BF33 유리 웨이퍼 고급 붕규산 유리 기판 2″4″6″8″12″
상세도
BF33 유리 웨이퍼 개요
국제적으로 BOROFLOAT 33이라는 상표명으로 인정받는 BF33 유리 웨이퍼는 SCHOTT에서 특수 마이크로플로트 생산 방식을 사용하여 개발한 최고급 붕규산 플로트 유리입니다. 이 제조 공정을 통해 두께가 매우 균일하고 표면 평탄도가 우수하며 미세한 요철이 최소화되고 광학적 투명도가 뛰어난 유리 시트를 생산할 수 있습니다.
BF33의 핵심적인 특징 중 하나는 약 3.3 × 10⁻⁶의 낮은 열팽창 계수(CTE)입니다.-6 K-1이러한 특성 덕분에 실리콘 기판과 이상적인 조합을 이룹니다. 따라서 마이크로일렉트로닉스, MEMS 및 광전자 장치에 스트레스 없이 통합할 수 있습니다.
BF33 유리 웨이퍼의 재료 구성
BF33은 붕규산 유리 계열에 속하며 100% 이상의 붕규산 유리를 함유하고 있습니다.80% 실리카(SiO2)붕소산화물(B2O3), 알칼리 산화물 및 미량의 산화알루미늄과 함께, 이 조성물은 다음과 같은 효과를 제공합니다.
-
밀도가 낮음소다석회 유리와 비교하여 전체 구성 요소 무게를 줄였습니다.
-
알칼리 함량 감소민감한 분석 또는 생의학 시스템에서 이온 용출을 최소화합니다.
-
향상된 저항력산, 알칼리 및 유기 용매에 의한 화학적 공격에 강합니다.
BF33 유리 웨이퍼의 생산 공정
BF33 유리 웨이퍼는 일련의 정밀 제어 공정을 통해 생산됩니다. 먼저, 고순도 원료(주로 실리카, 산화붕소, 그리고 미량의 알칼리 및 산화알루미늄)를 정확하게 계량하여 혼합합니다. 이 원료들을 고온에서 용융시킨 후 정제하여 기포와 불순물을 제거합니다. 마이크로플로트 공정을 이용하여 용융된 유리를 용융된 주석 위로 흘려보내 매우 평평하고 균일한 시트를 만듭니다. 이 시트들을 천천히 어닐링하여 내부 응력을 완화한 후, 직사각형 판으로 절단하고 다시 블랭킹하여 원형 웨이퍼로 만듭니다. 웨이퍼 가장자리는 내구성을 위해 경사면 처리 또는 모따기 처리한 후, 정밀 래핑 및 양면 연마를 통해 매우 매끄러운 표면을 얻습니다. 클린룸에서 초음파 세척을 거친 후, 각 웨이퍼는 치수, 평탄도, 광학적 품질 및 표면 결함에 대한 엄격한 검사를 거칩니다. 마지막으로, 웨이퍼는 사용 전까지 품질 유지를 위해 오염 방지 용기에 포장됩니다.
BF33 유리 웨이퍼의 기계적 특성
| 제품 | 보로플로트 33 |
| 밀도 | 2.23 g/cm3 |
| 탄성계수 | 63 kN/mm2 |
| 크누프 경도 HK 0.1/20 | 480 |
| 푸아송 비 | 0.2 |
| 유전 상수(1MHz 및 25°C 기준) | 4.6 |
| 손실 탄젠트(@ 1MHz & 25°C) | 37 x 10-4 |
| 절연 강도(@ 50Hz & 25°C) | 16kV/mm |
| 굴절률 | 1.472 |
| 분산도 (nF - nC) | 71.9 x 10-4 |
BF33 유리 웨이퍼 관련 FAQ
BF33 유리란 무엇인가요?
BF33(BOROFLOAT® 33이라고도 함)은 SCHOTT에서 마이크로플로트 공법으로 제조한 고급 붕규산 플로트 유리입니다. 낮은 열팽창률(~3.3 × 10⁻⁶ K⁻¹), 뛰어난 열충격 저항성, 높은 광학적 투명도, 탁월한 화학적 내구성을 제공합니다.
BF33은 일반 유리와 어떻게 다른가요?
소다석회 유리와 비교했을 때, BF33은 다음과 같습니다.
-
열팽창 계수가 훨씬 낮아 온도 변화로 인한 스트레스를 줄여줍니다.
-
산, 알칼리 및 용제에 대한 화학적 저항성이 더 강합니다.
-
자외선 및 적외선 투과율이 더 높습니다.
-
기계적 강도와 긁힘 방지 기능이 더욱 뛰어납니다.
반도체 및 MEMS 응용 분야에서 BF33이 사용되는 이유는 무엇입니까?
이 소재의 열팽창률은 실리콘과 매우 유사하여 양극 접합 및 미세 가공에 이상적입니다. 또한 화학적 내구성이 뛰어나 에칭, 세척 및 고온 공정을 거쳐도 성능 저하 없이 견딜 수 있습니다.
BF33은 고온을 견딜 수 있습니까?
-
연속 사용 시: 최대 약 450°C
-
단기 노출(≤ 10시간): 최대 약 500°C
또한 낮은 열팽창 계수(CTE) 덕분에 급격한 온도 변화에 대한 저항력이 뛰어납니다.
회사 소개
XKH는 특수 광학 유리 및 신형 결정 소재의 첨단 개발, 생산 및 판매 전문 기업입니다. 당사의 제품은 광전자, 소비자 가전 및 군사 분야에 사용됩니다. 사파이어 광학 부품, 휴대폰 렌즈 커버, 세라믹, LT, 탄화규소(SIC), 석영 및 반도체 결정 웨이퍼 등을 제공합니다. 숙련된 전문가와 최첨단 설비를 바탕으로 비표준 제품 가공에 탁월한 역량을 발휘하며, 광전자 소재 분야의 선도적인 첨단 기술 기업으로 성장하는 것을 목표로 합니다.











