AlN-on-NPSS 웨이퍼: 고온, 고전력 및 RF 애플리케이션을 위한 무광택 사파이어 기판 위의 고성능 알루미늄 질화물 층
특징
고성능 AlN 층: 질화알루미늄(AlN)은 다음과 같은 것으로 알려져 있습니다.높은 열전도도(~200 W/m·K),넓은 밴드갭, 그리고높은 파괴 전압, 이를 이상적인 소재로 만듭니다.고출력, 고주파, 그리고고온응용 프로그램.
비연마 사파이어 기판(NPSS): 광택이 없는 사파이어는 다음을 제공합니다.비용 효율적, 기계적으로 견고함표면 연마의 복잡성 없이 안정적인 에피택셜 성장 기반을 제공합니다. NPSS는 뛰어난 기계적 물성을 갖춰 까다로운 환경에서도 뛰어난 내구성을 자랑합니다.
높은 열 안정성: AlN-on-NPSS 웨이퍼는 극한의 온도 변동을 견딜 수 있어 사용하기에 적합합니다.전력 전자, 자동차 시스템, LED, 그리고광학 응용 분야고온 조건에서도 안정적인 성능이 요구됩니다.
전기 절연: AlN은 뛰어난 전기 절연 특성을 가지고 있어 다음과 같은 응용 분야에 적합합니다.전기적 절연다음을 포함하여 중요합니다.RF 장치그리고마이크로파 전자공학.
뛰어난 방열성: 열전도도가 높은 AlN 층은 효과적인 방열을 보장하는데, 이는 높은 전력과 주파수에서 작동하는 장치의 성능과 수명을 유지하는 데 필수적입니다.
기술적 매개변수
| 매개변수 | 사양 |
| 웨이퍼 직경 | 2인치, 4인치(사용자 정의 크기 가능) |
| 기판 유형 | 비연마 사파이어 기판(NPSS) |
| AlN 층 두께 | 2µm ~ 10µm(맞춤형) |
| 기판 두께 | 430µm ± 25µm(2인치), 500µm ± 25µm(4인치) |
| 열전도도 | 200W/m·K |
| 전기 저항률 | 높은 절연성으로 RF 애플리케이션에 적합 |
| 표면 거칠기 | Ra ≤ 0.5µm(AlN층의 경우) |
| 재료 순도 | 고순도 AlN(99.9%) |
| 색상 | 흰색/오프화이트(밝은 색상의 NPSS 기판이 있는 AlN 층) |
| 웨이퍼 워프 | < 30µm (일반) |
| 도핑 유형 | 무도핑(맞춤 제작 가능) |
응용 프로그램
그만큼AlN-on-NPSS 웨이퍼다양한 산업 분야의 고성능 애플리케이션을 위해 설계되었습니다.
고전력 전자 장치: AlN 층의 높은 열전도도와 절연 특성은 이를 이상적인 재료로 만듭니다.전력 트랜지스터, 정류기, 그리고전력 IC에서 사용됨자동차, 산업, 그리고재생 에너지시스템.
무선 주파수(RF) 구성 요소: AlN의 뛰어난 전기 절연 특성과 낮은 손실로 인해 생산이 가능합니다.RF 트랜지스터, HEMT(고전자이동도 트랜지스터), 그리고 기타마이크로파 부품높은 주파수와 전력 수준에서 효율적으로 작동합니다.
광학 장치: AlN-on-NPSS 웨이퍼는 다음과 같이 사용됩니다.레이저 다이오드, LED, 그리고광검출기, 여기서높은 열전도도그리고기계적 견고성장기간 성능을 유지하는 데 필수적입니다.
고온 센서: 웨이퍼는 극한의 열을 견딜 수 있는 능력이 있어 적합합니다.온도 센서그리고환경 모니터링다음과 같은 산업에서항공우주, 자동차, 그리고석유 및 가스.
반도체 패키징: 사용됨 히트 스프레더그리고열 관리 계층패키징 시스템에서 반도체의 신뢰성과 효율성을 보장합니다.
질문과 답변
질문: 실리콘과 같은 기존 소재에 비해 AlN-on-NPSS 웨이퍼의 주요 장점은 무엇입니까?
A: 가장 큰 장점은 AlN의높은 열전도도열을 효율적으로 분산할 수 있으므로 이상적입니다.고출력그리고고주파 응용 분야열 관리가 중요한 경우. 또한 AlN에는넓은 밴드갭그리고 훌륭하다전기 절연, 사용하기에 더 좋습니다.RF그리고마이크로파 장치기존 실리콘과 비교했을 때.
질문: NPSS 웨이퍼의 AlN 층을 맞춤 제작할 수 있나요?
A: 네, AlN 층은 고객의 특정 요구 사항에 맞춰 두께(2µm에서 10µm 이상)를 맞춤 제작할 수 있습니다. 또한 도핑 유형(N형 또는 P형) 및 특수 기능을 위한 추가 층 제작도 맞춤 제작합니다.
질문: 자동차 산업에서 이 웨이퍼는 일반적으로 어떤 용도로 사용되나요?
A: 자동차 산업에서는 AlN-on-NPSS 웨이퍼가 일반적으로 사용됩니다.전력 전자, LED 조명 시스템, 그리고온도 센서. 이 제품은 다양한 온도 조건에서 작동하는 고효율 시스템에 필수적인 뛰어난 열 관리 및 전기 절연 기능을 제공합니다.
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