반도체 및 클린룸 자동화용 고성능 알루미나 세라믹 엔드 이펙터(포크 암)

간단한 설명:

알루미나 세라믹 엔드 이펙터(Alumina Ceramic End Effector)는 세라믹 포크 암(ceramic fork arm) 또는 로봇 세라믹 핸드(robot ceramic hand)라고도 불리며, 반도체, 태양광, 패널 디스플레이 및 고순도 실험실 환경의 자동화 시스템용으로 설계된 고정밀 핸들링 부품입니다. 뛰어난 열 안정성, 기계적 강성 및 내화학성을 제공하도록 설계되어 실리콘 웨이퍼, 유리 기판, 전자 마이크로 부품과 같은 민감한 재료를 깨끗하고 안정적이며 안전하게 운반할 수 있습니다.

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특징

상세 다이어그램

제품 소개

로봇 엔드 이펙터의 한 유형인 이 세라믹 부품은 자동화 시스템과 작업물 사이의 최종 인터페이스입니다. 클린룸 및 진공 환경에서 정밀 이송, 정렬, 로딩/언로딩 및 위치 지정 작업에 중요한 역할을 합니다.

재료 개요 - 알루미나 세라믹(Al₂O₃)

알루미나 세라믹은 뛰어난 기계적 및 전기적 특성으로 잘 알려진 매우 안정적이고 화학적으로 불활성인 기술 세라믹 소재입니다. 이 엔드 이펙터에 사용된 고순도(≥ 99.5%) 알루미나는 다음과 같은 성능을 보장합니다.

높은 경도(모스 9): 다이아몬드에 이어 알루미나는 극도의 내마모성을 제공합니다.
고온 성능: 1600°C 이상에서도 구조적 무결성을 유지합니다.
화학적 불활성: 산, 알칼리, 용매 및 플라스마 에칭 환경에 강합니다.
전기 절연: 유전 강도가 높고 유전 손실이 낮습니다.
낮은 열팽창: 열 순환 환경에서 치수 안정성을 보장합니다.
낮은 입자 생성: 클린룸 호환성(Class 10~Class 1000)에 필수적입니다.

이러한 특징 덕분에 알루미나 세라믹은 오염에 민감한 산업에서 임무 수행에 중요한 작업에 이상적입니다.

기능적 응용 프로그램

알루미나 세라믹 엔드 이펙터는 첨단 산업 공정, 특히 열팽창, 오염 또는 부식 문제로 인해 기존 금속 또는 플라스틱 소재가 부족할 때 널리 사용됩니다. 주요 응용 분야는 다음과 같습니다.

반도체 웨이퍼 이송
포토리소그래피 로딩 및 언로딩 시스템
OLED 및 LCD 라인의 유리 기판 취급
태양 전지 생산에서의 결정질 실리콘 웨이퍼 이송
자동 광학 또는 마이크로 전자 검사
분석 또는 생물의학 연구실에서의 샘플 운송
진공 환경 자동화 시스템

입자나 정전하를 발생시키지 않고 작업을 수행할 수 있는 능력 덕분에 클린룸 자동화에서 정밀한 로봇 작업에 필수적입니다.

디자인 기능 및 사용자 정의

각 세라믹 엔드 이펙터는 특정 로봇 팔 또는 웨이퍼 핸들링 시스템에 맞게 설계되었습니다. 다음 사항을 기반으로 완벽한 맞춤 제작을 지원합니다.

웨이퍼 크기 호환성: 2인치, 4인치, 6인치, 8인치, 12인치 등
슬롯 형상 및 간격: 가장자리 그립, 뒷면 지지대 또는 노치 웨이퍼 디자인을 수용합니다.
흡입구: 비접촉 처리를 위한 통합 진공 구멍 또는 채널
장착 구성: 로봇의 엔드 툴 플랜지에 맞춰 제작된 구멍, 나사산, 슬롯
표면 처리: 광택, 랩핑 또는 미세 연마 마감(Ra < 0.2 µm 가능)
에지 보호: 웨이퍼 손상을 방지하기 위한 둥근 모서리 또는 모따기

고객이 제공한 CAD 도면이나 3D 모델을 활용하여 당사 엔지니어는 각 포크 암의 무게, 강도, 청결도를 최적화할 수 있습니다.

