바이오닉 미끄럼 방지 패드 웨이퍼 운반 진공 흡입기 마찰 패드 흡입기
바이오닉 미끄럼 방지 패드 특징:
• 특수 엔지니어링 엘라스토머 복합 소재를 사용하여 잔여물이 없고 오염이 없는 깨끗한 미끄럼 방지 효과를 구현하여 반도체 제조 환경 요구 사항을 완벽하게 충족합니다.
• 정밀한 마이크로-나노 구조 배열 설계를 통해 표면 마찰 특성을 지능적으로 제어하는 동시에 매우 낮은 접착력을 달성하면서 높은 마찰 계수를 유지합니다.
• 독특한 인터페이스 기계 설계로 높은 접선 마찰(μ>2.5)과 낮은 수직 접착력(<0.1N/cm²)의 뛰어난 성능을 구현합니다.
• 반도체 산업을 위해 특별히 개발된 폴리머 소재로, 마이크로 및 나노 제조 기술을 통해 10만 번의 재사용에도 감쇠 없이 안정적인 성능을 구현합니다.
바이오닉 미끄럼 방지 패드 적용:
(1) 반도체 산업
1. 웨이퍼 제조:
· 최대 12인치(50~300μm)의 초박형 웨이퍼 이송 시 미끄럼 방지 위치 지정
· 리소그래피 장비의 웨이퍼 캐리어의 정밀 고정
· 테스트 장비용 웨이퍼 미끄럼 방지 라이너
2. 패키지 테스트:
· 탄화규소/질화갈륨 전력소자의 비파괴 고정
· 칩 장착 시 미끄럼 방지 버퍼
· 프로브 테이블의 충격 및 미끄럼 방지 기능을 테스트합니다.
(2) 태양광 산업
1. 실리콘 웨이퍼 가공:
· 단결정 실리콘 막대 절단 시 미끄럼 방지 고정
· 초박형 실리콘 웨이퍼(<150μm) 투과성 미끄럼 방지
· 스크린 인쇄기의 실리콘 웨이퍼 위치 결정
2. 구성품 조립:
· 유리 백플레인 라미네이트 미끄럼 방지
· 프레임 설치 위치
· 바인딩 박스 고정
(3) 광전산업
1. 디스플레이 패널:
· 미끄럼 방지 OLED/LCD 유리기판 공정
· 편광판 맞춤의 정확한 위치 지정
· 충격 방지 및 미끄럼 방지 테스트 장비
2. 광학 부품:
· 렌즈 모듈 조립 미끄럼 방지
· 프리즘/미러 고정
· 충격 방지 레이저 광학 시스템
(4) 정밀기기
1. 리소그래피 기계의 정밀 플랫폼은 미끄럼 방지 기능이 있습니다.
2. 검출장비의 측정테이블은 충격방지 기능이 있습니다.
3. 자동장비 기계식 암 미끄럼방지
기술 데이터：
| 재료 구성: | C, O, Si |
| 쇼어 경도(A) : | 50~55 |
| 탄성 회복 계수: | 1.28 |
| 상한 허용 온도: | 260℃ |
| 마찰계수: | 1.8 |
| 플라즈마 저항성: | 용인 |
XKH 서비스:
XKH는 바이오닉 미끄럼 방지 매트의 전체 공정 맞춤 서비스를 제공합니다. 여기에는 수요 분석, 계획 설계, 신속한 교정 및 양산 지원이 포함됩니다. XKH는 마이크로 및 나노 제조 기술을 활용하여 반도체, 태양광 및 광전 산업에 전문적인 미끄럼 방지 솔루션을 제공하며, 고객이 잔해율 0.005% 감소 및 수율 15% 향상과 같은 획기적인 효과를 달성하도록 성공적으로 지원했습니다.
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