6인치 실리콘 카바이드 4H-SiC 반절연 잉곳, 더미 등급
속성
1. 물리적 및 구조적 특성
●소재 종류 : 탄화규소(SiC)
●다형 : 4H-SiC, 육방정계 결정구조
●직경 : 6인치(150mm)
●두께: 구성 가능(더미 등급의 경우 일반적으로 5-15mm)
●결정 방위:
oPrimary: [0001] (C-평면)
o2차 옵션: 최적화된 에피택시얼 성장을 위한 축외 4°
●기본 평면 방향: (10-10) ± 5°
●2차 평면 방향: 1차 평면에서 시계 반대 방향으로 90° ± 5°
2. 전기적 특성
●저항률:
o반절연성(>106^66 Ω·cm)으로 기생 용량을 최소화하는 데 이상적입니다.
●도핑 유형:
o의도치 않게 도핑되어 다양한 작동 조건에서 높은 전기 저항성과 안정성을 나타냅니다.
3. 열적 특성
●열전도도: 3.5~4.9 W/cm·K로 고전력 시스템에서 효과적인 방열이 가능합니다.
●열팽창계수 : 4.2×10−64.2 \times 10^{-6}4.2×10−6/K로 고온가공시 치수안정성을 확보하였습니다.
4. 광학적 특성
●밴드갭: 3.26eV의 넓은 밴드갭으로 높은 전압과 온도에서 작동이 가능합니다.
●투명성: UV 및 가시광선 파장에 대한 높은 투명도로 광전자 테스트에 유용합니다.
5. 기계적 성질
●경도 : 모스 경도 9로 다이아몬드에 이어 두 번째로 경도가 높아 가공 시 내구성이 보장됩니다.
●결함 밀도:
o최소한의 매크로 결함을 제어하여 더미 등급 적용에 충분한 품질을 보장합니다.
●평탄도: 편차가 있는 균일성
| 매개변수 | 세부 | 단위 |
| 등급 | 더미 등급 | |
| 지름 | 150.0 ± 0.5 | mm |
| 웨이퍼 방향 | 축상: <0001> ± 0.5° | 도 |
| 전기 저항률 | > 1E5 | Ω·cm |
| 기본 평면 방향 | {10-10} ± 5.0° | 도 |
| 기본 플랫 길이 | 골짜기 | |
| 균열(고강도 광 검사) | < 3 mm 반경 방향 | mm |
| 육각 플레이트(고강도 조명 검사) | 누적 면적 ≤ 5% | % |
| 폴리타입 영역(고강도 조명 검사) | 누적 면적 ≤ 10% | % |
| 마이크로파이프 밀도 | < 50 | 센티미터−2^-2−2 |
| 엣지 치핑 | 3개 허용, 각각 ≤ 3mm | mm |
| 메모 | 웨이퍼 두께 < 1mm, > 70% (양쪽 끝 제외) 슬라이싱은 위 요구사항을 충족합니다. |
응용 프로그램
1. 프로토타입 제작 및 연구
더미 등급 6인치 4H-SiC 잉곳은 프로토타입 제작과 연구에 이상적인 소재로, 제조업체와 연구소에서 다음과 같은 작업을 수행할 수 있습니다.
●화학 기상 증착(CVD) 또는 물리 기상 증착(PVD)의 테스트 프로세스 매개변수.
● 에칭, 연마, 웨이퍼 슬라이싱 기술을 개발하고 개선합니다.
●생산 등급 소재로 전환하기 전에 새로운 장치 디자인을 탐색하세요.
2. 장치 교정 및 테스트
반절연성으로 인해 이 잉곳은 다음과 같은 경우에 매우 귀중합니다.
●고전력, 고주파 소자의 전기적 특성 평가 및 교정
●테스트 환경에서 MOSFET, IGBT 또는 다이오드의 작동 조건을 시뮬레이션합니다.
●초기 개발 단계에서 고순도 기판을 대체하는 비용 효율적인 수단으로 활용 가능합니다.
3. 전력 전자
4H-SiC의 높은 열전도도와 넓은 밴드갭 특성은 다음을 포함한 전력 전자 장치의 효율적인 작동을 가능하게 합니다.
●고전압 전원 공급 장치.
●전기자동차(EV) 인버터.
● 태양광 인버터, 풍력 터빈 등의 재생 에너지 시스템.
4. 무선 주파수(RF) 응용 분야
4H-SiC의 낮은 유전 손실과 높은 전자 이동도는 다음 용도에 적합합니다.
●통신 인프라의 RF 증폭기 및 트랜지스터.
●항공우주 및 방위 분야를 위한 고주파 레이더 시스템.
●새로운 5G 기술을 위한 무선 네트워크 구성 요소.
5. 방사선 저항 장치
방사선 유도 결함에 대한 본질적인 저항성으로 인해 반절연성 4H-SiC는 다음과 같은 경우에 적합합니다.
●위성 전자 장치 및 전력 시스템을 포함한 우주 탐사 장비.
●핵 모니터링 및 제어를 위한 방사선 강화 전자 장치.
●극한 환경에서의 견고성이 요구되는 방위 분야.
6. 광전자공학
4H-SiC의 광학적 투명성과 넓은 밴드갭은 다음과 같은 용도로 사용할 수 있습니다.
●UV 광검출기 및 고출력 LED.
●광학 코팅 및 표면 처리 테스트.
●첨단 센서용 광학 부품 프로토타입 제작.
더미 등급 재료의 장점
비용 효율성:
더미 등급은 연구용 또는 생산용 재료에 비해 저렴한 대안으로, 일상적인 테스트와 공정 개선에 이상적입니다.
사용자 정의 가능성:
구성 가능한 치수와 결정 방향은 광범위한 응용 분야와의 호환성을 보장합니다.
확장성:
6인치 직경은 업계 표준에 맞춰 제작 공정에 맞게 원활하게 확장할 수 있습니다.
견고성:
높은 기계적 강도와 열적 안정성으로 인해 잉곳은 다양한 실험 조건에서 내구성과 신뢰성을 갖습니다.
다재:
에너지 시스템부터 통신, 광전자까지 다양한 산업에 적합합니다.
결론
6인치 실리콘 카바이드(4H-SiC) 반절연 잉곳(더미 등급)은 최첨단 기술 분야의 연구, 시제품 제작 및 테스트를 위한 안정적이고 다재다능한 플랫폼을 제공합니다. 뛰어난 열적, 전기적, 기계적 특성과 합리적인 가격, 그리고 맞춤형 제작 가능성 덕분에 학계와 산업계 모두에 필수적인 소재로 자리매김했습니다. 전력 전자부터 RF 시스템, 방사선 내성 장치까지, 이 잉곳은 개발의 모든 단계에서 혁신을 지원합니다.
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