HPSI SiC 웨이퍼 직경:3인치 두께:350um± 25 µm 전력전자용
애플리케이션
HPSI SiC 웨이퍼는 다음을 포함하여 광범위한 전력 전자 응용 분야에 사용됩니다.
전력 반도체:SiC 웨이퍼는 일반적으로 파워 다이오드, 트랜지스터(MOSFET, IGBT) 및 사이리스터 생산에 사용됩니다. 이러한 반도체는 산업용 모터 드라이브, 전원 공급 장치, 재생 에너지 시스템용 인버터 등 높은 효율과 신뢰성이 요구되는 전력 변환 애플리케이션에 널리 사용됩니다.
전기자동차(EV):전기 자동차 파워트레인에서 SiC 기반 전력 장치는 더 빠른 스위칭 속도, 더 높은 에너지 효율성 및 감소된 열 손실을 제공합니다. SiC 구성 요소는 무게를 최소화하고 에너지 변환 효율성을 극대화하는 것이 중요한 배터리 관리 시스템(BMS), 충전 인프라 및 온보드 충전기(OBC) 애플리케이션에 이상적입니다.
재생 에너지 시스템:SiC 웨이퍼는 고효율과 견고성이 필수적인 태양광 인버터, 풍력 터빈 발전기, 에너지 저장 시스템에 점점 더 많이 사용되고 있습니다. SiC 기반 구성 요소는 이러한 애플리케이션에서 더 높은 전력 밀도와 향상된 성능을 제공하여 전반적인 에너지 변환 효율성을 향상시킵니다.
산업용 전력 전자:모터 드라이브, 로봇 공학 및 대규모 전원 공급 장치와 같은 고성능 산업 응용 분야에서 SiC 웨이퍼를 사용하면 효율성, 신뢰성 및 열 관리 측면에서 성능이 향상됩니다. SiC 장치는 높은 스위칭 주파수와 고온을 처리할 수 있으므로 까다로운 환경에 적합합니다.
통신 및 데이터 센터:SiC는 높은 신뢰성과 효율적인 전력 변환이 중요한 통신 장비 및 데이터 센터용 전원 공급 장치에 사용됩니다. SiC 기반 전력 장치는 더 작은 크기에서 더 높은 효율성을 가능하게 하여 대규모 인프라에서 전력 소비를 줄이고 냉각 효율성을 향상시킵니다.
SiC 웨이퍼는 높은 항복 전압, 낮은 온저항, 탁월한 열 전도성을 갖추고 있어 이러한 고급 응용 분야에 이상적인 기판이 되어 차세대 에너지 효율적인 전력 전자 장치 개발이 가능합니다.
속성
| 재산 | 값 |
| 웨이퍼 직경 | 76.2mm(3인치) |
| 웨이퍼 두께 | 350μm ± 25μm |
| 웨이퍼 오리엔테이션 | <0001> 축 ± 0.5° |
| 마이크로파이프 밀도(MPD) | ≤ 1cm⁻² |
| 전기 저항력 | ≥ 1E7Ω·cm |
| 도펀트 | 도핑되지 않은 |
| 기본 평면 방향 | {11-20} ± 5.0° |
| 1차 플랫 길이 | 32.5mm ± 3.0mm |
| 2차 플랫 길이 | 18.0mm ± 2.0mm |
| 보조 평면 방향 | Si 페이스 업: 1차 플랫에서 시계 방향으로 90° ± 5.0° |
| 가장자리 제외 | 3mm |
| LTV/TTV/활/워프 | 3μm / 10μm / ±30μm / 40μm |
| 표면 거칠기 | C면:광택, Si면:CMP |
| 균열(고강도 빛으로 검사) | 없음 |
| 육각 플레이트(고강도 빛으로 검사) | 없음 |
| 다형 영역(고강도 빛으로 검사) | 누적 면적 5% |
| 긁힘(고강도 빛으로 검사) | ≤ 5 스크래치, 누적 길이 ≤ 150 mm |
| 가장자리 치핑 | 허용되지 않음 ≥ 0.5mm 너비 및 깊이 |
| 표면 오염(고강도 빛으로 검사) | 없음 |
주요 이점
높은 열전도율:SiC 웨이퍼는 열을 발산하는 탁월한 능력으로 잘 알려져 있으며 이를 통해 전력 장치가 과열 없이 더 높은 효율로 작동하고 더 높은 전류를 처리할 수 있습니다. 이 기능은 열 관리가 중요한 전력 전자 장치에 매우 중요합니다.
높은 항복 전압:SiC의 넓은 밴드갭 덕분에 장치는 더 높은 전압 레벨을 견딜 수 있으므로 전력망, 전기 자동차, 산업 기계와 같은 고전압 애플리케이션에 이상적입니다.
고효율:높은 스위칭 주파수와 낮은 온 저항이 결합되어 장치의 에너지 손실이 낮아지고 전력 변환의 전반적인 효율성이 향상되며 복잡한 냉각 시스템의 필요성이 줄어듭니다.
열악한 환경에서의 신뢰성:SiC는 고온(최대 600°C)에서 작동할 수 있으므로 기존 실리콘 기반 장치를 손상시킬 수 있는 환경에서 사용하기에 적합합니다.
에너지 절약:SiC 전력 장치는 특히 산업용 전력 변환기, 전기 자동차, 재생 에너지 인프라와 같은 대규모 시스템에서 전력 소비를 줄이는 데 중요한 에너지 변환 효율을 향상시킵니다.
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