웨이퍼 및 기판 핸들링용 알루미나 세라믹 엔드 이펙터/포크 암
상세 다이어그램
알루미나 세라믹 엔드 이펙터 개요
알루미나 세라믹 엔드 이펙터(Alumina Ceramic End Effector)는 일반적으로 세라믹 포크 암(ceramic fork arm) 또는 세라믹 그리퍼(ceramic gripper)로 불리며, 로봇 자동화 및 클린룸 생산 라인에서 사용되는 핵심 도구입니다. 알루미나 세라믹 엔드 이펙터는 로봇 암에 설치되어 제품과의 최종 인터페이스 역할을 하며, 실리콘 웨이퍼, 유리 패널 또는 마이크로 전자 부품과 같이 매우 민감한 부품을 집고, 고정하고, 정렬하고, 이송하는 역할을 합니다.
초고순도 알루미나 세라믹(Al2O3)으로 제조된 이 포크 암은 금속 오염, 소성 변형 또는 입자 생성이 허용되지 않는 환경에서 매우 깨끗하고 안정적인 솔루션을 제공합니다.
재료 특성 – 왜 알루미나인가
알루미나 세라믹 엔드 이펙터에 관하여, 알루미나(Al2O3)는 가장 확립되고 신뢰할 수 있는 제품 중 하나입니다.첨단 엔지니어링 세라믹당사에서 사용하는 등급(순도 99.5% 이상)은 물리적, 화학적 특성의 독특한 조합을 제공하여 반도체 및 진공 응용 분야에 적합한 소재로 자리매김했습니다.
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극한의 경도– 모스 경도 9로 오래 지속되는 내구성과 긁힘 방지 기능을 제공합니다.
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열 내구성– 1600°C 이상에서도 구조적 무결성을 유지하여 금속 및 폴리머 대응 제품보다 성능이 뛰어납니다.
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전기 절연– 정전기 축적을 제거하고 완벽한 유전체 보호 기능을 제공합니다.
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화학적 면역– 산, 알칼리, 플라즈마 가스 및 공격적인 세척 용액의 영향을 받지 않습니다.
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매우 낮은 오염 위험– 청정실에서 입자 방출을 최소화하는 비탈기성, 저마찰 표면입니다.
이러한 특성 덕분에 알루미나 세라믹 엔드 이펙터는 혹독하고 정밀한 환경에서도 완벽하게 작동할 수 있습니다.
알루미나 세라믹 엔드 이펙터의 핵심 응용 분야
알루미나 세라믹 엔드 이펙터 포크 암은 다재다능하기 때문에 다양한 첨단 산업에 필수적입니다.
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반도체 웨이퍼 운송 시스템– 미세한 흠집 없이 실리콘 웨이퍼를 공정 간에 안전하게 옮깁니다.
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평판 디스플레이 생산– OLED, LCD 또는 microLED 제조를 위한 깨지기 쉬운 유리 기판을 취급합니다.
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태양광(PV) 제조– 고속 로봇 사이클에서 태양광 웨이퍼 로딩 및 언로딩을 지원합니다.
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광학 및 전자 부품 조립– 센서, 저항기, 소형 칩과 같은 섬세한 부품을 잡습니다.
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진공 및 클린룸 자동화– 매우 깨끗하고 입자가 제어된 환경에서 정밀한 작업을 수행합니다.
모든 시나리오에서 알루미나 세라믹 엔드 이펙터는 로봇 자동화와 이동되는 제품 사이의 중요한 연결 고리를 제공합니다.
알루미나 세라믹 엔드 이펙터의 설계 및 사용자 정의 옵션
각 생산 라인에는 고유한 요구 사항이 있습니다. 따라서 당사는 다양한 웨이퍼 크기, 로봇 시스템 및 취급 방식에 맞는 맞춤형 알루미나 세라믹 엔드 이펙터 솔루션을 제공합니다.
웨이퍼 호환성: 2인치에서 12인치까지의 웨이퍼를 처리하며 맞춤형 부품에 맞게 확장할 수 있습니다.
기하학적 옵션: 단일 포크, 이중 포크, 다중 슬롯 또는 통합 홈이 있는 사용자 정의 모양.
진공 핸들링: 비접촉식 웨이퍼 지원을 위한 선택적 진공 흡입 채널.
