HPSI SiC 웨이퍼 직경: 3인치 두께: 350um± 25µm 전력 전자용
애플리케이션
HPSI SiC 웨이퍼는 다음을 포함한 광범위한 전력 전자 응용 분야에 사용됩니다.
전력 반도체:SiC 웨이퍼는 전력 다이오드, 트랜지스터(MOSFET, IGBT), 사이리스터 생산에 일반적으로 사용됩니다. 이러한 반도체는 산업용 모터 드라이브, 전원 공급 장치, 재생 에너지 시스템용 인버터 등 높은 효율과 신뢰성이 요구되는 전력 변환 분야에 널리 사용됩니다.
전기 자동차(EV):전기차 파워트레인에서 SiC 기반 전력 소자는 더 빠른 스위칭 속도, 더 높은 에너지 효율, 그리고 더 낮은 열 손실을 제공합니다. SiC 부품은 배터리 관리 시스템(BMS), 충전 인프라, 그리고 차량 탑재형 충전기(OBC)와 같은 애플리케이션에 적합하며, 이러한 애플리케이션에서는 무게를 최소화하고 에너지 변환 효율을 극대화하는 것이 매우 중요합니다.
재생 에너지 시스템:SiC 웨이퍼는 높은 효율과 견고성이 필수적인 태양광 인버터, 풍력 터빈 발전기, 에너지 저장 시스템에서 점점 더 많이 사용되고 있습니다. SiC 기반 부품은 이러한 응용 분야에서 더 높은 전력 밀도와 향상된 성능을 제공하여 전반적인 에너지 변환 효율을 향상시킵니다.
산업용 전력 전자 장치:모터 드라이브, 로봇, 대규모 전원 공급 장치와 같은 고성능 산업 분야에서 SiC 웨이퍼를 사용하면 효율, 신뢰성 및 열 관리 측면에서 향상된 성능을 얻을 수 있습니다. SiC 소자는 높은 스위칭 주파수와 고온을 견딜 수 있어 까다로운 환경에 적합합니다.
통신 및 데이터 센터:SiC는 높은 신뢰성과 효율적인 전력 변환이 필수적인 통신 장비 및 데이터 센터의 전원 공급 장치에 사용됩니다. SiC 기반 전력 소자는 더 작은 크기에서도 더 높은 효율을 구현하여 대규모 인프라에서 전력 소비 감소 및 냉각 효율 향상으로 이어집니다.
SiC 웨이퍼는 높은 파괴 전압, 낮은 온 저항, 뛰어난 열 전도성을 갖추고 있어 이러한 첨단 응용 분야에 이상적인 기판으로 사용되며, 차세대 에너지 효율적인 전력 전자 장치 개발을 가능하게 합니다.
속성
재산 | 값 |
웨이퍼 직경 | 3인치(76.2mm) |
웨이퍼 두께 | 350마이크로미터 ± 25마이크로미터 |
웨이퍼 방향 | <0001> 축상 ± 0.5° |
마이크로파이프 밀도(MPD) | ≤ 1cm⁻² |
전기 저항률 | ≥ 1E7Ω·cm |
도펀트 | 무도핑 |
기본 평면 방향 | {11-20} ± 5.0° |
기본 플랫 길이 | 32.5mm ± 3.0mm |
2차 플랫 길이 | 18.0mm ± 2.0mm |
2차 평면 방향 | Si가 위를 향함: 1차 평면에서 시계 방향으로 90° ± 5.0° |
에지 제외 | 3mm |
LTV/TTV/활/워프 | 3μm / 10μm / ±30μm / 40μm |
표면 거칠기 | C면: 연마, Si면: CMP |
균열(고강도 조명으로 검사) | 없음 |
육각형 플레이트(고강도 조명으로 검사) | 없음 |
폴리타입 영역(고강도 조명으로 검사) | 누적 면적 5% |
긁힘(고강도 조명으로 검사) | ≤ 5 스크래치, 누적 길이 ≤ 150 mm |
엣지 치핑 | 폭 및 깊이 ≥ 0.5 mm는 허용되지 않습니다. |
표면 오염(고강도 조명으로 검사) | 없음 |
주요 이점
높은 열전도도:SiC 웨이퍼는 탁월한 열 발산 능력으로 잘 알려져 있으며, 이를 통해 전력 소자가 더 높은 효율로 작동하고 과열 없이 더 높은 전류를 처리할 수 있습니다. 이러한 특징은 열 관리가 중요한 과제인 전력 전자 분야에서 매우 중요합니다.
높은 파괴 전압:SiC의 넓은 밴드갭은 장치가 더 높은 전압 레벨을 견딜 수 있게 해주므로 전력망, 전기 자동차, 산업 기계와 같은 고전압 애플리케이션에 이상적입니다.
고효율성:높은 스위칭 주파수와 낮은 온 저항의 조합으로 에너지 손실이 낮은 장치가 탄생하여 전력 변환의 전반적인 효율이 향상되고 복잡한 냉각 시스템의 필요성이 줄어듭니다.
혹독한 환경에서의 신뢰성:SiC는 고온(최대 600°C)에서 작동할 수 있으므로 기존 실리콘 기반 장치가 손상될 수 있는 환경에서 사용하기에 적합합니다.
에너지 절약:SiC 전력 소자는 에너지 변환 효율을 개선하는데, 이는 전력 소비를 줄이는 데 중요한 요소이며, 특히 산업용 전력 변환기, 전기 자동차, 재생 에너지 인프라와 같은 대규모 시스템에서 중요합니다.
상세 다이어그램



