6인치/8인치 POD/FOSB 광섬유 접속함 배송함 보관함 RSP 원격 서비스 플랫폼 FOUP 전면 개방형 통합 포드
상세도
FOSB 개요
그만큼FOSB(앞면 개방형 배송 상자)이 제품은 300mm 반도체 웨이퍼의 안전한 운송 및 보관을 위해 특별히 설계된 정밀 엔지니어링된 전면 개방형 컨테이너입니다. 웨이퍼를 제조 공장 간 이동 및 장거리 운송 중에 안전하게 보호하는 데 중요한 역할을 하며, 최고 수준의 청결도와 기계적 무결성을 유지하도록 보장합니다.
초청정 정전기 방지 소재로 제작되고 SEMI 표준에 따라 설계된 FOSB는 입자 오염, 정전기 방전 및 물리적 충격으로부터 탁월한 보호 기능을 제공합니다. FOSB는 전 세계 반도체 제조, 물류 및 OEM/OSAT 파트너십, 특히 300mm 웨이퍼 팹의 자동화 생산 라인에서 널리 사용되고 있습니다.
FOSB의 구조 및 재료
일반적인 FOSB 박스는 여러 정밀 부품으로 구성되어 있으며, 이 모든 부품은 공장 자동화 시스템과 원활하게 연동되고 웨이퍼의 안전을 보장하도록 설계되었습니다.
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본체고순도 엔지니어링 플라스틱(예: PC(폴리카보네이트) 또는 PEEK)으로 성형되어 높은 기계적 강도, 낮은 입자 발생량 및 내화학성을 제공합니다.
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앞쪽 여닫이문완전 자동화 시스템과의 호환성을 고려하여 설계되었으며, 운송 중 공기 교환을 최소화하는 밀폐형 개스킷이 특징입니다.
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내부 레티클/웨이퍼 트레이웨이퍼를 최대 25개까지 안전하게 고정합니다. 트레이는 정전기 방지 및 쿠션 처리되어 웨이퍼의 흔들림, 가장자리 깨짐 또는 긁힘을 방지합니다.
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래치 메커니즘안전 잠금 시스템은 운송 및 취급 중 문이 닫힌 상태를 유지하도록 합니다.
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추적성 기능많은 모델에는 물류 체인 전반에 걸쳐 완벽한 MES 통합 및 추적을 위해 내장형 RFID 태그, 바코드 또는 QR 코드가 포함되어 있습니다.
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ESD 제어이 소재들은 정전기 방지 특성을 가지며, 일반적으로 표면 저항이 10⁶~10⁹옴 사이로, 웨이퍼를 정전기 방전으로부터 보호하는 데 도움을 줍니다.
이러한 부품은 클린룸 환경에서 제조되며 E10, E47, E62 및 E83과 같은 국제 SEMI 표준을 충족하거나 능가합니다.
주요 장점
● 고수준 웨이퍼 보호
FOSB는 웨이퍼를 물리적 손상 및 환경 오염 물질로부터 보호하기 위해 제작되었습니다.
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완전히 밀폐된 시스템은 습기, 화학 물질 증기 및 공기 중 미립자를 차단합니다.
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진동 방지 내부 구조는 기계적 충격이나 미세 균열의 위험을 줄여줍니다.
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견고한 외부 케이스는 낙하 충격과 물류 중 적재 압력을 견뎌냅니다.
● 완전 자동화 호환성
FOSB는 AMHS(자동화된 자재 처리 시스템)에 사용하도록 설계되었습니다.
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SEMI 규격을 준수하는 로봇 팔, 적재 포트, 스토커 및 오프너와 호환됩니다.
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전면 개방 메커니즘은 표준 FOUP 및 적재 포트 시스템과 호환되어 원활한 공장 자동화를 지원합니다.
● 클린룸 환경에 적합한 설계
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초청정, 저가스 방출 소재로 제조되었습니다.
세척 및 재사용이 용이하며, 1등급 이상의 클린룸 환경에 적합합니다.
중금속 이온이 없어 웨이퍼 이송 중 오염을 방지합니다.
● 지능형 추적 및 MES 통합
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선택 사양인 RFID/NFC/바코드 시스템을 통해 제조 공장 간 완벽한 추적성을 확보할 수 있습니다.
각 FOSB는 MES 또는 WMS 시스템 내에서 고유하게 식별되고 추적될 수 있습니다.
공정 투명성, 배치 식별 및 재고 관리를 지원합니다.