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세라믹 엔드 이펙터의 장점

특징	혜택
높은 기계적 강성	로봇 로딩력 하에서도 치수 정밀도 유지
우수한 열 성능	고온 또는 플라즈마 환경에서 안정적으로 작동합니다.
금속 오염 없음	중요한 반도체 공정에서 이온 오염 위험 없음
낮은 마찰 표면	웨이퍼 또는 유리 기판의 긁힘 위험을 줄입니다.
정전기 방지 및 비자성	먼지를 끌어들이지 않으며 자기에 민감한 구성 요소에 영향을 미치지 않습니다.
긴 서비스 수명	반복적인 고속 자동화 사이클에서 뛰어난 내마모성
초고청정 호환성	ISO 14644 클린룸(Class 100 이하)에 적합

플라스틱이나 알루미늄 암과 비교했을 때, 알루미나 세라믹은 최소한의 유지관리만으로 화학적, 물리적 안정성이 크게 향상됩니다.

재산	금속 팔	플라스틱 암	알루미나 세라믹 암
경도	보통의	낮은	매우 높음(모스 9)
열 안정성	≤ 500°C	≤ 150°C	≥ 1600°C
내화학성	보통의	가난한	훌륭한
클린룸 적합성	중간	낮은	매우 높음
내마모성	중간	낮은	뛰어난
유전 강도	낮은	중간	높은
맞춤형 가공 정밀도	제한된	보통의	높음 (±0.01mm 가능)

기술 사양

매개변수	값
재료	고순도 알루미나(≥ 99.5%)
작동 온도	최대 1600°C
표면 거칠기	Ra ≤ 0.2 µm (선택 사항)
호환 웨이퍼 크기	2인치 ~ 12인치 또는 맞춤형
평탄도 허용차	±0.01mm(응용 프로그램에 따라 다름)
진공 흡입 지원	선택 가능한 사용자 정의 채널
장착 옵션	볼트 관통, 플랜지, 슬롯 구멍

자주 묻는 질문(FAQ)

Q1: 엔드 이펙터를 기존 로봇 시스템에 통합할 수 있나요?
A1:네. 로봇 인터페이스에 따른 맞춤 제작을 지원합니다. 정확한 조정을 위해 CAD 도면이나 플랜지 치수를 보내주시면 됩니다.

Q2: 세라믹 암은 사용 중에 쉽게 부러질까요?
답변2:세라믹은 본래 취성이 강하지만, 저희는 최적화된 형상을 사용하여 응력 집중을 최소화합니다. 적절한 사용 조건에서는 금속이나 플라스틱보다 훨씬 긴 수명을 제공합니다.

Q3: 초고진공 또는 플라즈마 에칭 챔버에서도 사용할 수 있나요?
A3:네. 알루미나 세라믹은 가스 방출이 없고 열 안정성이 뛰어나며 내부식성이 뛰어나 고진공, 반응성 가스 또는 플라즈마 환경에 매우 적합합니다.

Q4: 이러한 구성 요소는 어떻게 청소되거나 유지 관리됩니까?
A4:탈이온수, 알코올 또는 클린룸에 적합한 세제를 사용하여 세척할 수 있습니다. 화학적 안정성과 불활성 표면 덕분에 특별한 유지 관리가 필요하지 않습니다.

회사 소개

XKH는 특수 광학 유리 및 신결정 소재의 첨단 기술 개발, 생산 및 판매를 전문으로 합니다. 당사 제품은 광전자, 가전제품 및 군수 분야에 사용됩니다. 사파이어 광학 부품, 휴대폰 렌즈 커버, 세라믹, LT, 탄화규소(SIC), 석영 및 반도체 결정 웨이퍼를 제공합니다. 숙련된 전문 지식과 최첨단 장비를 바탕으로 비표준 제품 가공에 탁월한 역량을 발휘하며, 선도적인 광전자 소재 첨단 기업을 목표로 합니다.