고온 및 내마모성을 위한 석영 수정 보트 맞춤 장비

석영 크리스털 보트는 산화, 확산, 어닐링 등의 공정에 사용되는 용광로와 같은 고온 환경에서 실리콘 웨이퍼를 보관하고 운반하도록 설계되었습니다. 석영을 사용함으로써 이러한 반도체 제조 공정에서 발생하는 극한의 온도와 혹독한 화학 환경을 견딜 수 있습니다.

석영 보트는 여러 웨이퍼의 효율적인 로딩 및 언로딩을 가능하게 하여 반도체 제조 시설에서 높은 처리량 생산을 가능하게 합니다. 석영 보트를 사용하면 다양한 열 및 화학 처리 과정에서 실리콘 웨이퍼의 무결성과 품질을 보장하여 생산되는 반도체 소자의 전반적인 정확도와 신뢰성을 향상시키는 데 도움이 됩니다.

석영 웨이퍼 보트는 반도체 산업에서 실리콘 웨이퍼를 처리하는 데 사용되는 특수 도구입니다. 일반적으로 고순도 석영으로 제작되며, 뛰어난 열적 및 화학적 특성을 자랑합니다.

웨이퍼 보트는 산화, 확산, 어닐링 등의 공정에 사용되는 용광로와 같은 고온 환경에서 실리콘 웨이퍼를 운반하고 처리하도록 설계되었습니다. 석영 소재를 사용하여 이러한 반도체 제조 공정에서 발생하는 극한의 온도와 혹독한 화학 환경을 견딜 수 있습니다.

보트 설계는 여러 웨이퍼의 효율적인 로딩 및 언로딩을 가능하게 하여 반도체 제조 시설에서 높은 처리량을 생산할 수 있도록 합니다. 석영 웨이퍼를 사용하면 다양한 열 및 화학 처리 과정에서 실리콘 웨이퍼의 무결성과 품질을 보장하여 생산되는 반도체 소자의 정밀도와 신뢰성을 높일 수 있습니다.