4H/6H-P 6인치 SiC 웨이퍼 제로 MPD 등급 생산 등급 더미 등급
4H/6H-P형 SiC 복합 기판 공통 매개변수 표
6 인치 직경 실리콘 카바이드(SiC) 기판 사양
| 등급 | MPD 생산 없음등급(Z 등급) | 표준 생산등급(P 등급) | 더미 등급 (D 등급) | ||
| 지름 | 145.5mm~150.0mm | ||||
| 두께 | 350㎛ ± 25㎛ | ||||
| 웨이퍼 방향 | -Off축: 4H/6H-P의 경우 [1120] 방향으로 2.0°-4.0° ± 0.5°, 축: 3C-N의 경우 〈111〉± 0.5° | ||||
| 마이크로파이프 밀도 | 0cm-2 | ||||
| 저항률 | p형 4H/6H-P | ≤0.1Ωꞏcm | ≤0.3Ωꞏcm | ||
| n형 3C-N | ≤0.8 mΩꞏcm | ≤1 mΩꞏcm | |||
| 기본 평면 방향 | 4시간/6시간-피 | -{1010} ± 5.0° | |||
| 3C-N | -{110} ± 5.0° | ||||
| 기본 플랫 길이 | 32.5mm ± 2.0mm | ||||
| 2차 플랫 길이 | 18.0mm ± 2.0mm | ||||
| 2차 평면 방향 | 실리콘 윗면: 90° CW. Prime flat에서 ± 5.0° | ||||
| 에지 제외 | 3mm | 6mm | |||
| LTV/TTV/활/워프 | 2.5μm 이하/5μm 이하/15μm/30μm 이하 | 10μm 이하/15μm/25μm/40μm 이하 | |||
| 거 | 폴란드 Ra≤1 nm | ||||
| CMP Ra≤0.2nm | Ra≤0.5nm | ||||
| 고강도 조명으로 인한 가장자리 균열 | 없음 | 누적 길이 ≤ 10mm, 단일 길이 ≤ 2mm | |||
| 고강도 조명의 육각형 플레이트 | 누적 면적 ≤0.05% | 누적 면적 ≤0.1% | |||
| 고강도 조명을 통한 폴리타입 영역 | 없음 | 누적 면적≤3% | |||
| 시각적 탄소 내포물 | 누적 면적 ≤0.05% | 누적 면적 ≤3% | |||
| 고강도 빛에 의한 실리콘 표면 스크래치 | 없음 | 누적 길이≤1×웨이퍼 직경 | |||
| 강도 조명으로 엣지 칩스 하이 | ≥0.2mm 폭 및 깊이는 허용되지 않습니다. | 허용 개수 5개, 각각 ≤1mm | |||
| 고강도 실리콘 표면 오염 | 없음 | ||||
| 포장 | 다중 웨이퍼 카세트 또는 단일 웨이퍼 컨테이너 | ||||
참고사항:
※ 결함 한계는 엣지 제외 영역을 제외한 전체 웨이퍼 표면에 적용됩니다. # 스크래치는 Si 표면에서 확인해야 합니다.
4H/6H-P 타입 6인치 SiC 웨이퍼는 Zero MPD 등급과 생산 등급 또는 더미 등급으로 첨단 전자 응용 분야에 널리 사용됩니다. 뛰어난 열전도도, 높은 항복 전압, 그리고 혹독한 환경에 대한 내성을 갖추고 있어 고전압 스위치 및 인버터와 같은 전력 전자 장치에 이상적입니다. Zero MPD 등급은 고신뢰성 소자에 필수적인 결함을 최소화합니다. 생산 등급 웨이퍼는 성능과 정밀성이 중요한 전력 소자 및 RF 애플리케이션의 대량 생산에 사용됩니다. 반면, 더미 등급 웨이퍼는 공정 교정, 장비 테스트 및 프로토타입 제작에 사용되어 반도체 생산 환경에서 일관된 품질 관리를 가능하게 합니다.
N형 SiC 복합 기판의 장점은 다음과 같습니다.
- 높은 열전도도: 4H/6H-P SiC 웨이퍼는 열을 효율적으로 방출하므로 고온 및 고전력 전자 응용 분야에 적합합니다.
- 높은 파괴 전압: 고장 없이 고전압을 처리할 수 있는 능력으로 인해 전력 전자 장치 및 고전압 스위칭 애플리케이션에 이상적입니다.
- 제로 MPD(미세 배관 결함) 등급: 결함 밀도가 최소화되어 높은 신뢰성과 성능이 보장되며, 이는 까다로운 전자 장치에 필수적입니다.
- 대량 생산을 위한 생산 등급: 엄격한 품질 기준을 충족하는 고성능 반도체 소자의 대량 생산에 적합합니다.
- 테스트 및 교정을 위한 더미 등급: 고비용 생산 등급 웨이퍼를 사용하지 않고도 프로세스 최적화, 장비 테스트 및 프로토타입 제작이 가능합니다.
전반적으로, Zero MPD 등급, 생산 등급, 더미 등급의 4H/6H-P 6인치 SiC 웨이퍼는 고성능 전자 소자 개발에 상당한 이점을 제공합니다. 이러한 웨이퍼는 고온 작동, 높은 전력 밀도, 그리고 효율적인 전력 변환이 필요한 응용 분야에 특히 유용합니다. Zero MPD 등급은 결함을 최소화하여 신뢰성 있고 안정적인 소자 성능을 보장하는 반면, 생산 등급 웨이퍼는 엄격한 품질 관리를 통해 대량 생산을 지원합니다. 더미 등급 웨이퍼는 공정 최적화 및 장비 교정을 위한 비용 효율적인 솔루션을 제공하여 고정밀 반도체 제조에 필수적인 요소입니다.
상세 다이어그램
여기에 메시지를 작성하여 보내주세요