6인치/8인치 POD/FOSB 광섬유 스플라이스 박스 배송 박스 보관 박스 RSP 원격 서비스 플랫폼 FOUP 전면 개방형 통합 POD
상세 다이어그램
FOSB 개요
그만큼FOSB(전면 개봉 배송 상자)300mm 반도체 웨이퍼의 안전한 운송 및 보관을 위해 특별히 설계된 정밀 엔지니어링 방식의 전면 개방형 컨테이너입니다. 팹 간 이송 및 장거리 운송 시 웨이퍼를 보호하는 데 중요한 역할을 하며, 최고 수준의 청결도와 기계적 무결성을 유지합니다.
초고청정 정전기 방지 소재로 제조되고 SEMI 표준에 따라 설계된 FOSB는 입자 오염, 정전기 방전 및 물리적 충격으로부터 탁월한 보호 기능을 제공합니다. FOSB는 전 세계 반도체 제조, 물류, OEM/OSAT 파트너십, 특히 300mm 웨이퍼 팹의 자동화 생산 라인에서 널리 사용되고 있습니다.
FOSB의 구조 및 재료
일반적인 FOSB 상자는 여러 정밀 부품으로 구성되어 있으며, 모두 공장 자동화와 원활하게 작동하고 웨이퍼 안전을 보장하도록 설계되었습니다.
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본체: PC(폴리카보네이트)나 PEEK와 같은 고순도 엔지니어링 플라스틱으로 성형되어 높은 기계적 강도, 낮은 입자 발생, 내화학성을 제공합니다.
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정문 개방형 도어: 완전 자동화 호환성을 위해 설계되었으며, 운송 중 최소한의 공기 교환을 보장하는 밀폐형 개스킷이 특징입니다.
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내부 레티클/웨이퍼 트레이: 최대 25개의 웨이퍼를 안전하게 보관할 수 있습니다. 트레이는 정전기 방지 처리되어 있으며, 웨이퍼가 움직이거나 가장자리가 깨지거나 긁히는 것을 방지합니다.
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래치 메커니즘: 안전 잠금 시스템이 있어 운송 및 취급 중에 문이 닫힌 상태로 유지됩니다.
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추적 기능: 많은 모델에는 물류 체인 전반에 걸친 완전한 MES 통합 및 추적을 위해 RFID 태그, 바코드 또는 QR 코드가 내장되어 있습니다.
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ESD 제어: 이러한 소재는 정전 방지 기능을 갖추고 있으며, 일반적으로 표면 저항률은 10⁶~10⁹옴으로, 웨이퍼를 정전 방전으로부터 보호하는 데 도움이 됩니다.
이러한 구성품은 청정실 환경에서 제조되며 E10, E47, E62, E83과 같은 국제 SEMI 표준을 충족하거나 초과합니다.
주요 장점
● 고수준 웨이퍼 보호
FOSB는 웨이퍼를 물리적 손상과 환경 오염 물질로부터 보호하도록 제작되었습니다.
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완벽하게 밀폐된 시스템은 습기, 화학 연기, 공기 중 입자를 차단합니다.
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진동 방지 내부로 기계적 충격이나 미세균열의 위험을 줄여줍니다.
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견고한 외부 쉘은 물류 과정에서 떨어지는 충격과 쌓이는 압력을 견뎌냅니다.
● 완전 자동화 호환성
FOSB는 AMHS(자동화된 자재 취급 시스템)에서 사용하도록 설계되었습니다.
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SEMI 규격을 준수하는 로봇 팔, 로드 포트, 스토커 및 오프너와 호환됩니다.
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전면 개방 메커니즘은 원활한 공장 자동화를 위해 표준 FOUP 및 로드 포트 시스템과 일치합니다.
● 클린룸 준비 설계
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매우 깨끗하고 가스 발생이 적은 소재로 제조되었습니다.
세척과 재사용이 간편하며, 1등급 이상의 클린룸 환경에 적합합니다.
중금속 이온이 없으므로 웨이퍼 이송 중 오염이 발생하지 않습니다.
● 지능형 추적 및 MES 통합
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선택 사양인 RFID/NFC/바코드 시스템을 사용하면 제조 공장 간의 완벽한 추적이 가능합니다.
각 FOSB는 MES 또는 WMS 시스템 내에서 고유하게 식별되고 추적될 수 있습니다.
프로세스 투명성, 배치 식별 및 재고 관리를 지원합니다.
