실리콘 카바이드 세라믹 포크 암/핸드
상세 다이어그램


실리콘 카바이드 세라믹 포크 암/핸드 소개
그만큼실리콘 카바이드 세라믹 포크 암/핸드반도체 및 광학 산업을 비롯한 고정밀 자동화 시스템을 위해 개발된 고급 핸들링 부품입니다. 이 부품은 웨이퍼 핸들링에 최적화된 독특한 U자형 디자인을 특징으로 하며, 극한 환경 조건에서도 기계적 강도와 치수 정확도를 보장합니다. 고순도 탄화규소 세라믹으로 제작된포크 팔/손뛰어난 강성, 열 안정성, 내화학성을 제공합니다.
반도체 소자가 더욱 미세한 기하 구조와 더욱 엄격한 허용 오차로 발전함에 따라, 오염이 없고 열적으로 안정적인 부품에 대한 요구가 더욱 중요해지고 있습니다.실리콘 카바이드 세라믹 포크 암/핸드이 부품은 낮은 파티클 발생률, 매우 매끄러운 표면, 그리고 견고한 구조적 무결성을 제공하여 이러한 과제를 해결합니다. 웨이퍼 운반, 기판 위치 조정, 로봇 툴 헤드 등 어떤 작업에서든 이 부품은 신뢰성과 수명을 고려하여 설계되었습니다.
이것을 선택하는 주요 이유실리콘 카바이드 세라믹 포크 암/핸드포함하다:
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치수 정밀도를 위한 최소 열 팽창
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긴 수명을 위한 높은 경도
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산, 알칼리 및 반응성 가스에 대한 내성
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ISO 1등급 클린룸 환경과의 호환성


실리콘 카바이드 세라믹 포크 암/핸드의 제조 원리
그만큼실리콘 카바이드 세라믹 포크 암/핸드뛰어난 소재 특성과 치수 일관성을 보장하도록 설계된 엄격한 제어를 거친 세라믹 가공 워크플로를 통해 생산됩니다.
1. 분말 제조
이 공정은 초미립 탄화규소 분말을 선별하는 것으로 시작됩니다. 이 분말은 결합제 및 소결 보조제와 혼합되어 압축 및 치밀화를 촉진합니다. 이를 위해포크 팔/손경도와 인성을 모두 보장하기 위해 β-SiC 또는 α-SiC 분말이 사용됩니다.
2. 성형 및 사전 성형
복잡성에 따라포크 팔/손설계 시, 부품은 등방성 프레스, 사출 성형 또는 슬립 캐스팅을 사용하여 성형됩니다. 이를 통해 복잡한 형상과 얇은 벽 구조가 가능해져 경량화에 필수적입니다.실리콘 카바이드 세라믹 포크 암/핸드.
3. 고온 소결
소결은 진공 또는 아르곤 분위기에서 2000°C 이상의 온도에서 수행됩니다. 이 단계에서는 그린 바디가 완전히 치밀화된 세라믹 부품으로 변환됩니다. 소결된포크 팔/손이론적인 밀도에 근접하여 뛰어난 기계적, 열적 특성을 제공합니다.
4. 정밀 가공
소결 후,실리콘 카바이드 세라믹 포크 암/핸드다이아몬드 연삭 및 CNC 가공을 거칩니다. 이를 통해 ±0.01mm 이내의 평탄도를 보장하며, 자동화 시스템 설치에 필수적인 장착 구멍 및 위치 지정 기능을 포함할 수 있습니다.
5. 표면 마무리
연마는 표면 거칠기(Ra < 0.02 μm)를 줄여 미립자 발생을 줄이는 데 필수적입니다. 플라즈마 저항성을 향상시키거나 정전기 방지와 같은 기능을 추가하기 위해 선택적으로 CVD 코팅을 적용할 수 있습니다.
이 과정 전체에서 품질 관리 프로토콜이 적용되어 다음을 보장합니다.실리콘 카바이드 세라믹 포크 암/핸드가장 민감한 애플리케이션에서도 안정적으로 작동합니다.
실리콘 카바이드 세라믹 포크 암/핸드의 매개변수
CVD-SIC 코팅의 주요 사양 | ||
SiC-CVD 특성 | ||
결정 구조 | FCC β상 | |
밀도 | g/cm³ | 3.21 |
경도 | 비커스 경도 | 2500 |
입자 크기 | μm | 2~10 |
화학적 순도 | % | 99.99995 |
열용량 | J·kg-1 ·K-1 | 640 |
승화 온도 | 섭씨 | 2700 |
굽힘 강도 | MPa(RT 4점) | 415 |
영률 | Gpa(4pt 굽힘, 1300℃) | 430 |
열팽창(CTE) | 10-6K-1 | 4.5 |
열전도도 | (W/mK) | 300 |
실리콘 카바이드 세라믹 포크 암/핸드의 응용 분야
그만큼실리콘 카바이드 세라믹 포크 암/핸드높은 순도, 안정성, 그리고 기계적 정밀성이 필수적인 산업 분야에서 널리 사용됩니다. 여기에는 다음이 포함됩니다.
1. 반도체 제조
반도체 제조에서는실리콘 카바이드 세라믹 포크 암/핸드에칭 챔버, 증착 시스템, 검사 장비 등의 공정 장비 내에서 실리콘 웨이퍼를 운반하는 데 사용됩니다. 뛰어난 내열성과 치수 정확도를 갖춰 웨이퍼 정렬 불량 및 오염을 최소화하는 데 이상적입니다.
2. 디스플레이 패널 생산
OLED 및 LCD 디스플레이 제조에서는포크 팔/손깨지기 쉬운 유리 기판을 처리하는 픽앤플레이스 시스템에 적용됩니다. 낮은 질량과 높은 강성으로 진동이나 처짐 없이 빠르고 안정적인 이동이 가능합니다.
3. 광학 및 광자 시스템
렌즈, 거울 또는 광자 칩의 정렬 및 위치 지정을 위해실리콘 카바이드 세라믹 포크 암/핸드레이저 가공 및 정밀 계측 응용 분야에 중요한 진동 없는 지원을 제공합니다.
4. 항공우주 및 진공 시스템
항공우주 광학 시스템 및 진공 계측기에서 이 부품의 비자성, 내식성 구조는 장기적인 안정성을 보장합니다.포크 팔/손또한 가스 발생 없이 초고진공(UHV)에서도 작동할 수 있습니다.
이 모든 분야에서실리콘 카바이드 세라믹 포크 암/핸드신뢰성, 청결성, 서비스 수명 측면에서 기존의 금속이나 폴리머 대체품보다 성능이 뛰어납니다.

