패턴형 사파이어 기판(PSS) 2인치, 4인치, 6인치 ICP 건식 식각은 LED 칩에 사용할 수 있습니다.
핵심 특징
1. 재료 특성: 기판 재료는 높은 경도, 높은 내열성 및 화학적 안정성을 지닌 단결정 사파이어(Al₂O₃)입니다.
2. 표면 구조: 표면은 포토리소그래피 및 에칭을 통해 원뿔, 피라미드 또는 육각형 배열과 같은 주기적인 마이크로-나노 구조로 형성됩니다.
3. 광학적 성능: 표면 패턴 설계를 통해 계면에서의 빛의 전반사를 줄이고 광 추출 효율을 향상시켰습니다.
4. 열 성능: 사파이어 기판은 열전도율이 뛰어나 고출력 LED 응용 분야에 적합합니다.
5. 크기 사양: 일반적인 크기는 2인치(50.8mm), 4인치(100mm) 및 6인치(150mm)입니다.
주요 적용 분야
1. LED 제조:
향상된 광 추출 효율: PSS는 패턴 설계를 통해 광 손실을 줄여 LED 밝기와 발광 효율을 크게 향상시킵니다.
향상된 에피택셜 성장 품질: 패턴 구조는 GaN 에피택셜 층의 성장을 위한 더 나은 기반을 제공하고 LED 성능을 향상시킵니다.
2. 레이저 다이오드(LD):
고출력 레이저: PSS의 높은 열전도율과 안정성은 고출력 레이저 다이오드에 적합하여 열 방출 성능과 신뢰성을 향상시킵니다.
낮은 문턱 전류: 에피택셜 성장을 최적화하여 레이저 다이오드의 문턱 전류를 낮추고 효율을 향상시킵니다.
3. 광검출기:
높은 감도: PSS의 높은 광 투과율과 낮은 결함 밀도는 광검출기의 감도와 응답 속도를 향상시킵니다.
넓은 스펙트럼 응답 범위: 자외선에서 가시광선 영역에 이르는 광전 검출에 적합합니다.
4. 전력 전자 장치:
고전압 저항성: 사파이어는 높은 절연성과 열 안정성을 지니고 있어 고전압 전력 장치에 적합합니다.
효율적인 열 방출: 높은 열전도율은 전력 장치의 열 방출 성능을 향상시키고 수명을 연장합니다.
5. RF 장치:
고주파 성능: PSS의 낮은 유전 손실과 높은 열 안정성은 고주파 RF 장치에 적합합니다.
저잡음: 높은 평탄도와 낮은 결함 밀도는 장치 잡음을 줄이고 신호 품질을 향상시킵니다.
6. 바이오센서:
높은 감도 검출: PSS의 높은 광 투과율과 화학적 안정성은 고감도 바이오센서에 적합합니다.
생체 적합성: 사파이어는 생체 적합성이 뛰어나 의료 및 생체 검출 분야에 적합합니다.
GaN 에피택셜 물질이 증착된 패턴형 사파이어 기판(PSS):
패턴형 사파이어 기판(PSS)은 GaN(질화갈륨) 에피택셜 성장에 이상적인 기판입니다. 사파이어의 격자 상수는 GaN과 유사하여 에피택셜 성장 과정에서 격자 불일치 및 결함을 줄일 수 있습니다. PSS 표면의 미세-나노 구조는 광 추출 효율을 향상시킬 뿐만 아니라 GaN 에피택셜 층의 결정 품질을 개선하여 LED의 성능과 신뢰성을 향상시킵니다.
기술적 매개변수
| 목 | 패턴 사파이어 기판(2~6인치) | ||
| 지름 | 50.8 ± 0.1 mm | 100.0 ± 0.2 mm | 150.0 ± 0.3 mm |
| 두께 | 430 ± 25μm | 650 ± 25μm | 1000 ± 25μm |
| 표면 방향 | C면(0001)이 M축(10-10) 방향으로 0.2 ± 0.1° 기울어져 있음 | ||
| C면(0001)은 A축(11-20) 방향으로 0 ± 0.1° 각도로 기울어져 있습니다. | |||
| 기본 평면 방향 | A면 (11-20) ± 1.0° | ||
| 기본 평면 길이 | 16.0 ± 1.0 mm | 30.0 ± 1.0 mm | 47.5 ± 2.0 mm |
| R-플레인 | 9시 | ||
| 전면 표면 마감 | 무늬가 있는 | ||
| 뒷면 마감 | SSP:정밀연마, Ra=0.8-1.2μm; DSP:에피폴리싱, Ra<0.3nm | ||
| 레이저 마킹 | 후면 | ||
| 티비 | ≤8μm | ≤10μm | ≤20μm |
| 절하다 | ≤10μm | ≤15μm | ≤25μm |
| 경사 | ≤12μm | ≤20μm | ≤30μm |
| 에지 제외 | ≤2mm | ||
| 패턴 사양 | 형태 구조 | 돔, 원뿔, 피라미드 | |
| 패턴 높이 | 1.6~1.8μm | ||
| 패턴 직경 | 2.75~2.85μm | ||
| 패턴 공간 | 0.1~0.3μm | ||
XKH는 고품질 맞춤형 패턴 사파이어 기판(PSS)을 전문적으로 제공하며, 기술 지원 및 사후 서비스를 통해 고객이 LED, 디스플레이 및 광전자 분야에서 효율적인 혁신을 달성할 수 있도록 지원합니다.
1. 고품질 PSS 공급: LED, 디스플레이 및 광전자 장치의 요구 사항을 충족하기 위해 다양한 크기(2인치, 4인치, 6인치)의 패턴 사파이어 기판을 제공합니다.
2. 맞춤형 설계: 고객의 요구에 따라 표면의 미세 나노 구조(예: 원뿔형, 피라미드형 또는 육각형 배열)를 맞춤 설계하여 광 추출 효율을 최적화합니다.
3. 기술 지원: 고객의 제품 성능 향상을 돕기 위해 PSS 애플리케이션 설계, 프로세스 최적화 및 기술 컨설팅을 제공합니다.
4. 에피택셜 성장 지원: 고품질 에피택셜 층 성장을 보장하기 위해 GaN 에피택셜 재료와 일치하는 PSS가 제공됩니다.
5. 시험 및 인증: 제품이 산업 표준을 충족하는지 확인하기 위해 PSS 품질 검사 보고서를 제공합니다.
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