사파이어, SiC, Si용 이온 빔 연마기

간략한 설명:

이온 빔 가공 및 연마기는 이온 스퍼터링 원리를 기반으로 합니다. 고진공 챔버 내부의 이온 소스에서 플라즈마가 생성되고, 이 플라즈마는 고에너지 이온 빔으로 가속됩니다. 이 빔은 광학 부품 표면을 충격하여 원자 수준에서 재료를 제거함으로써 초정밀 표면 보정 및 마감을 구현합니다.


특징

이온빔 연마기 제품 개요

이온 빔 가공 및 연마기는 이온 스퍼터링 원리를 기반으로 합니다. 고진공 챔버 내부의 이온 소스에서 플라즈마가 생성되고, 이 플라즈마는 고에너지 이온 빔으로 가속됩니다. 이 빔은 광학 부품 표면을 충격하여 원자 수준에서 재료를 제거함으로써 초정밀 표면 보정 및 마감을 구현합니다.

이온 빔 연마는 비접촉 공정으로 기계적 스트레스를 제거하고 표면 아래 손상을 방지하므로 천문학, 항공우주, 반도체 및 첨단 연구 분야에 사용되는 고정밀 광학 부품 제조에 이상적입니다.

이온빔 연마기의 작동 원리

이온 생성
진공 챔버에 불활성 기체(예: 아르곤)를 주입하고 전기 방전을 통해 이온화시켜 플라즈마를 형성합니다.

가속 및 빔 형성
이온들은 수백 또는 수천 전자볼트(eV)까지 가속되어 안정적이고 집중된 빔 형태로 만들어집니다.

재료 제거
이온 빔은 화학 반응을 일으키지 않고 표면에서 원자를 물리적으로 제거합니다.

오류 감지 및 경로 계획
표면 형상 편차는 간섭계를 이용하여 측정합니다. 제거 기능을 적용하여 체류 시간을 결정하고 최적화된 공구 경로를 생성합니다.

폐쇄 루프 보정
RMS/PV 정밀도 목표가 달성될 때까지 처리 및 측정의 반복적인 주기가 계속됩니다.

이온빔 연마기의 주요 특징

범용 표면 호환성평면, 구형, 비구형 및 자유형 표면을 처리합니다.이온빔 연마기3

초안정 제거율– 나노미터 이하 크기의 형상 보정이 가능합니다.

손상 없는 처리– 지하 결함이나 구조적 변화가 없음

일관된 성능- 다양한 경도의 재료에 똑같이 효과적입니다.

저주파/중주파 보정– 중/고주파 아티팩트를 생성하지 않고 오류를 제거합니다.

유지보수 필요성이 낮음장시간 연속 운전 가능, 가동 중단 시간 최소화

이온빔 연마기의 주요 기술 사양

사양

처리 방법 고진공 환경에서의 이온 스퍼터링
처리 유형 비접촉식 표면 형상 가공 및 연마
최대 가공물 크기 Φ4000 mm
동작 축 3축 / 5축
제거 안정성 95% 이상
표면 정확도 PV < 10 nm; RMS ≤ 0.5 nm (일반적인 RMS < 1 nm; PV < 15 nm)
주파수 보정 기능 저주파 및 중주파 오류를 제거하면서 중/고주파 오류는 발생시키지 않습니다.
연속 운전 진공청소기 유지 관리 없이 3~5주
유지 관리 비용 낮은

이온빔 연마기의 처리 능력

지원되는 표면 유형

단순형: 평면형, 구형, 프리즘형

복합형: 대칭/비대칭 비구면, 비축 비구면, 원통형

특수 분야: 초박형 광학계, 슬랫 광학계, 반구형 광학계, 등각 광학계, 위상판, 자유형 표면

지지 재료

광학 유리: 석영, 미세결정질, K9 등

적외선 소재: 실리콘, 게르마늄 등

금속: 알루미늄, 스테인리스강, 티타늄 합금 등

결정: YAG, 단결정 탄화규소 등

단단하고 부서지기 쉬운 재료: 탄화규소 등

표면 품질/정밀도

PV < 10 nm

RMS ≤ 0.5 nm

이온빔 연마기6
이온빔 연마기5

이온빔 연마기 가공 사례 연구

사례 1 – 일반 평면 거울

가공물: 직경 630mm 석영 평판

결과: PV 46.4 nm; RMS 4.63 nm

 标准镜1

사례 2 – X선 반사 거울

가공물: 150 × 30 mm 실리콘 평판

결과: PV 8.3 nm; RMS 0.379 nm; 기울기 0.13 µrad

x射线反射镜

 

사례 3 – 오프축 미러

가공물: 직경 326mm 오프축 연마 거울

결과: PV 35.9 nm; RMS 3.9 nm

离轴镜

석영 안경 FAQ

이온빔 연마기 관련 FAQ

Q1: 이온빔 연마란 무엇인가요?
A1:이온 빔 연마는 아르곤 이온과 같은 집중된 이온 빔을 사용하여 가공물 표면에서 재료를 제거하는 비접촉 공정입니다. 이온은 가속되어 표면으로 향하게 되며, 원자 수준의 재료 제거를 통해 매우 매끄러운 표면을 만들어냅니다. 이 공정은 기계적 스트레스와 표면 아래 손상을 방지하므로 정밀 광학 부품에 이상적입니다.


Q2: 이온빔 연마기는 어떤 종류의 표면을 가공할 수 있습니까?
A2:그만큼이온빔 연마기간단한 광학 부품을 포함하여 다양한 표면을 가공할 수 있습니다.평면, 구, 그리고 프리즘뿐만 아니라 다음과 같은 복잡한 기하학적 형태도 포함됩니다.비구면, 비축 비구면, 그리고자유형 표면이 기술은 특히 광학 유리, 적외선 광학 부품, 금속 및 단단하거나 부서지기 쉬운 재료와 같은 재료에 효과적입니다.


Q3: 이온빔 연마기는 어떤 재료에 사용할 수 있습니까?
A3:그만큼이온빔 연마기다음과 같은 다양한 재료를 연마할 수 있습니다.

  • 광학 유리석영, 미정질 석영, K9 석영 등

  • 적외선 물질실리콘, 게르마늄 등

  • 궤조알루미늄, 스테인리스강, 티타늄 합금 등

  • 결정 재료YAG, 단결정 탄화규소 등

  • 기타 단단하거나 부서지기 쉬운 재료: 탄화규소 등

회사 소개

XKH는 특수 광학 유리 및 신형 결정 소재의 첨단 개발, 생산 및 판매 전문 기업입니다. 당사의 제품은 광전자, 소비자 가전 및 군사 분야에 사용됩니다. 사파이어 광학 부품, 휴대폰 렌즈 커버, 세라믹, LT, 탄화규소(SIC), 석영 및 반도체 결정 웨이퍼 등을 제공합니다. 숙련된 전문가와 최첨단 설비를 바탕으로 비표준 제품 가공에 탁월한 역량을 발휘하며, 광전자 소재 분야의 선도적인 첨단 기술 기업으로 성장하는 것을 목표로 합니다.

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