LT 리튬 탄탈레이트(LiTaO3) 결정 2인치/3인치/4인치/6인치 방향 Y-42°/36°/108° 두께 250-500um

간단한 설명:

LiTaO₃ 웨이퍼는 뛰어난 압전 계수, 열적 안정성 및 광학적 특성을 나타내는 중요한 압전 및 강유전성 소재 시스템으로, 표면 탄성파(SAW) 필터, 체적 탄성파(BAW) 공진기, 광 변조기 및 적외선 검출기에 필수적입니다. XKH는 고품질 LiTaO₃ 웨이퍼 연구개발 및 생산을 전문으로 하며, 첨단 초크랄스키(CZ) 결정 성장 및 액상 에피택시(LPE) 공정을 활용하여 100/cm² 미만의 결함 밀도로 탁월한 결정 균질성을 보장합니다.

XKH는 다양한 결정 방위(X-컷, Y-컷, Z-컷)를 가진 3인치, 4인치, 6인치 LiTaO₃ 웨이퍼를 공급하며, 특정 응용 분야 요건을 충족하기 위해 맞춤형 도핑(Mg, Zn) 및 폴링 처리를 지원합니다. 이 소재의 유전율(ε~40-50), 압전 계수(d₃₃~8-10 pC/N), 그리고 퀴리 온도(~600°C)는 LiTaO₃를 고주파 필터 및 정밀 센서에 적합한 기판으로 자리매김하게 합니다.

당사의 수직 통합 생산 시스템은 결정 성장, 웨이퍼링, 연마, 박막 증착을 아우르며, 월 3,000장 이상의 웨이퍼 생산 능력을 갖추고 5G 통신, 가전, 포토닉스, 방위 산업 분야에 서비스를 제공합니다. 당사는 종합적인 기술 컨설팅, 샘플 특성 분석, 그리고 소량 프로토타입 제작 서비스를 통해 최적화된 LiTaO₃ 솔루션을 제공합니다.

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특징

기술적 매개변수

이름	광학 등급 LiTaO3	사운드 테이블 레벨 LiTaO3
축방향	Z 컷 + / - 0.2 °	36° Y 컷 / 42° Y 컷 / X 컷(+ / - 0.2 °)
지름	76.2mm + / - 0.3mm/100±0.2mm	76.2mm + /-0.3mm100mm ± 0.3mm 또는 150±0.5mm
기준면	22mm + / - 2mm	22mm + /-2mm32mm + /-2mm
두께	500um + /-5mm1000um + /-5mm	500um + /-20mm350um + /-20mm
티티비	≤ 10um	≤ 10um
퀴리 온도	605 °C + / - 0.7 °C(DTA 방법)	605 °C + / -3 °C (DTA 방법
표면 품질	양면 연마	양면 연마
모따기된 모서리	모서리 라운딩	모서리 라운딩

주요 특징

1. 결정 구조 및 전기적 성능

· 결정학적 안정성: 100% 4H-SiC 다형 우세, 다결정 내포물 0개(예: 6H/15R), XRD 로킹 곡선 반치폭(FWHM) ≤32.7초각.
· 높은 캐리어 이동도: 전자 이동도가 5,400 cm²/V·s(4H-SiC), 정공 이동도가 380 cm²/V·s로 고주파 소자 설계가 가능합니다.
·방사선 내구성: 1×10¹⁵ n/cm²의 변위 손상 임계값으로 1MeV 중성자 조사를 견뎌내므로 항공우주 및 핵 응용 분야에 이상적입니다.

2. 열적 및 기계적 특성

· 뛰어난 열전도도: 4.9 W/cm·K(4H-SiC), 실리콘의 3배로 200°C 이상에서 작동 가능.
· 낮은 열팽창 계수: CTE가 4.0×10⁻⁶/K(25–1000°C)로 실리콘 기반 패키징과의 호환성을 보장하고 열 응력을 최소화합니다.

3. 결함 제어 및 가공 정밀도

· 마이크로파이프 밀도: <0.3 cm⁻²(8인치 웨이퍼), 전위 밀도 <1,000 cm⁻²(KOH 에칭을 통해 검증).
· 표면 품질: EUV 리소그래피 등급 평탄도 요구 사항을 충족하는 Ra <0.2 nm로 CMP 연마되었습니다.

