캐리어 C-Plane DSP TTV용 156mm 159mm 6인치 사파이어 웨이퍼
사양
| 목 | 6인치 C-플레인(0001) 사파이어 웨이퍼 | |
| 크리스탈 소재 | 99.999%, 고순도, 단결정 Al2O3 | |
| 등급 | 프라임, 에피 레디 | |
| 표면 방향 | C-평면(0001) | |
| C-평면 M축 방향 각도 0.2 +/- 0.1° | ||
| 지름 | 100.0mm +/- 0.1mm | |
| 두께 | 650㎛ +/- 25㎛ | |
| 기본 평면 방향 | C-평면(00-01) +/- 0.2° | |
| 단면 광택 | 전면 | 에피 연마, Ra < 0.2 nm (AFM 기준) |
| (SSP) | 뒷면 | 미세 연삭, Ra = 0.8 μm ~ 1.2 μm |
| 양면 광택 | 전면 | 에피 연마, Ra < 0.2 nm (AFM 기준) |
| (디에스피) | 뒷면 | 에피 연마, Ra < 0.2 nm (AFM 기준) |
| 티티비 | < 20㎛ | |
| 절하다 | < 20㎛ | |
| 경사 | < 20㎛ | |
| 청소/포장 | Class 100 클린룸 세척 및 진공 포장, | |
| 25개가 하나의 카세트 포장 또는 단일 포장으로 제공됩니다. | ||
현재 중국의 많은 회사에서는 킬로풀로스법(KY법)을 사용하여 전자 및 광학 산업에 사용되는 사파이어 결정을 생산하고 있습니다.
이 공정에서는 고순도 산화알루미늄을 2100°C 이상의 온도에서 도가니에서 용융합니다. 도가니는 일반적으로 텅스텐이나 몰리브덴으로 만들어집니다. 정밀하게 배치된 종자 결정(seed crystal)을 용융된 알루미나에 담급니다. 종자 결정은 천천히 위로 당겨지며 동시에 회전할 수 있습니다. 온도 구배, 인상 속도, 그리고 냉각 속도를 정밀하게 제어함으로써, 용융물로부터 크고 단결정이며 거의 원통형인 잉곳을 생산할 수 있습니다.
단결정 사파이어 잉곳을 성장시킨 후 원통형 막대 모양으로 구멍을 뚫고, 원하는 창 두께로 절단한 후 마지막으로 원하는 표면 마감으로 연마합니다.
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