고온 및 내마모성을 위한 석영 크리스탈 보트 맞춤형 장비

석영 크리스탈 보트는 산화, 확산 및 어닐링과 같은 공정에 사용되는 용광로와 같은 고온 환경에서 실리콘 웨이퍼를 고정하고 운반하도록 설계되었습니다. 석영을 사용하면 용기가 이러한 반도체 제조 공정에서 직면하는 극한의 온도와 가혹한 화학적 환경을 견딜 수 있음을 보장합니다.

석영 보트 설계를 통해 여러 웨이퍼를 효율적으로 로드 및 언로드할 수 있어 반도체 제조 시설에서 높은 처리량 생산이 가능합니다. 석영 보트를 사용하면 다양한 열 및 화학적 처리 중에 실리콘 웨이퍼의 무결성과 품질을 보장하여 생산되는 반도체 장치의 전반적인 정확성과 신뢰성을 향상시키는 데 도움이 됩니다.

석영 웨이퍼 보트는 반도체 산업에서 실리콘 웨이퍼를 처리하는 데 사용되는 특수 도구입니다. 이는 일반적으로 우수한 열적 및 화학적 특성으로 인해 선택되는 고순도 석영으로 만들어집니다.

웨이퍼 보트는 산화, 확산, 어닐링 등의 공정에 사용되는 용광로 등 고온 환경에서 실리콘 웨이퍼를 운반하고 처리하도록 설계되었습니다. 석영을 사용하면 보트가 반도체 제조 공정에서 직면하는 극한의 온도와 가혹한 화학적 환경을 견딜 수 있습니다.

보트 설계를 통해 여러 웨이퍼를 효율적으로 로드 및 언로드할 수 있어 반도체 제조 시설에서 높은 처리량을 얻을 수 있습니다. 석영 웨이퍼를 사용하면 다양한 열 및 화학적 처리 중에 실리콘 웨이퍼의 무결성과 품질을 보장하여 생산되는 반도체 장치의 정밀도와 신뢰성을 높일 수 있습니다.