기질
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석영 사파이어 BF33 웨이퍼에 대한 TVG 공정, 유리 웨이퍼 펀칭
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단결정 실리콘 웨이퍼 Si 기판 유형 N/P (선택 사항: 탄화규소 웨이퍼)
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N형 SiC 복합 기판 (직경 6인치) 고품질 단결정 및 저품질 기판
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실리콘 복합 기판 상의 반절연 SiC
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반절연 SiC 복합 기판 (직경 2인치, 4인치, 6인치, 8인치) HPSI
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합성 사파이어 잉곳, 단결정 사파이어 블랭크의 직경과 두께는 맞춤 제작 가능합니다.
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N형 SiC/Si 복합 기판 (직경 6인치)
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SiC 기판 직경 200mm 4H-N 및 HPSI 탄화규소
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3인치 SiC 기판 생산 직경 76.2mm 4H-N
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SiC 기판 P 및 D 등급 직경 50mm 4H-N 2인치
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TGV 유리 기판 12인치 웨이퍼 유리 펀칭
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SiC 잉곳 4H-N형 더미 등급 2인치, 3인치, 4인치, 6인치 두께: >10mm