4H-N 8인치 SiC 기판 웨이퍼 실리콘 카바이드 더미 연구 등급 500um 두께
실리콘 카바이드 웨이퍼 및 SiC 기판을 어떻게 선택합니까?
탄화규소(SiC) 웨이퍼와 기판을 선택할 때 고려해야 할 몇 가지 요소가 있습니다. 다음은 몇 가지 중요한 기준입니다.
재료 유형: 4H-SiC 또는 6H-SiC 등 귀하의 응용 분야에 적합한 SiC 재료 유형을 결정하십시오. 가장 일반적으로 사용되는 결정 구조는 4H-SiC입니다.
도핑 유형: 도핑되거나 도핑되지 않은 SiC 기판이 필요한지 결정합니다. 일반적인 도핑 유형은 특정 요구 사항에 따라 N형(n-도핑) 또는 P형(p-도핑)입니다.
결정 품질: SiC 웨이퍼 또는 기판의 결정 품질을 평가합니다. 원하는 품질은 결함 수, 결정학적 방향 및 표면 거칠기와 같은 매개변수에 의해 결정됩니다.
웨이퍼 직경: 귀하의 응용 분야에 따라 적절한 웨이퍼 크기를 선택하십시오. 일반적인 크기에는 2인치, 3인치, 4인치, 6인치가 포함됩니다. 직경이 클수록 웨이퍼당 더 많은 수율을 얻을 수 있습니다.
두께: SiC 웨이퍼 또는 기판의 원하는 두께를 고려하십시오. 일반적인 두께 옵션은 수 마이크로미터에서 수백 마이크로미터까지 다양합니다.
방향: 응용 분야의 요구 사항에 맞는 결정학적 방향을 결정합니다. 일반적인 방향에는 4H-SiC의 경우 (0001), 6H-SiC의 경우 (0001) 또는 (0001̅)이 포함됩니다.
표면 마감: SiC 웨이퍼 또는 기판의 표면 마감을 평가합니다. 표면은 매끄럽고 광택이 나며 긁힘이나 오염 물질이 없어야 합니다.
공급업체 평판: 고품질 SiC 웨이퍼 및 기판 생산에 대한 광범위한 경험을 갖춘 평판이 좋은 공급업체를 선택하십시오. 제조 역량, 품질 관리, 고객 리뷰 등의 요소를 고려하세요.
비용: 웨이퍼 또는 기판당 가격과 추가 맞춤화 비용을 포함하여 비용에 미치는 영향을 고려하세요.
선택한 SiC 웨이퍼 및 기판이 특정 응용 분야 요구 사항을 충족하는지 확인하려면 이러한 요소를 신중하게 평가하고 업계 전문가 또는 공급업체와 상담하는 것이 중요합니다.