사파이어에 NPSS/FSS AlN 템플릿을 사용한 50.8mm/100mm AlN 템플릿
AlN-온-사파이어
AlN-On-Sapphire는 다음과 같은 다양한 광전소자를 만드는 데 사용할 수 있습니다.
1. LED 칩: LED 칩은 일반적으로 질화알루미늄 필름 및 기타 소재로 제작됩니다. AlN-On-Sapphire 웨이퍼를 LED 칩 기판으로 사용하면 LED의 효율과 안정성을 향상시킬 수 있습니다.
2. 레이저: AlN-On-Sapphire 웨이퍼는 레이저의 기판으로도 사용될 수 있으며, 레이저는 의료, 통신, 재료 가공에 일반적으로 사용됩니다.
3. 태양 전지: 태양 전지 제조에는 질화알루미늄과 같은 재료가 필요합니다. AlN-On-Sapphire 기판을 사용하면 태양 전지의 효율과 수명을 향상시킬 수 있습니다.
4. 기타 광전자 소자: AlN-On-Sapphire 웨이퍼는 광검출기, 광전자 소자 및 기타 광전자 소자를 제조하는 데에도 사용될 수 있습니다.
결론적으로, AlN-On-Sapphire 웨이퍼는 높은 열전도도, 높은 화학적 안정성, 낮은 손실 및 뛰어난 광학적 특성으로 인해 광전기 분야에서 널리 사용됩니다.
NPSS/FSS의 50.8mm/100mm AlN 템플릿
목 | 비고 | |||
설명 | AlN-on-NPSS 템플릿 | AlN-on-FSS 템플릿 | ||
웨이퍼 직경 | 50.8mm, 100mm | |||
기판 | c-평면 NPSS | c-플레인 플래너 사파이어(FSS) | ||
기판 두께 | 50.8mm, 100mmc-평면 플라나 사파이어(FSS)100mm : 650um | |||
AIN 에피층의 두께 | 3~4um (목표: 3.3um) | |||
전도도 | 단열 | |||
표면 | 자라면서 | |||
RMS<1nm | RMS<2nm | |||
뒷면 | 갈아서 | |||
반치폭(002)XRC | < 150초각 | < 150초각 | ||
반치폭(102)XRC | < 300초각 | < 300초각 | ||
에지 제외 | < 2mm | < 3mm | ||
기본 평면 방향 | a-평면+0.1° | |||
1차 평면 길이 | 50.8mm: 16+/-1mm 100mm: 30+/-1mm | |||
패키지 | 배송 상자 또는 단일 웨이퍼 용기에 포장 |
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