LiTaO3 웨이퍼 2인치-8인치 10x10x0.5mm 1스파이크 2스파이크 (5G/6G 통신용)
기술적 매개변수
| 이름 | 광학 등급 LiTaO3 | 사운드 테이블 레벨 LiTaO3 |
| 축 | Z축 절단 +/- 0.2° | 36° Y컷 / 42° Y컷 / X컷 (+/- 0.2°) |
| 지름 | 76.2mm + / - 0.3mm/ 100±0.2mm | 76.2mm +/- 0.3mm 100mm +/-0.3mm 또는 150±0.5mm |
| 기준면 | 22mm + / - 2mm | 22mm + /-2mm 32mm + /-2mm |
| 두께 | 500um +/- 5mm 1000um +/- 5mm | 500um +/-20mm 350um +/- 20mm |
| 티비 | ≤ 10μm | ≤ 10μm |
| 퀴리 온도 | 605°C +/- 0.7°C (DTA 방법) | 605°C +/-3°C (DTA 방법) |
| 표면 품질 | 양면 연마 | 양면 연마 |
| 모서리가 비스듬하게 깎여 있습니다. | 모서리 둥글게 처리 | 모서리 둥글게 처리 |
주요 특징
1. 전기적 및 광학적 성능
• 전기광학 계수: r33은 30 pm/V(X-컷)에 도달하며, LiNbO3보다 1.5배 높아 초광대역 전기광학 변조(>40 GHz 대역폭)를 가능하게 합니다.
• 넓은 스펙트럼 응답: 투과 범위 0.4~5.0μm(두께 8mm), 자외선 흡수 가장자리가 280nm까지 낮아 UV 레이저 및 양자점 장치에 이상적입니다.
• 낮은 압전 계수: dP/dT = 3.5×10⁻⁴ C/(m²·K), 고온 적외선 센서의 안정성을 보장합니다.
2. 열적 및 기계적 특성
• 높은 열전도율: 4.6 W/m·K (X-컷), 석영의 4배에 달하며 -200~500°C의 열 순환을 견딜 수 있습니다.
• 낮은 열팽창 계수: CTE = 4.1×10⁻⁶/K (25–1000°C), 실리콘 패키징과 호환되어 열 응력을 최소화합니다.
3. 불량 제어 및 가공 정밀도
• 마이크로파이프 밀도: <0.1 cm⁻² (8인치 웨이퍼), 전위 밀도 <500 cm⁻² (KOH 에칭을 통해 검증됨).
• 표면 품질: CMP 연마를 통해 Ra <0.5 nm의 평탄도를 달성하여 EUV 리소그래피 등급의 평탄도 요구 사항을 충족합니다.
주요 응용 분야
| 도메인 | 응용 시나리오 | 기술적 이점 |
| 광통신 | 100G/400G DWDM 레이저, 실리콘 포토닉스 하이브리드 모듈 | LiTaO3 웨이퍼의 넓은 스펙트럼 투과율과 낮은 도파관 손실(α <0.1 dB/cm)은 C 대역 확장을 가능하게 합니다. |
| 5G/6G 통신 | SAW 필터(1.8–3.5 GHz), BAW-SMR 필터 | 42°Y컷 웨이퍼는 Kt² >15%를 달성하여 낮은 삽입 손실(<1.5dB)과 높은 롤오프(>30dB)를 제공합니다. |
| 양자 기술 | 단일 광자 검출기, 파라메트릭 하향 변환 소스 | 높은 비선형 계수(χ(2)=40 pm/V)와 낮은 암흑 계수율(<100 counts/s)은 양자 충실도를 향상시킵니다. |
| 산업 센싱 | 고온 압력 센서, 전류 변압기 | LiTaO3 웨이퍼의 압전 응답(g33 >20 mV/m)과 고온 내성(>400°C)은 극한 환경에 적합합니다. |
XKH 서비스
1. 맞춤형 웨이퍼 제작
• 크기 및 절단: 2~8인치 웨이퍼, X/Y/Z 절단, 42° Y 절단 및 사용자 지정 각도 절단(±0.01° 허용 오차).
• 도핑 제어: 전기광학 계수 및 열 안정성을 최적화하기 위해 초크랄스키법을 이용한 Fe, Mg 도핑(농도 범위 10¹⁶–10¹⁹ cm⁻³)을 수행하였다.
2. 첨단 공정 기술
• 주기적 폴링(PPLT): LTOI 웨이퍼용 스마트컷 기술로, ±10nm의 도메인 주기 정밀도와 준위상 정합(QPM) 주파수 변환을 구현합니다.
• 이종 통합: 고주파 SAW 필터용 두께 제어(300~600nm) 및 최대 8.78W/m·K의 열전도율을 갖는 Si 기반 LiTaO3 복합 웨이퍼(POI).
3. 품질 관리 시스템
• 엔드 투 엔드 테스트: 라만 분광법(다형성 검증), XRD(결정성), AFM(표면 형태) 및 광학 균일성 테스트(Δn <5×10⁻⁵).
4. 글로벌 공급망 지원
• 생산 능력: 월 생산량 5,000개 이상(8인치: 70%), 48시간 긴급 배송 가능.
• 물류 네트워크: 유럽, 북미 및 아시아 태평양 지역에 항공/해상 화물 운송 및 온도 조절 포장 서비스를 제공합니다.
