4H-N/6H-N SiC 웨이퍼 연구 생산 더미 등급 Dia150mm 실리콘 카바이드 기판
6인치 직경의 실리콘 카바이드(SiC) 기판 사양
| 등급 | 제로 MPD | 생산 | 연구등급 | 더미 등급 |
| 지름 | 150.0mm±0.25mm | |||
| 두께 | 4H-N | 350um±25um | ||
| 4H-SI | 500um±25um | |||
| 웨이퍼 오리엔테이션 | 축상: 4H-SI의 경우 <0001>±0.5° | |||
| 1차 아파트 | {10-10}±5.0° | |||
| 1차 플랫 길이 | 47.5mm±2.5mm | |||
| 가장자리 제외 | 3mm | |||
| TTV/활/워프 | ≤15um/<40um/<60um | |||
| 마이크로파이프 밀도 | 1cm-2 이하 | ≤5cm-2 | 15cm-2 이하 | ≤50cm-2 |
| 비저항 4H-N 4H-SI | 0.015~0.028Ω!cm | |||
| ≥1E5Ω!cm | ||||
| 거칠기 | 폴란드어 Ra ≤1nm CMP Ra≤0.5nm | |||
| #고강도 빛에 의한 균열 | 없음 | 1개 허용, ≤2mm | 누적 길이 ≤10mm, 단일 길이≤2mm | |
| *고강도 빛에 의한 육각 플레이트 | 누적 면적 ≤1% | 누적 면적 ≤ 2% | 누적 면적 ≤ 5% | |
| *고강도 빛에 의한 폴리타입 영역 | 없음 | 누적 면적 ≤ 2% | 누적 면적 ≤ 5% | |
| *&고강도 빛에 의한 긁힘 | 1 x 웨이퍼 직경 누적 길이에 3개의 스크래치 | 1 x 웨이퍼 직경 누적 길이에 스크래치 5개 | 1 x 웨이퍼 직경 누적 길이에 대해 5개의 스크래치 | |
| 엣지 칩 | 없음 | 3개 허용, 각각 0.5mm 이하 | 5개 허용, 각각 1mm 이하 | |
| 고강도 빛에 의한 오염 | 없음
| |||
판매 및 고객 서비스
자재 구매
자재 구매 부서는 제품 생산에 필요한 모든 원자재를 수집하는 역할을 담당합니다.화학적, 물리적 분석을 포함하여 모든 제품과 재료에 대한 완전한 추적이 항상 가능합니다.
품질
귀하의 제품을 제조하거나 가공하는 동안, 품질 관리 부서는 모든 재료와 공차가 귀하의 사양을 충족하거나 초과하는지 확인하는 데 관여합니다.
서비스
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