12인치 Dia300x1.0mmt 사파이어 웨이퍼 기판 C-Plane SSP/DSP
12인치 사파이어 기판 시장 상황
현재 사파이어는 크게 두 가지 용도로 쓰인다. 하나는 기판 소재로 주로 LED 기판 소재이고, 다른 하나는 시계 다이얼, 항공, 우주항공, 특수 제조용 창 소재이다.
사파이어 외에도 실리콘 카바이드, 실리콘, 갈륨 나이트라이드 등도 LED 기판으로 사용 가능하지만, 비용과 해결되지 않은 기술적 문제로 인해 아직 대량 생산은 불가능합니다. 최근 몇 년간의 기술 개발을 통해 사파이어 기판은 격자 정합, 전기 전도도, 기계적 특성, 열 전도도 등의 특성이 크게 향상되고 향상되었으며, 비용 효율성 측면에서도 상당한 이점을 제공합니다. 따라서 사파이어는 LED 산업에서 가장 성숙되고 안정적인 기판 소재로 자리 잡았으며, 시장에서 널리 사용되고 있으며 시장 점유율은 90%에 달합니다.
12인치 사파이어 웨이퍼 기판의 특성
1. 사파이어 기판 표면은 2~8인치 크기 범위에서 2인치당 0.3마이크론 이상의 입자가 50개 미만으로 매우 낮은 입자 수를 보이며, 주요 금속(K, Ti, Cr, Mn, Fe, Co, Ni, Cu, Zn)의 함량은 2E10/cm² 미만입니다. 12인치 기판 소재도 이 등급을 달성할 것으로 예상됩니다.
2. 12인치 반도체 제조 공정(장치 내 운반 팔레트)의 캐리어 웨이퍼 및 본딩용 기판으로 활용 가능합니다.
3. 오목면과 볼록면의 모양을 조절할 수 있습니다.
재료: 고순도 단결정 Al2O3, 사파이어 웨이퍼.
LED 품질, 거품, 균열, 쌍둥이, 혈통, 색상 없음 등 없음
12인치 사파이어 웨이퍼
| 정위 | C-평면<0001> +/- 1도 |
| 지름 | 300.0 +/-0.25mm |
| 두께 | 1.0 +/-25um |
| 골짜기 | 노치 또는 플랫 |
| 티티비 | <50um |
| 절하다 | <50um |
| 가장자리 | 보호용 챔퍼 |
| 앞면 – 80/50 광택 | |
| 레이저 마크 | 없음 |
| 포장 | 단일 웨이퍼 캐리어 박스 |
| 전면 Epi 레디 폴리싱(Ra <0,3nm) | |
| 뒷면 Epi 레디 폴리싱(Ra <0,3nm) | |
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