고온 및 내마모성을 위한 석영 크리스탈 보트 맞춤형 장비

석영 크리스탈 보트는 산화, 확산, 어닐링과 같은 공정에 사용되는 용광로와 같은 고온 환경에서 실리콘 웨이퍼를 고정하고 운반하도록 설계되었습니다. 석영을 사용하면 용기가 이러한 반도체 제조 공정에서 직면하는 극한의 온도와 가혹한 화학적 환경을 견딜 수 있습니다.

석영 보트 설계를 통해 여러 웨이퍼를 효율적으로 로드 및 언로드할 수 있어 반도체 제조 시설에서 높은 처리량 생산이 가능합니다. 석영 보트를 사용하면 다양한 열 및 화학적 처리 중에 실리콘 웨이퍼의 무결성과 품질을 보장하여 생산되는 반도체 장치의 전반적인 정확성과 신뢰성을 향상시키는 데 도움이 됩니다.

석영 웨이퍼 보트는 반도체 산업에서 실리콘 웨이퍼를 처리하는 데 사용되는 특수 도구입니다. 이는 일반적으로 우수한 열적 및 화학적 특성으로 인해 선택되는 고순도 석영으로 만들어집니다.

웨이퍼 보트는 산화, 확산, 어닐링 등의 공정에 사용되는 용광로와 같은 고온 환경에서 실리콘 웨이퍼를 운반하고 처리하도록 설계되었습니다. 석영을 사용하면 보트가 반도체 제조 공정에서 직면하는 극한의 온도와 가혹한 화학적 환경을 견딜 수 있습니다.

보트 설계를 통해 여러 웨이퍼를 효율적으로 로드 및 언로드할 수 있으므로 반도체 제조 시설에서 높은 처리량을 얻을 수 있습니다. 석영 웨이퍼를 사용하면 다양한 열 및 화학적 처리 중에 실리콘 웨이퍼의 무결성과 품질을 보장하여 생산되는 반도체 장치의 정밀도와 신뢰성을 높일 수 있습니다.