6인치 실리콘 카바이드 4H-SiC 반절연 잉곳, 더미 등급
속성
1. 물리적 및 구조적 특성
●재질 종류: 탄화규소(SiC)
●다형체: 4H-SiC, 육각형 결정 구조
●지름: 6인치(150mm)
●두께: 구성 가능 (일반적으로 더미 등급은 5~15mm)
●결정 배향:
o기본: [0001] (C-평면)
보조 옵션: 최적화된 에피택셜 성장을 위한 오프축 4°
●기본 평면 방향: (10-10) ± 5°
●보조 평면 방향: 주 평면에서 시계 반대 방향으로 90° ± 5°
2. 전기적 특성
●저항률:
반절연성(>106^66 Ω·cm)으로 기생 정전 용량을 최소화하는 데 이상적입니다.
●도핑 유형:
의도치 않게 도핑되어 높은 전기 저항과 다양한 작동 조건에서의 안정성을 나타냅니다.
3. 열적 특성
●열전도율: 3.5~4.9 W/cm·K로 고출력 시스템에서 효과적인 열 방출이 가능합니다.
●열팽창 계수: 4.2×10⁻⁶4.2 × 10⁻⁶/K로 고온 가공 중 치수 안정성을 보장합니다.
4. 광학적 특성
●밴드갭: 3.26eV의 넓은 밴드갭으로 고전압 및 고온 환경에서 작동 가능합니다.
●투명성: 자외선 및 가시광선 파장에 대한 투명도가 높아 광전자 테스트에 유용합니다.
5. 기계적 특성
●경도: 모스 경도 9로 다이아몬드 다음으로 높아 가공 중 내구성을 보장합니다.
●결함 밀도:
최소한의 거시적 결함을 제어하여 더미 등급 애플리케이션에 충분한 품질을 보장합니다.
●평탄도: 편차를 포함한 균일성
| 매개변수 | 세부 | 단위 |
| 등급 | 더미 등급 | |
| 지름 | 150.0 ± 0.5 | mm |
| 웨이퍼 방향 | 축상: <0001> ± 0.5° | 도 |
| 전기저항 | > 1E5 | Ω·cm |
| 기본 평면 방향 | {10-10} ± 5.0° | 도 |
| 기본 평면 길이 | 골짜기 | |
| 균열 (고강도 조명 검사) | 방사형으로 3mm 미만 | mm |
| 육각형 플레이트(고강도 조명 검사) | 누적 면적 ≤ 5% | % |
| 다형성 영역(고강도 조명 검사) | 누적 면적 ≤ 10% | % |
| 마이크로파이프 밀도 | < 50 | cm−2^-2−2 |
| 엣지 치핑 | 최대 3개까지 허용되며, 각 크기는 3mm 이하입니다. | mm |
| 메모 | 웨이퍼 슬라이싱 두께가 1mm 미만이고, (양쪽 끝을 제외한) 70% 이상이 위의 요구 사항을 충족합니다. |
응용 프로그램
1. 프로토타입 제작 및 연구
더미 등급의 6인치 4H-SiC 잉곳은 시제품 제작 및 연구에 이상적인 소재로, 제조업체와 연구소에서 다음과 같은 용도로 활용할 수 있습니다.
●화학 기상 증착(CVD) 또는 물리 기상 증착(PVD) 공정의 매개변수를 테스트합니다.
●에칭, 연마 및 웨이퍼 슬라이싱 기술을 개발하고 개선합니다.
●생산용 소재로 전환하기 전에 새로운 장치 설계를 검토하십시오.
2. 장치 교정 및 테스트
반절연성 특성 덕분에 이 금괴는 다음과 같은 용도로 매우 유용합니다.
●고출력 및 고주파 장치의 전기적 특성을 평가하고 교정합니다.
●테스트 환경에서 MOSFET, IGBT 또는 다이오드의 작동 조건을 시뮬레이션합니다.
●초기 개발 단계에서 고순도 기질을 대체할 수 있는 비용 효율적인 대안으로 사용됩니다.
3. 전력 전자
4H-SiC의 높은 열전도율과 넓은 밴드갭 특성은 다음과 같은 전력 전자 장치에서 효율적인 작동을 가능하게 합니다.
●고전압 전원 공급 장치.
●전기 자동차(EV) 인버터.
●태양광 인버터 및 풍력 터빈과 같은 재생 에너지 시스템.
4. 무선 주파수(RF) 응용 분야
4H-SiC는 낮은 유전 손실과 높은 전자 이동도를 가지고 있어 다음과 같은 용도에 적합합니다.
●통신 인프라에 사용되는 RF 증폭기 및 트랜지스터.
●항공우주 및 방위 산업 분야에 사용되는 고주파 레이더 시스템.
●차세대 5G 기술을 위한 무선 네트워크 구성 요소.
5. 방사선 차단 장치
방사선 유발 결함에 대한 고유한 저항성 때문에 반절연성 4H-SiC는 다음과 같은 용도에 이상적입니다.
●우주 탐사 장비, 위성 전자 장비 및 전력 시스템 포함.
●원자력 감시 및 제어를 위한 방사선 내성 전자 장치.
●극한 환경에서의 견고성이 요구되는 방위 산업 분야.
6. 광전자공학
4H-SiC의 광학적 투명성과 넓은 밴드갭은 다음과 같은 분야에 활용될 수 있도록 합니다:
●UV 광검출기 및 고출력 LED.
● 광학 코팅 및 표면 처리 테스트.
●첨단 센서용 광학 부품 프로토타입 제작.
더미 등급 재료의 장점
비용 효율성:
더미 등급은 연구용 또는 생산용 등급 재료보다 가격이 저렴하여 일상적인 테스트 및 공정 개선에 이상적입니다.
맞춤 설정 기능:
구성 가능한 크기와 결정 방향 덕분에 광범위한 응용 분야와 호환됩니다.
확장성:
직경 6인치는 업계 표준을 충족하여 생산 등급 공정으로 원활하게 확장할 수 있습니다.
견고성:
높은 기계적 강도와 열 안정성 덕분에 이 잉곳은 다양한 실험 조건에서도 내구성이 뛰어나고 신뢰할 수 있습니다.
다재:
에너지 시스템부터 통신 및 광전자공학에 이르기까지 다양한 산업 분야에 적합합니다.
결론
6인치 실리콘 카바이드(4H-SiC) 반절연 잉곳(더미 등급)은 최첨단 기술 분야의 연구, 시제품 제작 및 테스트를 위한 안정적이고 다재다능한 플랫폼을 제공합니다. 탁월한 열적, 전기적, 기계적 특성과 더불어 경제성 및 맞춤 제작 가능성을 갖춘 이 잉곳은 학계와 산업계 모두에서 필수적인 소재입니다. 전력 전자 장치부터 RF 시스템 및 방사선 내성 장치에 이르기까지, 이 잉곳은 개발의 모든 단계에서 혁신을 지원합니다.
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