직경 50.8mm 사파이어 웨이퍼 사파이어 윈도우 고광투과율 DSP/SSP

간단한 설명:

사파이어(Al₂O₃) 웨이퍼는 격자 부정합이 적고 화학적 및 물리적 특성이 안정적이기 때문에 III-V 질화물, 초전도체 및 자성 에피박막용 기판으로 널리 사용됩니다. 이 웨이퍼는 GaN 및 박막 에피택셜 성장, 실리콘 온 사파이어, LED 시장 및 광학 산업에 널리 사용됩니다.

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특징

왜 사파이어인가?

단결정 사파이어의 특징
1. 사파이어는 높은 광투과율을 가지고 있어 마이크로 전자관 유전체 재료, 초음파 전도 소자, 도파로 레이저 공동 및 기타 광학 소자로 널리 사용되며 적외선 군사 장비, 우주선, 고강도 레이저 및 광통신의 창 재료로도 사용됩니다.

2. 사파이어는 강성, 강도, 작업 온도가 높고, 내마모성, 내부식성 특성이 있으므로 사파이어 기판은 보일러 수위계(고온 저항성), 상품 바코드 스캐너, 베어링 및 기타 정밀 제조(내마모성), 석탄, 가스, 우물 감지 센서 및 감지 창(부식 방지)과 같은 혹독한 환경에서 자주 사용됩니다.

3. 사파이어는 전기 절연성, 투명성, 열전도성, 강성이 우수하여 LED, 마이크로 전자 회로, 초고속 집적 회로 등의 집적 회로 기판 소재로 활용 가능합니다.

사양

지름	50.8mm +/-0.1mm 또는 +/-0.02mm
두께	0.43mm± 0.1mm 또는 +/-0.02mm
정위	C-평면/A-평면/M-평면/R-평면
표면 품질(긁힘 및 파기)	60/40, 40/20 또는 그 이상
표면 정확도	λ/10, λ/2, λ
클리어 애퍼처	>85%, >90%
병행	+/-3', +/-30''
사각	0.1~0.3mm×45도
코팅	AR, BBAR 또는 고객 요청에 따라(UV, VIS, IR)

아니요	속성	목표	용인	비고
1	지름	50.8mm	± 0.1mm
2	두께	430㎛	±15μm
3	C-평면의 표면 방향	C축에서 M0.2°로	± 0.1°
4	1차 평면 길이	16mm	±11mm
5	기본 평면 방향	A-평면(11-20)	±0.1°
6	뒷면 거칠기	0.8~1.2㎛
7	앞면 거칠기	<0.3nm
8	웨이퍼 엣지	R형
9	총 두께 변화, TTV	≤ 10μm(LTV≤5μm, 5*5)
10	소리	≤10μm
11	절하다	-10 μm ≤ BOW ≤ 0
12	레이저 마크	해당 없음		없다
	패키지	카세트 하나에 웨이퍼 25개
	추적 능력	웨이퍼는 카세트 번호를 기준으로 추적 가능해야 합니다.