패턴 사파이어 기판 PSS 2 인치 4 인치 6 인치 6 인치 ICP 드라이 에칭은 LED 칩에 사용할 수 있습니다.
핵심 특성
1. 재료 특성 : 기판 재료는 단결정 사파이어 (Alloots)이며, 경도가 높고 내열성이 높고 화학적 안정성이 있습니다.
표면 구조 : 표면은 포토 리소그래피 및 원뿔, 피라미드 또는 육각형 어레이와 같은주기적인 마이크로-나노 구조로 에칭에 의해 형성된다.
3. 광학 성능 : 표면 패터닝 설계를 통해 인터페이스에서의 빛의 총 반사가 줄어들고 광 추출 효율이 향상됩니다.
4. 열 성능 : 사파이어 기판은 우수한 열전도율을 가지며 고전력 LED 응용 분야에 적합합니다.
5. 크기 사양 : 일반적인 크기는 2 인치 (50.8mm), 4 인치 (100mm) 및 6 인치 (150mm)입니다.
주요 응용 프로그램 영역
1. LED 제조 :
향상된 경량 추출 효율 : PSS는 패터닝 설계를 통한 광 손실을 감소시켜 LED 밝기와 빛나는 효율을 크게 향상시킵니다.
개선 된 에피 택셜 성장 품질 : 패턴 화 된 구조는 GAN 에피 택셜 층에 더 나은 성장 기반을 제공하고 LED 성능을 향상시킵니다.
2. 레이저 다이오드 (LD) :
고전력 레이저 : PSS의 높은 열전도율과 안정성은 고전력 레이저 다이오드에 적합하여 열 소산 성능 및 신뢰성을 향상시킵니다.
낮은 임계 값 전류 : 에피 택셜 성장을 최적화하고, 레이저 다이오드의 임계 전류를 줄이며, 효율성을 향상시킵니다.
3. 광 검출기 :
높은 감도 : PSS의 높은 광 전송 및 낮은 결함 밀도는 광 검출기의 감도 및 응답 속도를 향상시킵니다.
넓은 스펙트럼 반응 : 자외선에서 가시 범위에서 광전자 검출에 적합합니다.
4. 전력 전자 장치 :
고전압 저항 : 사파이어의 높은 단열재 및 열 안정성은 고전압 전력 장치에 적합합니다.
효율적인 열 소산 : 열전도율이 높으면 전원 장치의 열 소산 성능을 향상시키고 서비스 수명을 연장시킵니다.
5. RF 장치 :
고주파 성능 : PSS의 낮은 유전 손실 및 높은 열 안정성은 고주파 RF 장치에 적합합니다.
저 소음 : 평탄도가 높고 결함 밀도가 낮 으면 장치 노이즈가 줄어들고 신호 품질을 향상시킵니다.
6. 바이오 센서 :
높은 감도 검출 : PSS의 높은 광 투과 및 화학적 안정성은 고감도 바이오 센서에 적합합니다.
생체 적합성 : 사파이어의 생체 적합성은 의료 및 생물학적 응용에 적합합니다.
Gan 에피 택셜 재료를 갖는 패턴 화 된 사파이어 기판 (PSS) :
패턴 화 된 사파이어 기판 (PSS)은 GAN (질화물) 에피 택셜 성장에 이상적인 기질이다. 사파이어의 격자 상수는 간과 가깝기 때문에 에피 택셜 성장의 격자 불일치와 결함을 줄일 수 있습니다. PSS 표면의 마이크로-나노 구조는 광 추출 효율을 향상시킬뿐만 아니라 GAN 에피 택셜 층의 결정 품질을 향상시켜 LED의 성능 및 신뢰성을 향상시킨다.
기술 매개 변수
| 목 | 패턴 사파이어 기판 (2 ~ 6 인치) | ||
| 지름 | 50.8 ± 0.1 mm | 100.0 ± 0.2 mm | 150.0 ± 0.3 mm |
| 두께 | 430 ± 25μm | 650 ± 25μm | 1000 ± 25μm |
| 표면 방향 | C- 평면 (0001) M- 축을 오프 앵글 (10-10) 0.2 ± 0.1 ° | ||
| C- 평면 (0001) A 축으로 오프 앵글 (11-20) 0 ± 0.1 ° | |||
| 1 차 평평한 방향 | A- 평면 (11-20) ± 1.0 ° | ||
| 1 차 평평한 길이 | 16.0 ± 1.0 mm | 30.0 ± 1.0 mm | 47.5 ± 2.0 mm |
| R- 평면 | 9-4 세 | ||
| 전면 마감 | 패턴 | ||
| 뒷면 표면 마감 | SSP : Fine-Ground, RA = 0.8-1.2um; DSP : EPI-POLISHED, RA <0.3NM | ||
| 레이저 마크 | 후면 | ||
| TTV | ≤8μm | ≤10μm | ≤20μm |
| 절하다 | ≤10μm | ≤15μm | ≤25μm |
| 경사 | ≤12μm | ≤20μm | ≤30μm |
| 가장자리 제외 | ≤2 mm | ||
| 패턴 사양 | 모양 구조 | 돔, 콘, 피라미드 | |
| 패턴 높이 | 1.6 ~ 1.8μm | ||
| 패턴 직경 | 2.75 ~ 2.85μm | ||
| 패턴 공간 | 0.1 ~ 0.3μm | ||
XKH는 고객이 LED, 디스플레이 및 광전자 분야에서 효율적인 혁신을 달성 할 수 있도록 기술 지원 및 애프터 서비스를 통해 고품질의 맞춤형 패턴 Sapphire Sapphire 기판 (PSS)을 제공하는 것을 전문으로합니다.
1. 고품질 PSS 공급 : LED, 디스플레이 및 광전자 장치의 요구를 충족시키기 위해 다양한 크기 (2 ", 4", 6 ")의 패턴 화 된 사파이어 기판.
2. 사용자 정의 디자인 : 표면 마이크로-나노 구조 (예 : 원뿔, 피라미드 또는 육각형 배열)를 사용자 정의하여 가벼운 추출 효율을 최적화해야합니다.
3. 기술 지원 : PSS 애플리케이션 설계, 프로세스 최적화 및 기술 상담을 제공하여 고객이 제품 성능을 향상시킬 수 있도록 도와줍니다.
4. 에피 택셜 성장 지원 : GAN 에피 택셜 재료와 일치하는 PS는 고품질 에피 택셜 층 성장을 보장하기 위해 제공됩니다.
5. 테스트 및 인증 : PSS 품질 검사 보고서를 제공하여 제품이 산업 표준을 충족 할 수 있도록합니다.
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