마이크로젯 레이저 기술 장비 웨이퍼 절단 SiC 소재 가공
작동 원리:
1. 레이저 결합: 펄스 레이저(UV/녹색/적외선)를 액체 제트 내부에 집중시켜 안정적인 에너지 전달 채널을 형성합니다.
2. 액체 유도: 고속 제트(유속 50-200m/s)가 가공 영역을 냉각하고 이물질을 제거하여 열 축적 및 오염을 방지합니다.
3. 재료 제거: 레이저 에너지는 액체 내에서 캐비테이션 효과를 일으켜 재료를 냉간 가공합니다(열영향부 <1μm).
4. 동적 제어: 다양한 재료 및 구조의 요구 사항을 충족하기 위해 레이저 매개변수(출력, 주파수) 및 분사 압력을 실시간으로 조정합니다.
주요 매개변수:
1. 레이저 출력: 10~500W (조절 가능)
2. 분사구 직경: 50-300μm
3. 가공 정밀도: ±0.5μm(절삭), 깊이 대 폭 비율 10:1(드릴링)
기술적 이점:
(1) 열 손상이 거의 없음
- 액체 제트 냉각 방식은 열영향부(HAZ)를 **<1μm**로 제어하여 기존 레이저 가공에서 발생하는 미세 균열(HAZ는 일반적으로 >10μm)을 방지합니다.
(2) 초고정밀 가공
- 절삭/드릴링 정밀도가 최대 **±0.5μm**에 달하고, 모서리 조도 Ra<0.2μm로 후속 연마 작업의 필요성을 줄여줍니다.
- 원뿔형 구멍, 형상 슬롯과 같은 복잡한 3D 구조 가공을 지원합니다.
(3) 폭넓은 재료 호환성
- 단단하고 깨지기 쉬운 재료: SiC, 사파이어, 유리, 세라믹 (기존 방식으로는 쉽게 깨집니다).
- 열에 민감한 물질: 고분자, 생체 조직(열 변성 위험 없음).
(4) 환경 보호 및 효율성
- 분진 오염이 없으며, 액체는 재활용 및 여과가 가능합니다.
- 처리 속도 30~50% 향상 (기계 가공 대비).
(5) 지능형 제어
- 통합 시각적 위치 지정 및 AI 매개변수 최적화, 적응형 재료 두께 및 결함 제어.
기술 사양:
| 조리대 부피 | 300*300*150 | 400*400*200 |
| 선형 축 XY | 선형 모터. 선형 모터 | 선형 모터. 선형 모터 |
| 선형 축 Z | 150 | 200 |
| 위치 정확도 μm | +/-5 | +/-5 |
| 반복 위치 결정 정확도 μm | +/-2 | +/-2 |
| 가속도 G | 1 | 0.29 |
| 수치 제어 | 3축 / 3+1축 / 3+2축 | 3축 / 3+1축 / 3+2축 |
| 수치 제어 방식 | DPSS Nd:YAG | DPSS Nd:YAG |
| 파장 nm | 532/1064 | 532/1064 |
| 정격 출력 W | 50/100/200 | 50/100/200 |
| 물줄기 | 40-100 | 40-100 |
| 노즐 압력 바 | 50-100 | 50-600 |
| 치수(공작기계) (폭 * 길이 * 높이) mm | 1445*1944*2260 | 1700*1500*2120 |
| 크기(제어 캐비닛) (가로 * 세로 * 높이) | 700*2500*1600 | 700*2500*1600 |
| 무게(장비) T | 2.5 | 3 |
| 무게 (제어 캐비닛) KG | 800 | 800 |
| 처리 능력 | 표면 거칠기 Ra≤1.6μm 개방 속도 ≥1.25mm/s 원주 절단 속도 ≥6mm/s 직선 절삭 속도 ≥50mm/s | 표면 거칠기 Ra≤1.2μm 개방 속도 ≥1.25mm/s 원주 절단 속도 ≥6mm/s 직선 절삭 속도 ≥50mm/s |
| 질화갈륨 결정, 초광대역 반도체 재료(다이아몬드/산화갈륨), 항공우주 특수 재료, LTCC 탄소 세라믹 기판, 태양광 발전 소자, 섬광 결정 및 기타 재료 가공에 사용됩니다. 참고: 처리 용량은 재료 특성에 따라 달라집니다.
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처리 중인 사례:
XKH의 서비스:
XKH는 마이크로젯 레이저 기술 장비에 대한 전 생애주기 서비스 지원을 제공합니다. 초기 공정 개발 및 장비 선정 상담부터 중기 맞춤형 시스템 통합(레이저 소스, 제트 시스템 및 자동화 모듈의 특수 매칭 포함), 후기 운영 및 유지 보수 교육, 지속적인 공정 최적화에 이르기까지 전 과정에 걸쳐 전문 기술팀의 지원을 제공합니다. 20년 이상의 정밀 가공 경험을 바탕으로 반도체, 의료 등 다양한 산업 분야에 장비 검증, 양산 도입, 신속한 사후 대응(24시간 기술 지원 + 주요 예비 부품 확보)을 포함한 원스톱 솔루션을 제공하며, 12개월 장기 보증 및 평생 유지 보수/업그레이드 서비스를 약속합니다. 고객 장비가 항상 업계 최고 수준의 가공 성능과 안정성을 유지할 수 있도록 보장합니다.
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