FOSB 상자 - 결합 사양 표
| 범주 | 목 | 값 |
|---|---|---|
| 재료 | 웨이퍼 접촉 | 폴리카보네이트 |
| 재료 | 쉘, 도어, 도어 쿠션 | 폴리카보네이트 |
| 재료 | 후면 리테이너 | 폴리부틸렌 테레프탈레이트 |
| 재료 | 핸들, 자동 플랜지, 정보 패드 | 폴리카보네이트 |
| 재료 | 틈 메우는 물건 | 열가소성 엘라스토머 |
| 재료 | KC 플레이트 | 폴리카보네이트 |
| 명세서 | 용량 | 웨이퍼 25개 |
| 명세서 | 깊이 | 332.77mm ±0.1mm(13.10인치 ±0.005인치) |
| 명세서 | 너비 | 389.52mm ±0.1mm(15.33인치 ±0.005인치) |
| 명세서 | 키 | 336.93mm ±0.1mm(13.26인치 ±0.005인치) |
| 명세서 | 2팩 길이 | 680mm(26.77인치) |
| 명세서 | 2팩 너비 | 415mm(16.34인치) |
| 명세서 | 2팩 높이 | 365mm(14.37인치) |
| 명세서 | 무게(비어 있음) | 4.6kg(10.1파운드) |
| 명세서 | 무게(전체) | 7.8kg(17.2파운드) |
| 웨이퍼 호환성 | 웨이퍼 크기 | 300mm |
| 웨이퍼 호환성 | 정점 | 10.0mm(0.39인치) |
| 웨이퍼 호환성 | 비행기 | 공칭에서 ±0.5mm(0.02") |
응용 프로그램 시나리오
FOSB는 300mm 웨이퍼 물류 및 보관에 필수적인 도구입니다. FOSB는 다음과 같은 시나리오에서 널리 채택됩니다.
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Fab 간 전송: 서로 다른 반도체 제조 시설 간에 웨이퍼를 이동하는 데 사용됨.
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주조물 배달: 완성된 웨이퍼를 제조공장에서 고객이나 포장 시설로 운반합니다.
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OEM/OSAT 물류: 아웃소싱된 포장 및 테스트 프로세스.
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제3자 보관 및 창고: 귀중한 웨이퍼의 장기 또는 임시 보관을 안전하게 해줍니다.
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내부 웨이퍼 전송: AMHS 또는 수동 운송을 통해 원격 제조 모듈이 연결된 대규모 제조 캠퍼스에서.
글로벌 공급망 운영에서 FOSB는 고가 웨이퍼 운송의 표준이 되어 대륙 전체에 걸쳐 오염 없는 배송을 보장합니다.
FOSB 대 FOUP – 차이점은 무엇인가?
| 특징 | FOSB(전면 개봉 배송 상자) | FOUP(Front Opening Unified Pod) |
|---|---|---|
| 주요 용도 | 팹 간 웨이퍼 운송 및 물류 | 공장 내 웨이퍼 이송 및 자동화 처리 |
| 구조 | 추가 보호 기능이 있는 견고하고 밀폐된 용기 | 내부 자동화에 최적화된 재사용 가능한 포드 |
| 기밀성 | 더 높은 밀봉 성능 | 쉽게 접근할 수 있도록 설계되었으며 기밀성이 낮습니다. |
| 사용 빈도 | 중간(안전한 장거리 운송에 초점) | 자동화 생산 라인의 고주파 |
| 웨이퍼 용량 | 일반적으로 상자당 25개의 웨이퍼 | 일반적으로 포드당 25개의 웨이퍼 |
| 자동화 지원 | FOSB 오프너와 호환 가능 | FOUP 로드 포트와 통합 |
| 규정 준수 | 세미 E47, E62 | SEMI E47, E62, E84 등 |
둘 다 웨이퍼 물류에서 중요한 역할을 하지만, FOSB는 제조 공장 간 또는 외부 고객으로의 견고한 운송을 위해 특별히 제작되었고, FOUP는 자동화된 생산 라인의 효율성에 더 중점을 둡니다.
자주 묻는 질문(FAQ)
질문 1: FOSB는 재사용이 가능한가요?
네. 고품질 FOSB는 반복 사용에 적합하도록 설계되었으며, 적절하게 관리하면 수십 번의 세척 및 취급 주기를 견딜 수 있습니다. 인증된 도구를 사용하여 정기적으로 세척하는 것이 좋습니다.
질문 2: FOSB를 브랜딩이나 추적에 맞게 사용자 정의할 수 있나요?
물론입니다. FOSB는 고객 로고, 특정 RFID 태그, 방습 밀봉, 심지어 물류 관리를 위한 다양한 색상 코딩 등으로 맞춤 제작이 가능합니다.
Q3: FOSB는 클린룸 환경에 적합합니까?
네. FOSB는 클린 등급 플라스틱으로 제조되며, 입자 발생을 방지하기 위해 밀봉되어 있습니다. 1등급부터 1000등급까지의 클린룸 환경과 중요 반도체 구역에 적합합니다.
Q4: 자동화 중에 FOSB는 어떻게 열리나요?
FOSB는 수동 접촉 없이 전면 도어를 제거하는 특수 FOSB 오프너와 호환되어 청정실 조건의 무결성을 유지합니다.
회사 소개
XKH는 특수 광학 유리 및 신결정 소재의 첨단 기술 개발, 생산 및 판매를 전문으로 합니다. 당사 제품은 광전자, 가전제품 및 군수 분야에 사용됩니다. 사파이어 광학 부품, 휴대폰 렌즈 커버, 세라믹, LT, 탄화규소(SIC), 석영 및 반도체 결정 웨이퍼를 제공합니다. 숙련된 전문 지식과 최첨단 장비를 바탕으로 비표준 제품 가공에 탁월한 역량을 발휘하며, 선도적인 광전자 소재 첨단 기업을 목표로 합니다.
