5G/6G 통신용 LiTaO3 웨이퍼 2인치-8인치 10x10x0.5mm 1sp 2sp

간단한 설명:

3세대 반도체 및 광전자공학의 핵심 소재인 LiTaO3 웨이퍼(탄탈산리튬 웨이퍼)는 높은 퀴리 온도(610°C), 넓은 투과율 범위(0.4~5.0μm), 우수한 압전 계수(d3⁻ > 1,500pC/N), 낮은 유전 손실(tanδ < 2%)을 활용하여 5G 통신, 광자 집적, 양자 소자에 혁신을 불러일으킵니다. XKH는 물리 기상 수송(PVT) 및 화학 기상 증착(CVD)과 같은 첨단 제조 기술을 활용하여 2~8인치 크기의 X/Y/Z 컷, 42°Y 컷, 주기적 분극(PPLT) 웨이퍼를 제공하며, 표면 거칠기(Ra)는 0.5nm 미만, 마이크로파이프 밀도는 0.1cm⁻² 미만입니다. 당사의 서비스는 Fe 도핑, 화학적 환원, 스마트 컷 이종 집적을 포함하여 고성능 광학 필터, 적외선 검출기, 양자 광원을 처리합니다. 이 소재는 소형화, 고주파 동작, 열 안정성 측면에서 획기적인 발전을 이루어 핵심 기술의 국산화를 가속화합니다.

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특징

기술적 매개변수

이름	광학 등급 LiTaO3	사운드 테이블 레벨 LiTaO3
축방향	Z 컷 + / - 0.2 °	36° Y 컷 / 42° Y 컷 / X 컷 (+ / - 0.2 °)
지름	76.2mm + / - 0.3mm/ 100±0.2mm	76.2mm + /-0.3mm 100mm ± 0.3mm 또는 150±0.5mm
기준면	22mm + / - 2mm	22mm + /-2mm 32mm + /-2mm
두께	500um + /-5mm 1000um + /-5mm	500um + /-20mm 350um + /-20mm
티티비	≤ 10um	≤ 10um
퀴리 온도	605 °C + / - 0.7 °C(DTA 방법)	605 °C + / -3 °C (DTA 방법
표면 품질	양면 연마	양면 연마
모따기된 모서리	모서리 라운딩	모서리 라운딩

주요 특징

1. 전기적 및 광학적 성능
· 전기광학 계수: r33은 LiNbO3보다 1.5배 높은 30pm/V(X-cut)에 도달하여 초광대역 전기광학 변조(>40GHz 대역폭)를 가능하게 합니다.
· 광범위한 스펙트럼 응답: 투과 범위 0.4~5.0μm(두께 8mm), 자외선 흡수 경계가 280nm로 낮아 UV 레이저 및 양자점 장치에 이상적입니다.
· 낮은 열전계수: dP/dT = 3.5×10⁻⁴ C/(m²·K)로 고온 적외선 센서의 안정성을 보장합니다.

2. 열적 및 기계적 특성
· 높은 열전도도: 4.6 W/m·K(X-cut), 석영의 4배, -200–500°C 열 사이클을 견딥니다.
· 낮은 열팽창 계수: CTE = 4.1×10⁻⁶/K(25–1000°C), 열 응력을 최소화하기 위해 실리콘 패키징과 호환됩니다.
3. 결함 제어 및 가공 정밀도
· 마이크로파이프 밀도: <0.1 cm⁻²(8인치 웨이퍼), 전위 밀도 <500 cm⁻²(KOH 에칭을 통해 검증).
· 표면 품질: EUV 리소그래피 등급 평탄도 요구 사항을 충족하는 Ra <0.5 nm로 CMP 연마되었습니다.

주요 응용 분야

도메인	응용 프로그램 시나리오	기술적 이점
광통신	100G/400G DWDM 레이저, 실리콘 포토닉스 하이브리드 모듈	LiTaO3 웨이퍼의 광범위한 스펙트럼 투과율과 낮은 광파관 손실(α <0.1 dB/cm)로 인해 C-밴드 확장이 가능합니다.
5G/6G 통신	SAW 필터(1.8~3.5GHz), BAW-SMR 필터	42°Y 컷 웨이퍼는 Kt² >15%를 달성하여 낮은 삽입 손실(<1.5 dB)과 높은 롤오프(>30 dB)를 제공합니다.
퀀텀 테크놀로지스	단일 광자 검출기, 매개변수 하향 변환 소스	높은 비선형 계수(χ(2)=40 pm/V)와 낮은 암흑 계수율(<100 counts/s)은 양자 충실도를 향상시킵니다.
산업 감지	고온 압력 센서, 전류 변압기	LiTaO3 웨이퍼의 압전 응답(g33 >20 mV/m)과 고온 내성(>400°C)은 극한 환경에 적합합니다.