FOSB 박스 - 통합 사양표
| 범주 | 목 | 값 |
|---|---|---|
| 재료 | 웨이퍼 접촉 | 폴리카보네이트 |
| 재료 | 쉘, 도어, 도어 쿠션 | 폴리카보네이트 |
| 재료 | 후방 고정 장치 | 폴리부틸렌 테레프탈레이트 |
| 재료 | 핸들, 자동 플랜지, 정보 패드 | 폴리카보네이트 |
| 재료 | 틈 메우는 물건 | 열가소성 엘라스토머 |
| 재료 | KC 플레이트 | 폴리카보네이트 |
| 명세서 | 용량 | 웨이퍼 25개 |
| 명세서 | 깊이 | 332.77 mm ±0.1 mm (13.10" ±0.005") |
| 명세서 | 너비 | 389.52 mm ±0.1 mm (15.33" ±0.005") |
| 명세서 | 키 | 336.93 mm ±0.1 mm (13.26" ±0.005") |
| 명세서 | 2개입 길이 | 680mm (26.77") |
| 명세서 | 2개입 너비 | 415mm (16.34") |
| 명세서 | 2개입 높이 | 365mm (14.37") |
| 명세서 | 무게(빈 상태) | 4.6kg (10.1lb) |
| 명세서 | 무게 (전체) | 7.8kg (17.2lb) |
| 웨이퍼 호환성 | 웨이퍼 크기 | 300mm |
| 웨이퍼 호환성 | 정점 | 10.0mm (0.39") |
| 웨이퍼 호환성 | 비행기 | 공칭값에서 ±0.5mm(0.02인치) |
응용 시나리오
FOSB는 300mm 웨이퍼 물류 및 보관에 필수적인 도구입니다. 다음과 같은 시나리오에서 널리 사용됩니다.
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Fab-to-Fab 전송반도체 제조 시설 간에 웨이퍼를 이동시키기 위한 용도입니다.
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주조 공장 납품웨이퍼 제조 공장에서 고객 또는 포장 시설로 완제품 웨이퍼를 운송하는 것.
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OEM/OSAT 물류아웃소싱된 포장 및 테스트 프로세스에서.
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제3자 보관 및 창고 서비스귀중한 웨이퍼를 장기간 또는 일시적으로 안전하게 보관합니다.
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내부 웨이퍼 전송대규모 제조 단지에서는 원격 제조 모듈이 AMHS 또는 수동 운송을 통해 연결됩니다.
글로벌 공급망 운영에서 FOSB(프랜차이즈 오픈 소스 중소기업)는 고부가가치 웨이퍼 운송의 표준이 되어 대륙 간 오염 없는 배송을 보장합니다.
FOSB와 FOUP의 차이점은 무엇일까요?
| 특징 | FOSB(앞면 개방형 배송 상자) | FOUP(Front Opening Unified Pod) |
|---|---|---|
| 주요 용도 | 공장 간 웨이퍼 운송 및 물류 | 공장 내 웨이퍼 이송 및 자동화 처리 |
| 구조 | 견고하고 밀폐된 용기에 추가 보호 기능이 있습니다. | 내부 자동화에 최적화된 재사용 가능한 포드 |
| 기밀성 | 더욱 향상된 밀봉 성능 | 쉽게 접근할 수 있도록 설계되었으며, 밀폐성은 다소 떨어집니다. |
| 사용 빈도 | 중형 (안전한 장거리 운송에 중점) | 자동화 생산 라인의 고주파 |
| 웨이퍼 용량 | 일반적으로 한 상자에 웨이퍼 25개가 들어 있습니다. | 일반적으로 포드당 웨이퍼 25개 |
| 자동화 지원 | FOSB 오프너와 호환 가능 | FOUP 로드 포트와 통합됨 |
| 규정 준수 | 세미 E47, E62 | 세미 E47, E62, E84 등 |
둘 다 웨이퍼 물류에서 중요한 역할을 하지만, FOSB는 공장 간 또는 외부 고객에게 안정적인 배송을 위해 특별히 설계된 반면, FOUP는 자동화된 생산 라인의 효율성에 더 중점을 둡니다.
자주 묻는 질문(FAQ)
Q1: FOSB는 재사용 가능한가요?
네. 고품질 FOSB는 반복 사용을 위해 설계되었으며 적절하게 관리하면 수십 번의 세척 및 취급 과정을 견딜 수 있습니다. 인증된 도구를 사용하여 정기적으로 세척하는 것이 좋습니다.
Q2: FOSB는 브랜딩이나 추적을 위해 맞춤 설정할 수 있나요?
물론입니다. FOSB는 고객 로고, 특정 RFID 태그, 방습 밀봉, 심지어 물류 관리를 용이하게 하기 위한 다양한 색상 코드 등으로 맞춤 제작할 수 있습니다.
Q3: FOSB는 클린룸 환경에 적합한가요?
네. FOSB는 청정 등급 플라스틱으로 제조되며 입자 발생을 방지하기 위해 밀봉됩니다. 클래스 1부터 클래스 1000까지의 클린룸 환경 및 중요 반도체 구역에 적합합니다.
Q4: 자동화 과정에서 FOSB는 어떻게 개방되나요?
FOSB는 수동 접촉 없이 전면 도어를 제거하는 특수 FOSB 개폐 장치와 호환되므로 클린룸 환경의 무결성을 유지합니다.
회사 소개
XKH는 특수 광학 유리 및 신형 결정 소재의 첨단 개발, 생산 및 판매 전문 기업입니다. 당사의 제품은 광전자, 소비자 가전 및 군사 분야에 사용됩니다. 사파이어 광학 부품, 휴대폰 렌즈 커버, 세라믹, LT, 탄화규소(SIC), 석영 및 반도체 결정 웨이퍼 등을 제공합니다. 숙련된 전문가와 최첨단 설비를 바탕으로 비표준 제품 가공에 탁월한 역량을 발휘하며, 광전자 소재 분야의 선도적인 첨단 기술 기업으로 성장하는 것을 목표로 합니다.










