CarrierC-Plane DSP TTV용 156mm 159mm 6인치 사파이어 웨이퍼

간단한 설명:

캐리어 보드용 TTV가 3미크론 미만인 156mm/159mm 직경, 6인치 Al2O3 양면 광택(DSP) 사파이어 웨이퍼. 추가 8″ / 6″ / 5″ / 2″ / 3″ / 4″ / 5″ C축, A축, R축, M축 웨이퍼. C 평면 사파이어 웨이퍼는 직경이 최대 6인치(6인치/6인치)이고 단면 광택(SSP) 또는 양면 광택(DSP) 표면이 있으며 두께는 650미크론 또는 1000미크론입니다.

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제품 세부정보

제품 태그

사양

목	6인치 C면(0001) 사파이어 웨이퍼
크리스탈 재료	99,999%, 고순도, 단결정 Al2O3
등급	프라임, Epi-Ready
표면 방향	C면(0001)
	M축을 향한 C면 오프 각도 0.2 +/- 0.1°
지름	100.0mm +/- 0.1mm
두께	650μm +/- 25μm
기본 평면 방향	C면(00-01) +/- 0.2°
단면 광택	전면	Epi-polished, Ra < 0.2 nm(AFM 기준)
(SSP)	뒷면	미세한 연삭, Ra = 0.8μm ~ 1.2μm
양면 광택	전면	Epi-polished, Ra < 0.2 nm(AFM 기준)
(DSP)	뒷면	Epi-polished, Ra < 0.2 nm(AFM 기준)
TTV	< 20μm
절하다	< 20μm
경사	< 20μm
청소/포장	클래스 100 클린룸 청소 및 진공 포장,
	1개의 카세트 포장 또는 단일 포장에 25개.

Kylopoulos 방법(KY 방법)은 현재 중국의 많은 회사에서 전자 및 광학 산업에 사용되는 사파이어 크리스탈을 생산하는 데 사용됩니다.

이 공정에서는 고순도 산화알루미늄이 섭씨 2100도 이상의 온도로 도가니에서 녹습니다. 일반적으로 도가니는 텅스텐이나 몰리브덴으로 만들어집니다. 정확하게 방향이 지정된 종자 결정이 용융된 알루미나에 담겨 있습니다. 종자 결정은 천천히 위쪽으로 당겨지며 동시에 회전할 수 있습니다. 온도 구배, 인상 속도 및 냉각 속도를 정밀하게 제어함으로써 용융물로부터 대형 단결정 거의 원통형 잉곳을 생산할 수 있습니다.

단결정 사파이어 잉곳이 성장한 후 원통형 막대로 드릴링된 다음 원하는 창 두께로 절단되고 최종적으로 원하는 표면 마감으로 연마됩니다.