실리콘 카바이드 세라믹 트레이 빨판 실리콘 탄화물 세라믹 튜브 공급 고온 소결 맞춤 가공
주요 기능 :
1. 실리콘 카바이드 세라믹 트레이
- 높은 경도 및 내마모성 : 경도는 다이아몬드에 가깝고 오랫동안 웨이퍼 처리에서 기계식 마모를 견딜 수 있습니다.
- 높은 열전도율 및 낮은 열 팽창 계수 : 열 응력으로 인한 변형을 피하면서 빠른 열 소산 및 치수 안정성.
- 높은 평탄성 및 표면 마감 : 표면 평탄도는 미크론 레벨에 달려있어 웨이퍼와 디스크 사이의 전적으로 접촉하여 오염 및 손상을 줄입니다.
화학적 안정성 : 반도체 제조의 습식 세정 및 에칭 공정에 적합한 강한 내식성.
2. 실리콘 카바이드 세라믹 튜브
- 고온 저항 : 반도체 고온 공정에 적합한 1600 ° C 이상의 고온 환경에서 작동 할 수 있습니다.
우수한 부식 저항성 : 산, 알칼리 및 다양한 화학 용매에 대한 내성, 가혹한 공정 환경에 적합합니다.
- 높은 경도 및 내마모성 : 입자 침식 및 기계식 마모에 저항하고 서비스 수명을 연장하십시오.
- 열전도율이 높고 열 팽창 계수 : 열 및 치수 안정성의 빠른 전도, 열 응력으로 인한 변형 또는 균열.
제품 매개 변수 ：
실리콘 카바이드 세라믹 트레이 매개 변수 :
| (재료 속성) | (단위) | (SSIC) | |
| (sic 컨텐츠) | (wt)% | > 99 | |
| (평균 입자 크기) | 미크론 | 4-10 | |
| (밀도) | kg/dm3 | > 3.14 | |
| (명백한 다공성) | VO1% | <0.5 | |
| (Vickers 경도) | HV 0.5 | GPA | 28 |
| *() 굴곡 강도* (3 점) | 20ºC | MPA | 450 |
| (압축 강도) | 20ºC | MPA | 3900 |
| (탄성 계수) | 20ºC | GPA | 420 |
| (골절 강인함) | MPA/M '% | 3.5 | |
| (열 전도도) | 20 ° ºC | w/(m*k) | 160 |
| (저항성) | 20 ° ºC | OHM.CM | 106-108 |
(열 확장 계수) | A (RT ** ... 80ºC) | K-1*10-6 | 4.3 |
(최대 작동 온도) | OºC | 1700 | |
실리콘 카바이드 세라믹 튜브 파라미터 :
| 항목 | 색인 |
| α-SIC | 99% 분 |
| 명백한 다공성 | 최대 16% |
| 벌크 밀도 | 2.7g/cm3 분 |
| 고온에서의 굽힘 강도 | 100 MPa Min |
| 열 팽창 계수 | K -1 4.7x10 -6 |
| 열 전도도 계수 (1400ºC) | 24 w/mk |
| 맥스. 작업 온도 | 1650ºC |
주요 응용 프로그램 :
1. 실리콘 카바이드 세라믹 플레이트
- 웨이퍼 절단 및 연마 : 절단 및 연마 중에 높은 정밀도와 안정성을 보장하는 베어링 플랫폼 역할을합니다.
- 리소그래피 과정 : 웨이퍼는 노출 중에 높은 정밀 위치를 보장하기 위해 리소그래피 기계에 고정되어 있습니다.
-CMP (Chemical Mechanical Polishing) : 균일 한 압력 및 열 분포를 제공하는 폴리싱 패드를위한지지 플랫폼 역할을합니다.
2. 실리콘 카바이드 세라믹 튜브
- 고온 용광로 튜브 : 고온 공정 처리를 위해 웨이퍼를 운반하기 위해 확산 용광로 및 산화 용광로와 같은 고온 장비에 사용됩니다.
-CVD/PVD 공정 : 반응 챔버의 베어링 튜브, 고온 및 부식성 가스에 저항합니다.
- 반도체 장비 액세서리 : 열 교환기, 가스 파이프 라인 등의 경우 장비의 열 관리 효율을 향상시킵니다.
XKH는 실리콘 카바이드 세라믹 트레이, 흡입 컵 및 실리콘 카바이드 세라믹 튜브를위한 모든 맞춤형 서비스를 제공합니다. 실리콘 카바이드 세라믹 트레이 및 흡입 컵, XKH는 다양한 크기, 모양 및 표면 거칠기의 고객 요구 사항에 따라 사용자 정의 할 수 있으며 특수 코팅 처리를 지원하고 내마모성 및 부식성 향상; 실리콘 카바이드 세라믹 튜브의 경우 XKH는 다양한 내 직경, 외경, 길이 및 복잡한 구조 (예 : 모양의 튜브 또는 다공성 튜브)를 사용자 정의하고 연마, 항산화 코팅 및 기타 표면 처리 공정을 제공 할 수 있습니다. XKH는 고객이 실리콘 카바이드 세라믹 제품의 성능 이점을 최대한 활용하여 반도체, LED 및 태양 광 발전과 같은 고급 제조 분야의 까다로운 요구 사항을 충족시킬 수 있습니다.
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