6인치 실리콘 카바이드 4H-SiC 반절연 잉곳, 더미 등급
속성
1. 물리적, 구조적 특성
●재질 종류: 실리콘 카바이드(SiC)
●Polytype: 4H-SiC, 육각형 결정 구조
●직경: 150mm(6인치)
●두께: 구성 가능(더미 등급의 경우 일반적으로 5~15mm)
●크리스탈 방향:
o1차: [0001] (C-평면)
o보조 옵션: 최적화된 에피택시 성장을 위한 축외 4°
●1차 평면 방향: (10-10) ± 5°
●2차 평면 방향: 1차 평면에서 시계 반대 방향으로 90° ± 5°
2. 전기적 특성
●저항률:
o반절연(>106^66 Ω·cm), 기생 용량을 최소화하는 데 이상적입니다.
●도핑 유형:
o의도하지 않게 도핑되어 다양한 작동 조건에서 높은 전기 저항성과 안정성을 제공합니다.
3. 열적 특성
●열 전도율: 3.5-4.9 W/cm·K로 고전력 시스템에서 효과적인 열 방출이 가능합니다.
●열팽창계수: 4.2×10−64.2 \times 10^{-6}4.2×10−6/K, 고온 가공 시 치수 안정성을 보장합니다.
4. 광학적 특성
●밴드갭: 3.26eV의 넓은 밴드갭으로 높은 전압 및 온도에서 작동할 수 있습니다.
●투명도: UV 및 가시광선 파장에 대한 높은 투명성으로 광전자 테스트에 유용합니다.
5. 기계적 성질
●경도: 모스 9등급으로 다이아몬드 다음으로 가공 시 내구성이 보장됩니다.
●결함 밀도:
o매크로 결함을 최소화하여 더미급 애플리케이션에 충분한 품질을 보장합니다.
●평탄도: 편차가 있는 균일성
| 매개변수 | 세부 | 단위 |
| 등급 | 더미 등급 | |
| 지름 | 150.0±0.5 | mm |
| 웨이퍼 오리엔테이션 | 축상: <0001> ± 0.5° | 도 |
| 전기 저항력 | > 1E5 | Ω·cm |
| 기본 평면 방향 | {10-10} ± 5.0° | 도 |
| 1차 평면 길이 | 골짜기 | |
| 균열(고광도 검사) | 반경 방향에서 < 3mm | mm |
| 육각 플레이트(고광도 검사) | 누적 면적 ≤ 5% | % |
| 폴리타입 영역(고강도 조명 검사) | 누적 면적 ≤ 10% | % |
| 마이크로파이프 밀도 | < 50 | cm−2^-2−2 |
| 가장자리 치핑 | 3개 허용, 각각 3mm 이하 | mm |
| 메모 | 슬라이싱 웨이퍼 두께 < 1 mm, > 70%(두 끝 제외)는 위 요구 사항을 충족합니다. |
응용
1. 프로토타입 제작 및 연구
더미 등급 6인치 4H-SiC 잉곳은 프로토타입 제작 및 연구에 이상적인 소재로, 제조업체와 실험실에서 다음을 수행할 수 있습니다.
●화학 기상 증착(CVD) 또는 물리 기상 증착(PVD)의 테스트 공정 매개변수입니다.
●에칭, 폴리싱, 웨이퍼 슬라이싱 기술을 개발하고 개선합니다.
●생산 등급 재료로 전환하기 전에 새로운 장치 설계를 탐색하십시오.
2. 장치 교정 및 테스트
반절연 특성으로 인해 이 잉곳은 다음과 같은 용도로 매우 유용합니다.
●고전력, 고주파 장치의 전기적 특성을 평가하고 교정합니다.
●테스트 환경에서 MOSFET, IGBT 또는 다이오드의 작동 조건을 시뮬레이션합니다.
●초기 개발 단계에서 고순도 기판을 비용 효율적으로 대체할 수 있습니다.
3. 전력전자
4H-SiC의 높은 열 전도성과 넓은 밴드갭 특성은 다음을 포함한 전력 전자 장치의 효율적인 작동을 가능하게 합니다.
●고전압 전원 공급 장치.
●전기차(EV) 인버터.
●태양광 인버터, 풍력 터빈 등 신재생 에너지 시스템.
4. 무선 주파수(RF) 애플리케이션
4H-SiC의 낮은 유전 손실과 높은 전자 이동도는 다음과 같은 용도에 적합합니다.
●통신 인프라의 RF 증폭기 및 트랜지스터.
●항공우주 및 방위 분야용 고주파 레이더 시스템.
●새로운 5G 기술을 위한 무선 네트워크 구성요소.
5. 방사선 저항성 장치
방사선 유발 결함에 대한 고유한 저항성으로 인해 반절연 4H-SiC는 다음 용도에 이상적입니다.
●위성 전자 장치 및 전력 시스템을 포함한 우주 탐사 장비.
●원자력 모니터링 및 제어를 위한 방사선 경화 전자 장치입니다.
●극한 환경에서 견고성을 요구하는 방위 애플리케이션.
6. 광전자공학
4H-SiC의 광학적 투명성과 넓은 밴드갭 덕분에 다음과 같은 용도로 사용할 수 있습니다.
●UV 광검출기 및 고출력 LED.
● 광학 코팅 및 표면 처리 테스트.
●고급 센서용 광학 부품 프로토타입 제작.
더미 등급 재료의 장점
비용 효율성:
더미 등급은 연구 또는 생산 등급 재료에 대한 보다 저렴한 대안으로 일상적인 테스트 및 공정 개선에 이상적입니다.
맞춤화 가능성:
구성 가능한 치수와 결정 방향은 광범위한 응용 분야와의 호환성을 보장합니다.
확장성:
6인치 직경은 업계 표준에 부합하므로 생산 등급 공정으로 원활하게 확장할 수 있습니다.
견고성:
높은 기계적 강도와 열 안정성은 다양한 실험 조건에서 잉곳의 내구성과 신뢰성을 높여줍니다.
다재:
에너지 시스템부터 통신, 광전자공학까지 다양한 산업에 적합합니다.
결론
6인치 탄화규소(4H-SiC) 반절연 주괴, 더미 등급은 최첨단 기술 부문의 연구, 프로토타입 제작 및 테스트를 위한 안정적이고 다양한 플랫폼을 제공합니다. 탁월한 열적, 전기적, 기계적 특성이 경제성과 맞춤화 가능성과 결합되어 학계와 산업 모두에 없어서는 안 될 소재입니다. 전력 전자 장치부터 RF 시스템 및 방사선 경화 장치에 이르기까지 이 잉곳은 모든 개발 단계에서 혁신을 지원합니다.
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