생체모방 미끄럼 방지 패드 웨이퍼 진공 흡착기 마찰 패드 흡착기
생체 모방 미끄럼 방지 패드의 특징:
• 특수 엔지니어링 엘라스토머 복합 소재를 사용하여 잔류물이 남지 않고 오염 없는 깨끗한 미끄럼 방지 효과를 구현하여 반도체 제조 환경 요구 사항에 완벽하게 부합합니다.
• 정밀한 마이크로-나노 구조 배열 설계를 통해 표면 마찰 특성을 지능적으로 제어하여 높은 마찰 계수를 유지하면서 초저점착성을 달성합니다.
• 독창적인 인터페이스 역학 설계로 높은 접선 마찰력(μ>2.5)과 낮은 법선 접착력(<0.1N/cm²) 모두에서 탁월한 성능을 구현합니다.
• 반도체 산업을 위해 특별히 개발된 고분자 소재로, 마이크로 및 나노 제조 기술을 통해 10만 회 재사용에도 성능 저하 없이 안정적인 성능을 구현합니다.
생체모방 미끄럼 방지 패드 적용 사례:
(1) 반도체 산업
1. 웨이퍼 제조:
• 최대 12인치(50~300μm)의 초박형 웨이퍼 전송 중 미끄러짐 방지 위치 고정
• 리소그래피 장비의 웨이퍼 캐리어의 정밀한 고정
• 시험 장비용 웨이퍼 미끄럼 방지 라이너
2. 패키지 테스트:
• 탄화규소/질화갈륨 전력 소자의 비파괴적 고정
• 칩 장착 시 미끄럼 방지 완충재
• 프로브 테이블의 충격 저항 및 미끄럼 방지 성능을 테스트합니다.
(2) 태양광 산업
1. 실리콘 웨이퍼 가공:
• 단결정 실리콘 막대 절단 시 미끄럼 방지 고정
• 초박형 실리콘 웨이퍼(<150μm) 미끄럼 방지 투과형
• 스크린 인쇄기의 실리콘 웨이퍼 위치 조정
2. 구성 요소 조립:
• 미끄럼 방지 기능이 있는 유리 후면 패널 접합
• 프레임 설치 위치
• 바인딩 박스 고정
(3) 광전 산업
1. 디스플레이 패널:
• 미끄럼 방지 OLED/LCD 유리 기판 공정
• 편광판의 정확한 위치 조정
• 충격 방지 및 미끄럼 방지 테스트 장비
2. 광학 부품:
• 렌즈 모듈 조립 시 미끄럼 방지 기능
프리즘/거울 고정
• 충격 방지 레이저 광학 시스템
(4) 정밀 기기
1. 석판 인쇄기의 정밀 플랫폼은 미끄럼 방지 기능이 있습니다.
2. 검사 장비의 측정 테이블은 충격 방지 기능이 있습니다.
3. 자동 장비 기계식 팔 미끄럼 방지
기술 데이터:
| 재료 구성: | 탄소, 산소, 규소 |
| 쇼어 경도(A): | 50~55 |
| 탄성 회복 계수: | 1.28 |
| 상한 허용 온도: | 260℃ |
| 마찰 계수: | 1.8 |
| 플라즈마 저항성: | 용인 |
XKH 서비스:
XKH는 수요 분석, 설계, 신속한 시제품 제작 및 대량 생산 지원을 포함한 생체모방 미끄럼 방지 매트의 전 공정 맞춤 제작 서비스를 제공합니다. XKH는 마이크로 및 나노 제조 기술을 기반으로 반도체, 태양광 및 광전 산업에 특화된 미끄럼 방지 솔루션을 제공하며, 고객사가 파편 발생률을 0.005%까지 줄이고 수율을 15% 향상시키는 등 상당한 효과를 달성할 수 있도록 성공적으로 지원해 왔습니다.
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