실리콘 카바이드 세라믹 트레이 - 열 및 화학 응용 분야를 위한 내구성이 뛰어나고 성능이 뛰어난 트레이
상세 다이어그램
제품 소개
탄화규소(SiC) 세라믹 트레이는 고온, 고부하 및 화학적으로 가혹한 산업 환경에서 널리 사용되는 고성능 부품입니다. 고급 탄화규소 세라믹 소재로 제작된 이 트레이는 탁월한 기계적 강도, 뛰어난 열전도도, 그리고 열충격, 산화 및 부식에 대한 뛰어난 내성을 제공하도록 설계되었습니다. 견고한 특성 덕분에 반도체 제조, 태양광 발전, 분말 야금 부품 소결 등 다양한 산업 분야에 매우 적합합니다.
탄화규소 트레이는 치수 정확도, 구조적 무결성, 그리고 내화학성이 매우 중요한 열처리 공정에서 필수적인 캐리어 또는 지지대 역할을 합니다. 알루미나나 멀라이트와 같은 기존 세라믹 소재에 비해 SiC 트레이는 특히 반복적인 열 사이클링 및 부식성 환경 조건에서 훨씬 더 높은 성능을 제공합니다.
제조 공정 및 재료 구성
SiC 세라믹 트레이 생산에는 고밀도, 균일한 미세 구조, 그리고 일관된 성능을 보장하기 위해 정밀 엔지니어링과 첨단 소결 기술이 필요합니다. 일반적인 단계는 다음과 같습니다.
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원자재 선택
고순도 탄화규소 분말(≥99%)을 선택하여 특정 입자 크기를 제어하고 불순물을 최소화하여 높은 기계적, 열적 특성을 보장합니다. -
성형 방법
트레이 사양에 따라 다양한 성형 기술이 사용됩니다.-
고밀도, 균일한 압축을 위한 냉간 등방압 압축(CIP)
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복잡한 형상을 위한 압출 또는 슬립 캐스팅
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정밀하고 세부적인 형상을 위한 사출 성형
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소결 기술
그린 바디는 일반적으로 2000°C의 초고온에서 불활성 또는 진공 분위기 하에서 소결됩니다. 일반적인 소결 방법은 다음과 같습니다.-
반응 결합 SiC(RB-SiC)
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무압력 소결 SiC(SSiC)
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재결정 SiC(RBSiC)
각 방법은 다공성, 강도, 열전도도 등 재료의 특성이 약간씩 다릅니다.
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정밀 가공
소결 후, 트레이는 정밀한 치수 공차, 매끄러운 표면 마감 및 평탄도를 얻기 위해 가공됩니다. 고객의 요구에 따라 래핑, 연삭, 연마와 같은 표면 처리가 적용될 수 있습니다.
일반적인 응용 프로그램
실리콘 카바이드 세라믹 트레이는 뛰어난 다재다능함과 뛰어난 복원력으로 다양한 산업 분야에서 사용됩니다. 일반적인 용도는 다음과 같습니다.
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반도체 산업
SiC 트레이는 웨이퍼 어닐링, 확산, 산화, 에피택시 및 주입 공정에서 캐리어로 사용됩니다. SiC 트레이의 안정성은 균일한 온도 분포와 최소한의 오염을 보장합니다. -
태양광(PV) 산업
태양 전지 생산 시, SiC 트레이는 고온 확산 및 소결 단계 동안 실리콘 잉곳이나 웨이퍼를 지지합니다. -
분말야금 및 세라믹
금속 분말, 세라믹, 복합 재료의 소결 중 부품을 지지하는 데 사용됩니다. -
유리 및 디스플레이 패널
특수 유리, LCD 기판 또는 기타 광학 부품을 제조하기 위한 가마 트레이 또는 플랫폼으로 적용됩니다. -
화학 처리 및 열로
화학 반응기에서 부식 방지 캐리어로 사용하거나 진공 및 제어 분위기로 작동하는로에서 열 지지 트레이로 사용합니다.
주요 성능 특징
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✅뛰어난 열 안정성
변형이나 열화 없이 최대 1600~2000°C의 온도에서 지속적으로 사용할 수 있습니다. -
✅높은 기계적 강도
높은 굽힘 강도(일반적으로 >350 MPa)를 제공하여 높은 하중 조건에서도 장기적인 내구성을 보장합니다. -
✅열충격 저항성
급격한 온도 변화가 있는 환경에서도 탁월한 성능을 발휘하며 균열 위험을 최소화합니다. -
✅부식 및 산화 저항성
대부분의 산, 알칼리, 산화/환원 가스에서 화학적으로 안정하므로 혹독한 화학 공정에 적합합니다. -
✅치수 정확도 및 평탄도
높은 정밀도로 가공되어 균일한 가공과 자동화 시스템과의 호환성이 보장됩니다. -
✅긴 수명 및 비용 효율성
교체 비용이 낮고 유지 관리 비용도 감소하므로 시간이 지남에 따라 비용 효율적인 솔루션이 됩니다.
기술 사양
| 매개변수 | 일반적인 값 |
|---|---|
| 재료 | 반응 결합 SiC / 소결 SiC |
| 최대 작동 온도 | 1600~2000°C |
| 굽힘 강도 | ≥350MPa |
| 밀도 | ≥3.0g/cm³ |
| 열전도도 | ~120–180W/m·K |
| 표면 평탄도 | ≤ 0.1mm |
| 두께 | 5~20mm(맞춤형) |
| 치수 | 표준: 200×200mm, 300×300mm 등 |
| 표면 마감 | 가공, 연마(요청 시) |
자주 묻는 질문(FAQ)
Q1: 실리콘 카바이드 트레이를 진공로에서 사용할 수 있나요?
A:네, SiC 트레이는 가스 방출이 적고, 화학적 안정성이 뛰어나며, 고온 내구성이 뛰어나 진공 환경에 이상적입니다.
질문 2: 사용자 정의 모양이나 슬롯이 가능합니까?
A:물론입니다. 저희는 트레이 크기, 모양, 표면 특징(예: 홈, 구멍), 표면 연마 등 고객 맞춤형 서비스를 제공하여 고객의 고유한 요구 사항을 충족합니다.
Q3: SiC는 알루미나 또는 석영 트레이와 어떻게 비교됩니까?
A:SiC는 강도가 더 높고 열전도도가 더 좋으며, 열충격 및 화학적 부식에 대한 저항성이 뛰어납니다. 알루미나는 비용 효율성이 더 높지만, SiC는 까다로운 환경에서 더 우수한 성능을 발휘합니다.
Q4: 이 트레이에 대한 표준 두께가 있나요?
A:두께는 일반적으로 5~20mm 범위이지만, 용도와 하중 지지 요구 사항에 따라 조정할 수 있습니다.
Q5: 맞춤형 SiC 트레이의 일반적인 리드타임은 얼마입니까?
A:리드타임은 복잡성과 수량에 따라 다르지만 일반적으로 맞춤형 주문의 경우 2~4주가 소요됩니다.
회사 소개
XKH는 특수 광학 유리 및 신결정 소재의 첨단 기술 개발, 생산 및 판매를 전문으로 합니다. 당사 제품은 광전자, 가전제품 및 군수 분야에 사용됩니다. 사파이어 광학 부품, 휴대폰 렌즈 커버, 세라믹, LT, 탄화규소(SIC), 석영 및 반도체 결정 웨이퍼를 제공합니다. 숙련된 전문 지식과 최첨단 장비를 바탕으로 비표준 제품 가공에 탁월한 역량을 발휘하며, 선도적인 광전자 소재 첨단 기업을 목표로 합니다.
