사파이어 튜브, 사파이어 로드, 특수 형상, 고압 KY 및 EFG
설명
사파이어 막대는 매우 다양한 용도로 사용됩니다. 사파이어 막대는 광학 및 내마모성 용도를 위해 모든 면을 연마하거나, 절연체 역할을 하도록 모든 면을 미세 연마(연마하지 않음)하여 제작할 수 있습니다.
기술
시드(seed)를 이용하여 용융된 사파이어 튜브를 인발하는 과정에서, 응고면과 인발 부위 사이의 온도 범위(1850~1900°C)에서 종방향 온도 구배는 30°C/cm를 초과하지 않도록 유지한다. 이렇게 성장된 튜브는 30~40°C/min의 속도로 온도를 상승시켜 1950~2000°C 사이의 온도에서 3~4시간 동안 유지함으로써 어닐링한다. 그 후, 튜브를 30~40°C/min의 속도로 실온까지 냉각한다.
반도체 공정 응용 분야:
(HPD CVD, PECVD, 건식 식각, 습식 식각)
플라즈마 도포 튜브
공정 가스 주입 노즐
엔드포인트 검출기
엑시머 코로나 튜브
플라즈마 격리 튜브
플라즈마 튜브 밀봉기는 전자 부품을 밀봉하는 데 사용되는 장치입니다. 고온 고압의 플라즈마를 이용하여 포장재를 녹여 부품에 밀봉하는 원리를 이용합니다. 플라즈마 튜브 밀봉기의 주요 구성 요소는 플라즈마 발생기, 튜브 밀봉 챔버, 진공 시스템, 제어 시스템 등입니다.
열전대 보호 덮개(써모웰): 열전대는 온도 측정 기기에 흔히 사용되는 온도 측정 소자로, 온도를 직접 측정하고, 이 온도 신호를 열전 기전력 신호로 변환하여 전기 기기(2차 기기)를 통해 측정 대상 매체의 온도로 전달합니다.
수처리/정화
사파이어 튜브의 특성 (이론적)
| 화합물 공식 | 알루미늄2오세 |
| 분자량 | 101.96 |
| 모습 | 반투명 튜브 |
| 녹는점 | 2050°C (3720°F) |
| 비등점 | 2,977°C (5,391°F) |
| 밀도 | 4.0 g/cm3 |
| 형태 | 삼각(육각형), R3c |
| 물에 대한 용해도 | 98 x 10⁻⁶ g/100g |
| 굴절률 | 1.8 |
| 전기저항 | 17 10x Ω-m |
| 푸아송 비 | 0.28 |
| 비열 | 760 J Kg-1 K-1 (293K) |
| 인장 강도 | 1390 MPa (최대) |
| 열전도율 | 30 W/mK |
| 열팽창 | 5.3 µm/mK |
| 영률 | 450 GPa |
| 정확한 질량 | 101.948 g/mol |
| 단일 동위원소 질량 | 101.94782 다 |
상세도
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