실리콘 카바이드 세라믹 포크 암/핸드 FAQ
Q1: 실리콘 카바이드 세라믹 포크 암/핸드가 지원하는 웨이퍼 크기는 무엇입니까?
그만큼포크 팔/손150mm, 200mm, 300mm 웨이퍼를 지원하도록 맞춤 제작이 가능합니다. 포크 스팬, 암 너비, 홀 패턴은 고객의 특정 자동화 플랫폼에 맞춰 조정 가능합니다.
질문 2: 실리콘 카바이드 세라믹 포크 암/핸드는 진공 시스템과 호환됩니까?
네.포크 팔/손저진공 및 초고진공 시스템 모두에 적합합니다. 가스 방출률이 낮고 미립자를 방출하지 않아 클린룸 및 진공 환경에 이상적입니다.
질문 3: 포크 암/핸드에 코팅이나 표면 개질을 추가할 수 있나요?
물론입니다.실리콘 카바이드 세라믹 포크 암/핸드플라즈마 저항성, 정전기 방지 특성 또는 표면 경도를 향상시키기 위해 CVD-SiC, 탄소 또는 산화물 층으로 코팅할 수 있습니다.
Q4: 포크 암/핸드의 품질은 어떻게 검증되나요?
각실리콘 카바이드 세라믹 포크 암/핸드CMM 및 레이저 계측 장비를 사용하여 치수 검사를 실시합니다. 표면 품질은 ISO 및 SEMI 표준을 충족하도록 SEM 및 비접촉 형상 측정법을 통해 평가합니다.
Q5: 맞춤형 포크 암/핸드 주문의 리드타임은 얼마나 됩니까?
리드타임은 일반적으로 복잡성과 수량에 따라 3주에서 5주까지입니다. 긴급 요청 시 신속한 프로토타입 제작이 가능합니다.
이러한 FAQ는 엔지니어와 조달 팀이 선택 시 사용 가능한 기능과 옵션을 이해하는 데 도움이 되도록 작성되었습니다.실리콘 카바이드 세라믹 포크 암/핸드.
회사 소개
XKH는 특수 광학 유리 및 신결정 소재의 첨단 기술 개발, 생산 및 판매를 전문으로 합니다. 당사 제품은 광전자, 가전제품 및 군수 분야에 사용됩니다. 사파이어 광학 부품, 휴대폰 렌즈 커버, 세라믹, LT, 탄화규소(SIC), 석영 및 반도체 결정 웨이퍼를 제공합니다. 숙련된 전문 지식과 최첨단 장비를 바탕으로 비표준 제품 가공에 탁월한 역량을 발휘하며, 선도적인 광전자 소재 첨단 기업을 목표로 합니다.
