탄화규소 캔틸레버 패들(SiC 캔틸레버 패들)
상세도
제품 개요
고성능 반응 결합 실리콘 카바이드(RBSiC)로 제조된 실리콘 카바이드 캔틸레버 패들은 반도체 및 태양광 응용 분야의 웨이퍼 로딩 및 핸들링 시스템에 사용되는 핵심 부품입니다.
기존의 석영 또는 흑연 패들과 비교하여 SiC 캔틸레버 패들은 우수한 기계적 강도, 높은 경도, 낮은 열팽창률 및 탁월한 내식성을 제공합니다. 또한 고온에서도 뛰어난 구조적 안정성을 유지하여 대형 웨이퍼 크기, 긴 수명 및 초저오염에 대한 엄격한 요구 사항을 충족합니다.
반도체 공정이 웨이퍼 직경 확대, 생산량 증대, 청정 공정 환경 조성 방향으로 지속적으로 발전함에 따라 SiC 캔틸레버 패들은 기존 소재를 점차 대체하여 확산로, LPCVD 및 관련 고온 장비에 선호되는 소재가 되었습니다.
제품 특징
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탁월한 고온 안정성
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1000~1300℃에서 변형 없이 안정적으로 작동합니다.
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최대 사용 온도는 1380℃입니다.
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높은 하중 지지력
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굽힘 강도가 최대 250~280MPa에 달하며, 석영 패들보다 훨씬 높습니다.
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직경이 큰 웨이퍼(300mm 이상)를 처리할 수 있습니다.
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긴 수명 및 낮은 유지보수 비용
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낮은 열팽창 계수(4.5 × 10⁻⁶ K⁻¹)로 LPCVD 코팅 재료와 잘 적합합니다.
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응력으로 인한 균열 및 벗겨짐을 줄여 청소 및 유지 보수 주기를 크게 연장합니다.
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내식성 및 순도
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산성 및 알칼리성 물질에 대한 내성이 뛰어납니다.
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기공률이 0.1% 미만인 조밀한 미세 구조로 입자 생성 및 불순물 방출을 최소화합니다.
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자동화 호환 설계
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높은 치수 정확도를 갖춘 안정적인 단면 형상.
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로봇 웨이퍼 로딩 및 언로딩 시스템과 완벽하게 통합되어 완전 자동화 생산을 가능하게 합니다.
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물리적 및 화학적 특성
| 목 | 단위 | 데이터 |
|---|---|---|
| 최대 서비스 온도 | ℃ | 1380 |
| 밀도 | g/cm³ | 3.04 – 3.08 |
| 개방형 다공성 | % | < 0.1 |
| 굽힘 강도 | MPa | 250(20℃), 280(1200℃) |
| 탄성계수 | 그페이 | 330(20℃), 300(1200℃) |
| 열전도율 | 와트/m·K | 45도 (1200℃) |
| 열팽창 계수 | K⁻¹×10⁻⁶ | 4.5 |
| 비커스 경도 | HV2 | ≥ 2100 |
| 내산성/내알칼리성 | - | 훌륭한 |
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표준 길이:2378mm, 2550mm, 2660mm
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요청 시 맞춤 사이즈 제작 가능합니다.
응용 프로그램
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반도체 산업
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LPCVD(저압 화학 기상 증착)
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확산 과정 (인, 붕소 등)
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열산화
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태양광 산업
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폴리실리콘 및 단결정 웨이퍼 확산 및 코팅
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고온 어닐링 및 패시베이션
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기타 분야
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고온 부식 환경
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긴 수명과 낮은 오염도가 요구되는 정밀 웨이퍼 핸들링 시스템
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고객 혜택
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운영 비용 절감- 석영 패들에 비해 수명이 길어 가동 중지 시간과 교체 빈도를 최소화합니다.
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더 높은 수익률– 극도로 낮은 오염도는 웨이퍼 표면의 청결도를 보장하고 불량률을 감소시킵니다.
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미래에도 문제없습니다대형 웨이퍼 크기 및 차세대 반도체 공정과 호환됩니다.
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생산성 향상– 로봇 자동화 시스템과 완벽하게 호환되어 대량 생산을 지원합니다.
자주 묻는 질문(FAQ) - 탄화규소 캔틸레버 패들
Q1: 탄화규소 캔틸레버 패들은 무엇인가요?
A: 이는 반응 결합 실리콘 카바이드(RBSiC)로 만들어진 웨이퍼 지지 및 취급 부품입니다. 확산로, LPCVD 및 기타 고온 반도체 및 태양광 공정에 널리 사용됩니다.
Q2: 석영 패들 대신 SiC를 선택하는 이유는 무엇입니까?
A: 석영 패들과 비교했을 때, SiC 패들은 다음과 같은 장점을 제공합니다:
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더 높은 기계적 강도와 하중 지지력
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최대 1380℃의 온도에서도 뛰어난 열 안정성을 제공합니다.
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훨씬 더 긴 서비스 수명과 단축된 유지보수 주기
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입자 발생량 및 오염 위험 감소
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더 큰 웨이퍼 크기(300mm 이상)와의 호환성
Q3: SiC 캔틸레버 패들은 어떤 웨이퍼 크기를 지원할 수 있습니까?
A: 표준 패들은 2378mm, 2550mm 및 2660mm 퍼니스 시스템에 사용할 수 있습니다. 최대 300mm 이상의 웨이퍼를 지원하는 맞춤형 크기도 제공됩니다.
회사 소개
XKH는 특수 광학 유리 및 신형 결정 소재의 첨단 개발, 생산 및 판매 전문 기업입니다. 당사의 제품은 광전자, 소비자 가전 및 군사 분야에 사용됩니다. 사파이어 광학 부품, 휴대폰 렌즈 커버, 세라믹, LT, 탄화규소(SIC), 석영 및 반도체 결정 웨이퍼 등을 제공합니다. 숙련된 전문가와 최첨단 설비를 바탕으로 비표준 제품 가공에 탁월한 역량을 발휘하며, 광전자 소재 분야의 선도적인 첨단 기술 기업으로 성장하는 것을 목표로 합니다.
