SiC 기판 P형 4H/6H-P 3C-N 4inch 두께 350um 생산등급 더미등급

간단한 설명:

P형 4H/6H-P 3C-N 4인치 SiC 기판은 두께 350μm로 전자기기 제조에 널리 사용되는 고성능 반도체 소재다. 탁월한 열 전도성, 높은 항복 전압, 극한 온도 및 부식 환경에 대한 내성으로 잘 알려진 이 기판은 전력 전자 응용 분야에 이상적입니다. 생산 등급 기판은 대규모 제조에 사용되어 첨단 전자 장치의 엄격한 품질 관리와 높은 신뢰성을 보장합니다. 한편, 더미 등급 기판은 주로 공정 디버깅, 장비 교정 및 프로토타입 제작에 활용됩니다. SiC의 우수한 특성으로 인해 SiC는 전력 장치 및 RF 시스템을 포함하여 고온, 고전압 및 고주파수 환경에서 작동하는 장치에 탁월한 선택입니다.

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제품 세부정보

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4인치 SiC 기판 P형 4H/6H-P 3C-N 매개변수 표

4 인치 직경 실리콘초경(SiC) 기판 사양

등급			제로 MPD 생산 등급(Z 등급)	표준생산 등급(P 등급)	더미 등급 (D 등급)
지름			99.5mm~100.0mm
두께			350μm ± 25μm
웨이퍼 오리엔테이션			축외: [11 방향으로 2.0°-4.0°2(-)0] 4H/6H-의 경우 ± 0.5°P, On축:〈111〉± 0.5°(3C-N의 경우)
마이크로파이프 밀도			0cm-2
비저항	p형 4H/6H-P		0.1Ωꞏcm 이하		0.3Ωꞏcm 이하
	n형 3C-N		0.8mΩꞏcm 이하		1mΩꞏcm 이하
기본 평면 방향		4H/6H-P	- {1010} ± 5.0°
		3C-N	- {110} ± 5.0°
1차 플랫 길이			32.5mm ± 2.0mm
2차 플랫 길이			18.0mm ± 2.0mm
보조 평면 방향			실리콘 페이스 업: 90° CW. 프라임 플랫에서±5.0°
가장자리 제외			3mm		6mm
LTV/TTV/활/워프			≤2.5 μm/≤5 μm/≤15 μm/≤30 μm		≤10 μm/≤15 μm/≤25 μm/≤40 μm
거			폴란드어 Ra≤1 nm
			CMP Ra≤0.2 nm		Ra≤0.5 nm
고강도 빛에 의한 가장자리 균열			없음		누적 길이 ≤ 10 mm, 단일 길이 ≤ 2 mm
고강도 빛에 의한 육각 플레이트			누적 면적 ≤0.05%		누적 면적 ≤0.1%
고강도 빛에 의한 다형 영역			없음		누적 면적 ≤3%
시각적 탄소 함유물			누적 면적 ≤0.05%		누적 면적 ≤3%
고강도 빛에 의한 실리콘 표면 긁힘			없음		누적 길이 ≤1×웨이퍼 직경
강도 빛으로 인해 가장자리 칩이 높아짐			허용되지 않음 ≥0.2mm 너비 및 깊이		5개 허용, 각각 1mm 이하
고강도에 의한 실리콘 표면 오염			없음
포장			다중 웨이퍼 카세트 또는 단일 웨이퍼 컨테이너

참고:

※결함기준은 Edge 제외 영역을 제외한 웨이퍼 전체 표면에 적용됩니다. # 스크래치는 Si 면에서만 확인해야 합니다.

350μm 두께의 P형 4H/6H-P 3C-N 4인치 SiC 기판은 첨단 전자 및 전력 소자 제조에 널리 적용됩니다. 뛰어난 열 전도성, 높은 항복 전압, 극한 환경에 대한 강한 저항성을 갖춘 이 기판은 고전압 스위치, 인버터 및 RF 장치와 같은 고성능 전력 전자 장치에 이상적입니다. 생산 등급 기판은 대규모 제조에 사용되어 전력 전자 장치 및 고주파 응용 분야에 중요한 안정적인 고정밀 장치 성능을 보장합니다. 반면, 더미 등급 기판은 주로 공정 교정, 장비 테스트, 프로토타입 개발에 사용되어 반도체 생산에서 품질 관리 및 공정 일관성을 유지하는 데 도움이 됩니다.

사양N형 SiC 복합 기판의 장점은 다음과 같습니다.

높은 열전도율: 효율적인 방열로 기판이 고온 및 고전력 애플리케이션에 이상적입니다.
높은 항복 전압: 고전압 작동을 지원하여 전력 전자 및 RF 장치의 신뢰성을 보장합니다.
가혹한 환경에 대한 저항: 고온, 부식성 환경 등 극한 환경에서도 내구성이 뛰어나 오랫동안 성능을 보장합니다.
생산 등급 정밀도: 대규모 제조에서 고품질과 안정적인 성능을 보장하며 고급 전력 및 RF 애플리케이션에 적합합니다.
테스트용 더미 등급: 생산 등급 웨이퍼를 손상시키지 않으면서 정확한 공정 교정, 장비 테스트 및 프로토타입 제작이 가능합니다.

전체적으로 350μm 두께의 P형 4H/6H-P 3C-N 4인치 SiC 기판은 고성능 전자 애플리케이션에 상당한 이점을 제공합니다. 높은 열전도율과 항복 전압으로 인해 고전력 및 고온 환경에 이상적이며, 가혹한 조건에 대한 내성이 내구성과 신뢰성을 보장합니다. 생산 등급 기판은 전력 전자 장치 및 RF 장치의 대규모 제조에서 정확하고 일관된 성능을 보장합니다. 한편, 더미 등급 기판은 공정 교정, 장비 테스트, 프로토타입 제작에 필수적이며 반도체 생산의 품질 관리와 일관성을 지원합니다. 이러한 기능 덕분에 SiC 기판은 고급 응용 분야에 매우 다양하게 활용될 수 있습니다.