6인치 SiC 에피택시 웨이퍼 N/P 유형은 맞춤형 수용

탄화규소 에피택셜 웨이퍼 준비 공정은 CVD(Chemical Vapor Deposition) 기술을 이용한 방법이다. 다음은 관련 기술 원칙 및 준비 프로세스 단계입니다.

기술 원리:

화학기상증착법(Chemical Vapor Deposition) : 기상의 원료가스를 이용하여 특정 반응 조건 하에서 기판에 분해, 증착하여 원하는 박막을 형성하는 방법입니다.

기상 반응: 열분해 또는 분해 반응을 통해 기상의 다양한 원료 가스가 반응 챔버 내에서 화학적으로 변화됩니다.

준비 과정 단계:

기판 처리: 기판은 에피택셜 웨이퍼의 품질과 결정성을 보장하기 위해 표면 세척 및 전처리를 거칩니다.

반응 챔버 디버깅: 반응 챔버의 온도, 압력, 유속 및 기타 매개변수를 조정하여 반응 조건의 안정성과 제어를 보장합니다.

원료 공급: 필요한 가스 원료를 반응 챔버에 공급하고 필요에 따라 유량을 혼합하고 제어합니다.

반응 공정: 반응 챔버를 가열함으로써 기체 공급원료는 챔버에서 화학 반응을 거쳐 원하는 증착물, 즉 탄화규소 필름을 생성합니다.

냉각 및 언로딩: 반응이 끝나면 온도를 점차 낮추어 반응 챔버의 침전물을 냉각 및 응고시킵니다.

에피택셜 웨이퍼 어닐링 및 후처리: 증착된 에피택셜 웨이퍼는 전기적 및 광학적 특성을 개선하기 위해 어닐링 및 후처리됩니다.

탄화규소 에피택셜 웨이퍼 준비 공정의 구체적인 단계와 조건은 특정 장비와 요구 사항에 따라 달라질 수 있습니다. 위의 내용은 일반적인 프로세스 흐름 및 원칙일 뿐이며 구체적인 작업은 실제 상황에 따라 조정 및 최적화되어야 합니다.