초정밀 SiC 공기 베어링 스테이지

1. 공기베어링 스테이지란 무엇입니까?

공기 베어링 스테이지는 스테이지와 가이드웨이 사이에 얇은 압축 공기막을 사용하여 진동을 제어합니다.마찰 없고 마모 없는 매우 부드러운 움직임기존 기계식 베어링과 달리, 이 베어링은 스틱-슬립 현상을 없애고 나노미터 수준의 정밀도를 제공하며 장기적인 신뢰성을 지원합니다.

2. 무대 구조에 탄화규소(SiC)를 사용하는 이유는 무엇입니까?

• 높은 강성알루미늄 합금보다 약 5배 높은 강도를 지니므로 동적 움직임 중 변형을 최소화합니다.

• 낮은 열팽창률알루미늄보다 약 5배 낮은 온도에서도 온도 변화에 따른 정확도를 유지합니다.

• 경량강철에 비해 밀도가 낮아 고속 및 고가속 작동이 가능합니다.

• 탁월한 안정성탁월한 감쇠 및 강성으로 초정밀 위치 조정이 가능합니다.

3. 해당 무대에 윤활유나 유지보수가 필요합니까?

별도의 윤활유가 필요하지 않습니다.기계적 접촉 없음권장 유지보수 사항은 다음과 같습니다.

• 공급깨끗하고 건조한 압축 공기 또는 질소

• 필터 및 건조기의 정기 점검

• 모니터링 케이블 및 냉각 시스템

4. 공기 공급 요구 사항은 무엇입니까?

• 이슬점: 0°F 이하 (≈ –18°C)

• 입자 여과: ≤ 0.25 μm

• 깨끗하고 건조한 공기 또는 99.99% 순수 질소

• 압력 변동이 최소화된 안정적인 압력