장착 인터페이스: 모든 로봇 팔에 맞는 맞춤형 볼트 구멍, 플랜지 또는 슬롯 디자인.
표면 마감: 광택 또는 초정밀 마감 표면(Ra < 0.15 μm까지).
에지 프로파일: 웨이퍼를 최대한 보호하기 위해 모서리를 모따기하거나 둥글게 처리했습니다.
당사의 알루미나 세라믹 엔드 이펙터 엔지니어링 팀은 고객의 CAD 도면이나 샘플 부품을 활용하여 작업하여 기존 자동화 시스템에 원활하게 통합할 수 있습니다.
알루미나 세라믹 엔드 이펙터의 주요 이점
| 특징 | 왜 중요한가 |
|---|---|
| 치수 정밀도 | 고속 반복 사이클에서도 완벽한 정렬을 유지합니다. |
| 비오염 | 사실상 입자를 생성하지 않아 엄격한 청정실 요구 사항을 충족합니다. |
| 내열성 및 내식성 | 공격적인 처리 단계와 열 충격을 견뎌냅니다. |
| 정전하 없음 | 민감한 웨이퍼와 부품을 정전기 위험으로부터 보호합니다. |
| 가볍지만 단단하다 | 로봇 팔의 부하를 줄이지 않고 높은 강성을 제공합니다. |
| 연장된 서비스 수명 | 수명과 신뢰성 면에서 금속 및 폴리머 암보다 뛰어납니다. |
알루미나 세라믹 엔드 이펙터의 재료 비교
| 기인하다 | 플라스틱 포크 암 | 알루미늄/금속 포크 암 | 알루미나 세라믹 포크 암 |
|---|---|---|---|
| 경도 | 낮은 | 중간 | 매우 높음 |
| 열 범위 | ≤ 150°C | ≤ 500°C | 최대 1600°C |
| 화학적 안정성 | 가난한 | 보통의 | 훌륭한 |
| 클린룸 등급 | 낮은 | 평균 | 100학년 이상에 적합합니다 |
| 내마모성 | 제한된 | 좋은 | 뛰어난 |
| 사용자 정의 수준 | 보통의 | 제한된 | 광범위한 |
알루미나 세라믹 엔드 이펙터에 대한 자주 묻는 질문(FAQ)
Q1: 알루미나 세라믹 엔드 이펙터와 금속 엔드 이펙터의 차이점은 무엇입니까?
A1:알루미늄이나 강철 암과 달리 알루미나 세라믹은 부식, 변형 또는 반도체 공정에 금속 이온을 유입시키지 않습니다. 극한 조건에서도 치수 안정성을 유지하며, 입자를 거의 방출하지 않습니다.
Q2: 이 알루미나 세라믹 엔드 이펙터를 고진공 및 플라즈마 챔버에서 사용할 수 있나요?
답변2:네. 알루미나 세라믹은비가스 방출플라즈마에 대한 저항성이 뛰어나 진공 처리 및 에칭 장비에 적합한 소재입니다.
Q3: 이 알루미나 세라믹 엔드 이펙터 포크 암은 얼마나 사용자 정의가 가능합니까?
A3:모든 단위는 가능합니다완전 맞춤형모양, 슬롯, 흡입구, 장착 스타일, 모서리 마감 등을 로봇 시스템 요구 사항에 맞게 조정합니다.
Q4: 깨지기 쉬운가요?
A4:세라믹은 본래 취성을 가지고 있지만, 저희의 설계 엔지니어링은 하중을 고르게 분산시키고 응력점을 최소화합니다. 올바르게 취급할 경우, 금속이나 폴리머 소재보다 수명이 훨씬 깁니다.
회사 소개
XKH는 특수 광학 유리 및 신결정 소재의 첨단 기술 개발, 생산 및 판매를 전문으로 합니다. 당사 제품은 광전자, 가전제품 및 군수 분야에 사용됩니다. 사파이어 광학 부품, 휴대폰 렌즈 커버, 세라믹, LT, 탄화규소(SIC), 석영 및 반도체 결정 웨이퍼를 제공합니다. 숙련된 전문 지식과 최첨단 장비를 바탕으로 비표준 제품 가공에 탁월한 역량을 발휘하며, 선도적인 광전자 소재 첨단 기업을 목표로 합니다.
