패턴화된 사파이어 기판 PSS 2인치 4인치 6인치 ICP 건식 에칭은 LED 칩에 사용 가능

1. LED 제조:
향상된 광 추출 효율: PSS는 패터닝 설계를 통해 광 손실을 줄여 LED 밝기와 발광 효율을 크게 향상시킵니다.

개선된 에피택셜 성장 품질: 패턴화된 구조는 GaN 에피택셜 층을 위한 더 나은 성장 기반을 제공하고 LED 성능을 개선합니다.

2. 레이저 다이오드(LD) :
고출력 레이저: PSS의 높은 열전도도와 안정성은 고출력 레이저 다이오드에 적합하며, 방열 성능과 신뢰성을 향상시킵니다.

낮은 임계 전류: 에피택셜 성장을 최적화하고, 레이저 다이오드의 임계 전류를 낮추고, 효율성을 향상시킵니다.

3. 광검출기:
높은 감도: PSS의 높은 광투과율과 낮은 결함 밀도는 광검출기의 감도와 응답 속도를 향상시킵니다.

광범위한 스펙트럼 반응: 자외선에서 가시광선 범위의 광전 검출에 적합합니다.

4. 전력 전자공학:
고전압 저항성: 사파이어의 높은 절연성과 열 안정성은 고전압 전력 장치에 적합합니다.

효율적인 방열: 높은 열전도도는 전력 장치의 방열 성능을 개선하고 서비스 수명을 연장합니다.

5. RF 장치:
고주파 성능: PSS의 낮은 유전 손실과 높은 열 안정성은 고주파 RF 장치에 적합합니다.

낮은 잡음: 높은 평탄도와 낮은 결함 밀도는 장치 잡음을 줄이고 신호 품질을 향상시킵니다.

6. 바이오센서:
고감도 검출: PSS의 높은 광투과율과 화학적 안정성은 고감도 바이오센서에 적합합니다.

생체적합성: 사파이어의 생체적합성은 의료 및 생물학적 검출 분야에 적합합니다.
GaN 에피택셜 소재를 사용한 패턴화된 사파이어 기판(PSS):

패턴화된 사파이어 기판(PSS)은 GaN(질화갈륨) 에피택셜 성장에 이상적인 기판입니다. 사파이어의 격자 상수는 GaN과 유사하여 에피택셜 성장 시 격자 부정합과 결함을 줄일 수 있습니다. PSS 표면의 마이크로-나노 구조는 광 추출 효율을 향상시킬 뿐만 아니라 GaN 에피택셜층의 결정 품질을 향상시켜 LED의 성능과 신뢰성을 향상시킵니다.