4인치 고순도 Al2O3 99.999% 사파이어 기판 웨이퍼 Dia101.6×0.65mmt, 기본 평면 길이
설명
4인치 사파이어 웨이퍼의 공통 사양은 다음과 같이 소개된다.
두께: 일반적인 사파이어 웨이퍼의 두께는 0.2mm에서 2mm 사이이며 특정 두께는 고객 요구 사항에 따라 맞춤 설정할 수 있습니다.
배치 가장자리: 일반적으로 웨이퍼 표면과 가장자리를 보호하는 "배치 가장자리"라고 불리는 웨이퍼 가장자리에 작은 부분이 있으며 일반적으로 비정질입니다.
표면 준비: 일반적인 사파이어 웨이퍼는 표면을 매끄럽게 하기 위해 기계적으로 연마되고 화학적으로 기계적으로 연마됩니다.
표면 특성: 사파이어 웨이퍼의 표면은 일반적으로 장치 성능을 향상시키기 위해 낮은 반사율 및 낮은 굴절률과 같은 우수한 광학 특성을 갖습니다.
응용
● III-V 및 II-VI 화합물의 성장 기질
● 전자공학 및 광전자공학
● IR 애플리케이션
● 실리콘 온 사파이어 집적회로(SOS)
● 무선주파집적회로(RFIC)
사양
| 안건 | 4인치 C-plane(0001) 650μm 사파이어 웨이퍼 | |
| 크리스탈 재료 | 99,999%, 고순도, 단결정 Al2O3 | |
| 등급 | 프라임, Epi-Ready | |
| 표면 방향 | C면(0001) | |
| M축을 향한 C면 오프 각도 0.2 +/- 0.1° | ||
| 지름 | 100.0mm +/- 0.1mm | |
| 두께 | 650μm +/- 25μm | |
| 기본 평면 방향 | A면(11-20) +/- 0.2° | |
| 1차 플랫 길이 | 30.0mm +/- 1.0mm | |
| 단면 광택 | 전면 | Epi-polished, Ra < 0.2 nm(AFM 기준) |
| (SSP) | 뒷면 | 미세 연삭, Ra = 0.8μm ~ 1.2μm |
| 양면 광택 | 전면 | Epi-polished, Ra < 0.2 nm(AFM 기준) |
| (DSP) | 뒷면 | Epi-polished, Ra < 0.2 nm(AFM 기준) |
| TTV | < 20μm | |
| 절하다 | < 20μm | |
| 경사 | < 20μm | |
| 청소/포장 | 클래스 100 클린룸 청소 및 진공 포장, | |
| 1개의 카세트 포장 또는 단일 포장에 25개. | ||
우리는 사파이어 가공 산업에서 다년간의 경험을 가지고 있습니다.중국 공급 시장은 물론 국제 수요 시장도 포함됩니다.필요한 사항이 있으시면 언제든지 문의해 주세요.
상세 다이어그램
