사파이어에 NPSS/FSS AlN 템플릿을 사용한 50.8mm/100mm AlN 템플릿

간단한 설명:

AlN-On-Sapphire는 사파이어 기판 위에 질화알루미늄 박막을 성장시킨 재료들의 조합을 의미합니다. 이 구조에서는 화학 기상 증착(CVD) 또는 유기 화학 기상 증착(MOCVD)을 통해 고품질 질화알루미늄 박막을 성장시킬 수 있으며, 이를 통해 질화알루미늄 박막과 사파이어 기판의 조합이 우수합니다. 이 구조의 장점은 질화알루미늄이 높은 열전도도, 높은 화학적 안정성, 그리고 우수한 광학적 특성을 갖는 반면, 사파이어 기판은 우수한 기계적, 열적 특성과 투명성을 갖는다는 것입니다.


제품 상세 정보

제품 태그

AlN-온-사파이어

AlN-On-Sapphire는 다음과 같은 다양한 광전소자를 만드는 데 사용할 수 있습니다.
1. LED 칩: LED 칩은 일반적으로 질화알루미늄 필름 및 기타 소재로 제작됩니다. AlN-On-Sapphire 웨이퍼를 LED 칩 기판으로 사용하면 LED의 효율과 안정성을 향상시킬 수 있습니다.
2. 레이저: AlN-On-Sapphire 웨이퍼는 레이저의 기판으로도 사용될 수 있으며, 레이저는 의료, 통신, 재료 가공에 일반적으로 사용됩니다.
3. 태양 전지: 태양 전지 제조에는 질화알루미늄과 같은 재료가 필요합니다. AlN-On-Sapphire 기판을 사용하면 태양 전지의 효율과 수명을 향상시킬 수 있습니다.
4. 기타 광전자 소자: AlN-On-Sapphire 웨이퍼는 광검출기, 광전자 소자 및 기타 광전자 소자를 제조하는 데에도 사용될 수 있습니다.

결론적으로, AlN-On-Sapphire 웨이퍼는 높은 열전도도, 높은 화학적 안정성, 낮은 손실 및 뛰어난 광학적 특성으로 인해 광전기 분야에서 널리 사용됩니다.

NPSS/FSS의 50.8mm/100mm AlN 템플릿

비고
설명 AlN-on-NPSS 템플릿 AlN-on-FSS 템플릿
웨이퍼 직경 50.8mm, 100mm
기판 c-평면 NPSS c-플레인 플래너 사파이어(FSS)
기판 두께 50.8mm, 100mmc-평면 플라나 사파이어(FSS)100mm : 650um
AIN 에피층의 두께 3~4um (목표: 3.3um)
전도도 단열

표면

자라면서
RMS<1nm RMS<2nm
뒷면 갈아서
반치폭(002)XRC < 150초각 < 150초각
반치폭(102)XRC < 300초각 < 300초각
에지 제외 < 2mm < 3mm
기본 평면 방향 a-평면+0.1°
1차 평면 길이 50.8mm: 16+/-1mm 100mm: 30+/-1mm
패키지 배송 상자 또는 단일 웨이퍼 용기에 포장

상세 다이어그램

Sapphire3의 FSS AlN 템플릿
Sapphire4의 FSS AlN 템플릿

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