다. 장치 성능에 대한 에피택셜은 산업 발전에 매우 큰 영향을 미치며 또한 매우 중요한 역할을 합니다.