중요 핸들링 시스템용 실리콘 카바이드 SiC 세라믹 포크 암/핸드

간단한 설명:

그만큼실리콘 카바이드 세라믹 포크 암/핸드첨단 산업 자동화, 반도체 공정 및 초청정 환경을 위해 개발된 최첨단 부품입니다. 독특한 포크형 구조와 초평탄 세라믹 표면은 실리콘 웨이퍼, 유리 패널, 광학 장치 등 섬세한 기판 처리에 이상적입니다. 정밀하게 설계되고 초고순도 탄화규소로 제조된실리콘 카바이드 세라믹 포크 암/핸드탁월한 기계적 강도, 열적 안정성, 오염 제어 기능을 제공합니다.

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특징

상세 다이어그램

실리콘 카바이드 세라믹 포크 암/핸드 소개

기존의 금속이나 플라스틱 팔과 달리실리콘 카바이드 세라믹 포크 암/핸드극한의 열, 화학 및 진공 조건에서도 안정적인 성능을 제공합니다. 1등급 클린룸이나 고진공 플라즈마 챔버에서 작동하든, 이 부품은 귀중한 부품을 안전하고 효율적이며 잔류물 없이 운반할 수 있도록 보장합니다.

로봇팔, 웨이퍼 핸들러, 자동 이송 도구에 맞게 맞춤 제작된 구조로실리콘 카바이드 세라믹 포크 암/핸드고정밀 시스템을 위한 스마트한 업그레이드입니다.

실리콘 카바이드 세라믹 포크 암/핸드 제조 공정

고성능 제작실리콘 카바이드 세라믹 포크 암/핸드반복성, 신뢰성, 매우 낮은 결함률을 보장하는 엄격하게 제어되는 세라믹 엔지니어링 워크플로가 포함됩니다.

1. 재료공학

본 제품은 초고순도 실리콘 카바이드 분말만을 사용하여 제작됩니다.실리콘 카바이드 세라믹 포크 암/핸드낮은 이온 오염과 높은 체적 강도를 보장합니다. 분말은 소결 첨가제 및 바인더와 정밀하게 혼합되어 최적의 밀도를 달성합니다.

2. 기초 구조 형성

기본 기하학포크 팔/손냉간 등방성 프레스 또는 사출 성형을 통해 제작되어 높은 그린 밀도와 균일한 응력 분포를 보장합니다. U자형 구조는 강성 대 중량비와 동적 반응에 최적화되어 있습니다.

3. 소결 공정

녹색의 몸실리콘 카바이드 세라믹 포크 암/핸드2000°C 이상의 고온 불활성 가스로에서 소결합니다. 이 단계를 통해 이론 밀도에 가까운 밀도가 확보되어 실제 열 부하에서 균열, 휨 및 치수 편차에 강한 부품이 생산됩니다.

4. 정밀 연삭 및 가공

고급 CNC 다이아몬드 툴링은 최종 치수를 형성하는 데 사용됩니다.실리콘 카바이드 세라믹 포크 암/핸드. 엄격한 허용 오차(±0.01mm)와 거울 수준의 표면 마감으로 입자 방출과 기계적 응력이 줄어듭니다.

5. 표면 컨디셔닝 및 세척

최종 표면 마감에는 화학 연마 및 초음파 세척이 포함되어 준비됩니다.포크 팔/손초고청정 시스템에 직접 통합 가능합니다. 옵션 코팅(CVD-SiC, 반사 방지층)도 제공됩니다.

이 세심한 과정은 각각을 보장합니다.실리콘 카바이드 세라믹 포크 암/핸드SEMI 및 ISO 클린룸 요구 사항을 포함한 가장 엄격한 산업 표준을 충족합니다.

실리콘 카바이드 세라믹 포크 암/핸드의 매개변수

목	테스트 조건	데이터	단위
탄화규소 함량	/	>99.5	%
평균 입자 크기	/	4-10	미크론
밀도	/	>3.14	g/cm3
겉보기 다공성	/	<0.5	볼륨 %
비커스 경도	HV0.5	2800	킬로그램/mm2
파단 계수(3점)	테스트 바 크기: 3 x 4 x 40mm	450	엠파
압축 강도	20도	3900	엠파
탄성계수	20도	420	학점
파괴인성	/	3.5	MPa/m^1/2
열전도도	20도	160	W/(mK)
전기 저항률	20도	10⁶-10⁸	Ωcm
열팽창 계수	20°C-800°C	4.3	K^-110^-6
최대 적용 온도	산화물 분위기	1600	°C
최대 적용 온도	불활성 분위기	1950	°C

실리콘 카바이드 세라믹 포크 암/핸드의 응용 분야

그만큼실리콘 카바이드 세라믹 포크 암/핸드고정밀, 고위험, 오염에 민감한 응용 분야에서 사용하도록 설계되었습니다. 핵심 부품의 안정적인 취급, 이송 또는 지지를 어떠한 손상 없이 가능하게 합니다.