주요 응용 분야

도메인	응용 프로그램 시나리오	기술적 이점
광통신	100G/400G 레이저, 실리콘 포토닉스 하이브리드 모듈	InP 시드 기판은 직접 밴드갭(1.34 eV)과 Si 기반 헤테로에피택시를 가능하게 하여 광학 결합 손실을 줄입니다.
신에너지 차량	800V 고전압 인버터, 온보드 충전기(OBC)	4H-SiC 기판은 1,200V 이상을 견뎌내며 전도 손실을 50% 줄이고 시스템 부피를 40% 줄입니다.
5G 통신	밀리미터파 RF 장치(PA/LNA), 기지국 전력 증폭기	반절연 SiC 기판(저항률 >10⁵ Ω·cm)은 고주파(60 GHz+) 수동 집적을 가능하게 합니다.
산업 장비	고온 센서, 전류 변압기, 원자로 모니터	InSb 시드 기판(0.17 eV 밴드갭)은 10 T에서 최대 300%의 자기 감도를 제공합니다.

LiTaO₃ 웨이퍼 - 주요 특성

1. 뛰어난 압전 성능

· 높은 압전 계수(d₃₃~8-10 pC/N, K²~0.5%)로 인해 5G RF 필터에 삽입 손실이 <1.5dB인 고주파 SAW/BAW 장치가 가능합니다.

· 뛰어난 전기기계 결합은 6GHz 이하 및 mmWave 애플리케이션을 위한 광대역폭(≥5%) 필터 설계를 지원합니다.

2. 광학적 특성

· 40GHz 대역폭을 달성하는 전기광학 변조기에 대한 광대역 투명도(400-5000nm에서 70% 이상 전송)

· 강력한 비선형 광학 감수성(χ⁽²⁾~30pm/V)은 레이저 시스템에서 효율적인 2차 고조파 생성(SHG)을 용이하게 합니다.

3. 환경 안정성

· 높은 퀴리 온도(600°C)는 자동차 등급(-40°C ~ 150°C) 환경에서 압전 반응을 유지합니다.

· 산/알칼리(pH1-13)에 대한 화학적 불활성으로 산업용 센서 응용 분야에서 신뢰성을 보장합니다.

4. 사용자 정의 기능

· 방향 엔지니어링: 맞춤형 압전 반응을 위한 X-컷(51°), Y-컷(0°), Z-컷(36°)

· 도핑 옵션: Mg 도핑(광학적 손상 저항성), Zn 도핑(향상된 d₃₃)

· 표면 마감: 에피택셜 준비 연마(Ra<0.5nm), ITO/Au 금속화

LiTaO₃ 웨이퍼 - 주요 응용 분야

1. RF 프런트엔드 모듈

· 주파수 온도 계수(TCF) <|-15ppm/°C|를 갖춘 5G NR SAW 필터(대역 n77/n79)

· WiFi 6E/7(5.925~7.125GHz)용 초광대역 BAW 공진기

2. 집적 광자공학

· 코히어런트 광통신을 위한 고속 마하젠더 변조기(>100Gbps)

· 3-14μm에서 조정 가능한 차단 파장을 갖춘 QWIP 적외선 감지기

3. 자동차 전자 장치

· 작동 주파수가 200kHz 이상인 초음파 주차 센서

· -40°C ~ 125°C 열 사이클링을 견뎌내는 TPMS 압전 변환기

4. 방어 시스템

· 대역 외 차단이 60dB 이상인 EW 수신기 필터

· 3-5μm MWIR 방사선을 전송하는 미사일 추적기 IR 창

5. 신기술

· 마이크로파-광 변환을 위한 광기계적 양자 변환기

· 의료용 초음파 영상용 PMUT 어레이(>20MHz 해상도)

LiTaO₃ 웨이퍼 - XKH 서비스

1. 공급망 관리

· 표준 사양에 대한 4주 리드타임으로 Boule-to-Wafer 처리

· 경쟁사 대비 10-15% 가격 우위를 제공하는 비용 최적화된 생산

2. 맞춤형 솔루션

· 방향별 웨이퍼링: 최적의 SAW 성능을 위한 36°±0.5° Y-컷

· 도핑 조성: 광학 응용 분야를 위한 MgO(5mol%) 도핑

금속화 서비스: Cr/Au (100/1000Å) 전극 패터닝

3. 기술 지원

· 재료 특성 분석: XRD 로킹 곡선(FWHM<0.01°), AFM 표면 분석

· 소자 시뮬레이션: SAW 필터 설계 최적화를 위한 FEM 모델링

결론

LiTaO₃ 웨이퍼는 RF 통신, 통합 광자공학, 그리고 가혹한 환경 센서 분야의 기술 발전을 지속적으로 뒷받침하고 있습니다. XKH의 소재 전문성, 제조 정밀도, 그리고 애플리케이션 엔지니어링 지원은 고객이 차세대 전자 시스템의 설계 과제를 극복할 수 있도록 지원합니다.