사파이어 에피층 웨이퍼의 50.8mm 2인치 GaN
질화갈륨 GaN 에피시트 적용
질화갈륨의 성능을 기반으로 하는 질화갈륨 에피택셜 칩은 주로 고전력, 고주파수 및 저전압 애플리케이션에 적합합니다.
다음 항목에 반영됩니다.
1) 높은 밴드갭: 높은 밴드갭은 질화갈륨 장치의 전압 레벨을 향상시키고 갈륨비소 장치보다 더 높은 전력을 출력할 수 있습니다. 이는 특히 5G 통신 기지국, 군용 레이더 및 기타 분야에 적합합니다.
2) 높은 변환 효율: 질화 갈륨 스위칭 전력 전자 장치의 온 저항은 실리콘 장치의 온 저항보다 3배 낮으므로 온 스위칭 손실을 크게 줄일 수 있습니다.
3) 높은 열전도율: 질화갈륨의 높은 열전도율로 인해 우수한 방열 성능을 가지며 고전력, 고온 및 기타 분야의 장치 생산에 적합합니다.
4) 파괴 전계 강도: 질화 갈륨의 파괴 전계 강도는 질화 규소의 파괴 전계 강도에 가깝지만 반도체 공정, 재료 격자 불일치 및 기타 요인으로 인해 질화 갈륨 장치의 전압 허용 오차는 일반적으로 약 1000V이며 안전한 사용 전압은 일반적으로 650V 미만입니다.
| 목 | GaN-TCU-C50 | GaN-TCN-C50 | GaN-TCP-C50 |
| 치수 | 전자 50.8mm ± 0.1mm | ||
| 두께 | 4.5±0.5 음 | 4.5±0.5um | |
| 정위 | C면(0001) ±0.5° | ||
| 전도 유형 | N형(Undoped) | N형(Si 도핑) | P형(Mg 도핑) |
| 저항률(3O0K) | < 0.5Q・cm | < 0.05 Q・cm | ~ 10Q・cm |
| 캐리어 농도 | < 5x1017센티미터-3 | > 1x1018센티미터-3 | > 6x1016cm-3 |
| 유동성 | ~ 300cm2/대 | ~ 200cm2/대 | ~ 10cm2/대 |
| 전위 밀도 | 5x10 미만8센티미터-2(XRD의 FWHM로 계산) | ||
| 기판 구조 | 사파이어 GaN(표준: SSP 옵션: DSP) | ||
| 사용 가능한 표면적 | > 90% | ||
| 패키지 | 질소 분위기 하에서 클래스 100 클린룸 환경, 25개짜리 카세트 또는 단일 웨이퍼 용기에 포장됩니다. | ||
* 다른 두께는 맞춤 설정할 수 있습니다.
상세 다이어그램
