12인치 Dia300x1.0mmt 사파이어 웨이퍼 기판 C-평면 SSP/DSP

간단한 설명:

과학과 기술의 발전으로 사파이어 크리스탈 소재의 크기와 품질에 대한 새로운 요구 사항이 제시되었습니다.이제 반도체 조명 및 기타 신흥 응용 분야의 급속한 발전으로 인해 저비용, 고품질, 대형 사파이어 크리스탈 시장이 극적으로 확대되고 있습니다.

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12인치 사파이어 기판 시장 상황

현재 사파이어에는 두 가지 주요 용도가 있습니다. 하나는 주로 LED 기판 재료인 기판 재료이고, 다른 하나는 시계 다이얼, 항공, 우주 항공, 특수 제조 창 재료입니다.

사파이어 외에 LED용 기판으로는 탄화규소, 규소, 질화갈륨 등도 사용 가능하지만 비용과 일부 해결되지 않은 기술적 병목 현상으로 인해 아직 대량 생산이 불가능하다.최근 몇 년간의 기술 개발을 통해 사파이어 기판의 격자 매칭, 전기 전도도, 기계적 특성, 열 전도성 및 기타 특성이 크게 향상되고 촉진되었으며 비용 효율성 이점이 중요하므로 사파이어는 가장 성숙하고 안정적인 기판 재료가 되었습니다. LED 산업에서는 시장에서 널리 사용되고 있으며 시장 점유율은 90%에 달합니다.

12인치 사파이어 웨이퍼 기판의 특성

1. 사파이어 기판 표면은 2~8인치 크기 범위에서 2인치당 0.3미크론 이상의 입자와 주요 금속(K, Ti, Cr, Mn, Fe, Co, Ni)이 50개 미만으로 입자 수가 매우 적습니다. , Cu, Zn) 2E10/cm2 이하.12인치 기본 소재도 이 등급을 달성할 것으로 예상된다.
2. 12인치 반도체 제조 공정용 캐리어 웨이퍼(In Device Transport Pallet) 및 접합용 기판으로 사용 가능합니다.
3. 오목하고 볼록한 표면의 모양을 제어할 수 있습니다.
재질: 고순도 단결정 Al2O3, 사파이어 웨이퍼.
LED 품질, 기포 없음, 균열 없음, 쌍둥이, 계보, 색상 없음 등.

12인치 사파이어 웨이퍼

정위	C-평면<0001> +/- 1도
지름	300.0 +/-0.25mm
두께	1.0 +/-25um
골짜기	노치 또는 플랫
TTV	<50um
절하다	<50um
가장자리	프로텍티브 모따기
앞면 - 광택 80/50
레이저 마크	없음
포장	단일 웨이퍼 캐리어 박스
전면 Epi 준비 광택(Ra <0,3nm)
뒷면 Epi 준비 광택(Ra <0,3nm)