기판
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6인치 실리콘 카바이드 4H-SiC 반절연 잉곳, 더미 등급
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SiC 잉곳 4H형 직경 4인치 6인치 두께 5-10mm 연구/더미 등급
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6인치 사파이어 불 사파이어 블랭크 단결정 Al2O3 99.999%
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SiC 기판 실리콘 카바이드 웨이퍼 4H-N 유형 고경도 내식성 Prime Grade 연마
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2인치 실리콘 카바이드 웨이퍼 6H-N 타입 Prime Grade Research Grade Dummy Grade 330μm 430μm 두께
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2인치 실리콘 카바이드 기판 6H-N 양면 연마 직경 50.8mm 생산 등급 연구 등급
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p형 4H/6H-P 3C-N TYPE SIC 기판 4인치 〈111〉± 0.5°Zero MPD
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SiC 기판 P형 4H/6H-P 3C-N 4인치 두께 350um 생산 등급 더미 등급
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4H/6H-P 6인치 SiC 웨이퍼 제로 MPD 등급 생산 등급 더미 등급
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P형 SiC 웨이퍼 4H/6H-P 3C-N 6인치 두께 350μm, 1차 평면 방향
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석영 사파이어 BF33 웨이퍼에 대한 TVG 공정 유리 웨이퍼 펀칭
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단결정 실리콘 웨이퍼 Si 기판 유형 N/P 선택 사항 실리콘 카바이드 웨이퍼