➤ 반도체 산업

프런트엔드 웨이퍼 이송 및 FOUP 스테이션에서 로봇 포크로 사용됩니다.
플라스마 에칭 및 PVD/CVD 공정을 위해 진공 챔버에 통합되었습니다.
계측 및 웨이퍼 정렬 도구에서 캐리어 암 역할을 합니다.

그만큼실리콘 카바이드 세라믹 포크 암/핸드정전기 방전(ESD) 위험을 제거하고, 치수 정밀도를 지원하며, 플라즈마 부식을 방지합니다.

➤ 광자공학 및 광학

제작이나 검사 시 정밀 렌즈, 레이저 크리스털, 센서를 지원합니다.
높은 강성으로 진동을 방지하고, 세라믹 본체는 광학 표면의 오염을 방지합니다.

➤ 디스플레이 및 패널 생산

운송이나 검사 시 얇은 유리, OLED 모듈, LCD 기판을 처리합니다.
평평하고 화학적으로 불활성실리콘 카바이드 세라믹 포크 암/핸드긁힘이나 화학적 부식으로부터 보호합니다.

➤ 항공우주 및 과학 기기

위성 광학 조립, 진공 로봇, 싱크로트론 빔라인 설정에 활용됩니다.
우주 등급의 청정실과 방사선에 노출된 환경에서도 완벽하게 작동합니다.

각 분야에서실리콘 카바이드 세라믹 포크 암/핸드시스템 효율성을 높이고, 부품 고장을 줄이며, 가동 중지 시간을 최소화합니다.

FAQ – 실리콘 카바이드 세라믹 포크 암/핸드에 대한 자주 묻는 질문

질문 1: 실리콘 카바이드 세라믹 포크 암/핸드가 금속 대체품보다 나은 점은 무엇입니까?

그만큼실리콘 카바이드 세라믹 포크 암/핸드금속보다 경도가 우수하고 밀도가 낮으며, 내화학성이 우수하고 열팽창이 현저히 낮습니다. 또한 클린룸 사용이 가능하며 부식이나 파티클 발생이 없습니다.

질문 2: 실리콘 카바이드 세라믹 포크 암/핸드에 대한 맞춤 치수를 요청할 수 있나요?

네. 포크 폭, 두께, 장착 구멍, 컷아웃, 표면 처리 등 완벽한 맞춤 제작을 제공합니다. 6인치, 8인치, 12인치 웨이퍼 등 어떤 사이즈든포크 팔/손맞춤 제작이 가능합니다.

질문 3: 실리콘 카바이드 세라믹 포크 암/핸드는 플라즈마 또는 진공 상태에서 얼마나 오래 지속됩니까?

고밀도 SiC 소재와 불활성 특성 덕분에포크 팔/손수천 번의 공정 사이클 이후에도 기능을 유지합니다. 과격한 플라즈마 또는 진공 열 부하에서도 최소한의 마모만 보입니다.

Q4: 이 제품은 ISO 1등급 클린룸에 적합합니까?

물론입니다.실리콘 카바이드 세라믹 포크 암/핸드ISO 1등급 요구 사항을 훨씬 밑도는 입자 수준을 갖는 인증된 청정실 시설에서 제조 및 포장됩니다.

Q5: 이 포크 암/핸드의 최대 작동 온도는 얼마입니까?

그만큼실리콘 카바이드 세라믹 포크 암/핸드최대 1500°C에서 연속 작동이 가능하므로 고온 공정 챔버와 열 진공 시스템에서 직접 사용하기에 적합합니다.

이러한 FAQ는 엔지니어, 실험실 관리자 및 시스템 통합자가 가장 흔히 제기하는 기술적 문제를 반영합니다.실리콘 카바이드 세라믹 포크 암/핸드.

회사 소개

XKH는 특수 광학 유리 및 신결정 소재의 첨단 기술 개발, 생산 및 판매를 전문으로 합니다. 당사 제품은 광전자, 가전제품 및 군수 분야에 사용됩니다. 사파이어 광학 부품, 휴대폰 렌즈 커버, 세라믹, LT, 탄화규소(SIC), 석영 및 반도체 결정 웨이퍼를 제공합니다. 숙련된 전문 지식과 최첨단 장비를 바탕으로 비표준 제품 가공에 탁월한 역량을 발휘하며, 선도적인 광전자 소재 첨단 기업을 목표로 합니다.