NPSS/FSS의 50.8mm/100mm AlN 템플릿 사파이어의 AlN 템플릿

NPSS/FSS AlN 템플릿의 50.8mm/100mm AlN 템플릿 사파이어 주요 이미지

간단한 설명:

AlN-On-Sapphire는 사파이어 기판에 질화알루미늄막을 성장시킨 소재의 조합을 말한다. 이 구조에서는 화학기상증착(CVD)이나 유기화학기상증착(MOCVD)을 통해 고품질의 질화알루미늄막을 성장시킬 수 있어 질화알루미늄막과 사파이어 기판의 조합이 좋다. 이 구조의 장점은 질화알루미늄이 높은 열전도도, 높은 화학적 안정성, 우수한 광학 특성을 갖고 있는 반면, 사파이어 기판은 우수한 기계적 및 열적 특성과 투명성을 갖는다는 점입니다.

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제품 세부정보

제품 태그

AlN-On-사파이어

AlN-On-Sapphire는 다음과 같은 다양한 광전 장치를 만드는 데 사용할 수 있습니다.
1. LED 칩: LED 칩은 일반적으로 질화알루미늄 필름과 기타 재료로 만들어집니다. AlN-On-Sapphire 웨이퍼를 LED 칩의 기판으로 사용하면 LED의 효율성과 안정성을 향상시킬 수 있습니다.
2. 레이저: AlN-On-Sapphire 웨이퍼는 의료, 통신 및 재료 가공에 일반적으로 사용되는 레이저용 기판으로도 사용할 수 있습니다.
3. 태양전지: 태양전지를 제조하려면 질화알루미늄과 같은 재료를 사용해야 합니다. AlN-On-Sapphire를 기판으로 사용하면 태양전지의 효율과 수명을 향상시킬 수 있습니다.
4. 기타 광전자 장치: AlN-On-Sapphire 웨이퍼는 광검출기, 광전자 장치 및 기타 광전자 장치를 제조하는 데에도 사용할 수 있습니다.

결론적으로, AlN-On-Sapphire 웨이퍼는 높은 열 전도성, 높은 화학적 안정성, 낮은 손실 및 우수한 광학 특성으로 인해 광전자 분야에서 널리 사용됩니다.

NPSS/FSS의 50.8mm/100mm AlN 템플릿

목	비고
설명	AlN-on-NPSS 템플릿	AlN-on-FSS 템플릿
웨이퍼 직경	50.8mm, 100mm
기판	c-평면 NPSS	c면 평면 사파이어(FSS)
기판 두께	50.8mm, 100mmc면 평면 사파이어(FSS)100mm: 650um
AIN 에피층의 두께	3~4um (목표: 3.3um)
전도도	단열
표면	성장하면서
	RMS<1nm	RMS<2nm
뒷면	그라인딩
FWHM(002)XRC	< 150아크초	< 150아크초
FWHM(102)XRC	< 300호초	< 300호초
가장자리 제외	< 2mm	< 3mm
기본 평면 방향	비행기+0.1°
기본 플랫 길이	50.8mm: 16+/-1mm 100mm: 30+/-1mm
패키지	배송 상자 또는 단일 웨이퍼 컨테이너에 포장