기판
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실리콘 카바이드 SiC 잉곳 6인치 N 유형 더미/우수 등급 두께는 사용자 정의 가능
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SiC 잉곳 4H-N 유형 더미 등급 2인치 3인치 4인치 6인치 두께:>10mm
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HPSI SiC 웨이퍼 직경:3인치 두께:350um± 25 µm 전력전자용
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3인치 고순도 반절연(HPSI) SiC 웨이퍼 350um 더미 등급 프라임 등급
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Sic 기질 실리콘 탄화물 웨이퍼 4H-N 유형 높은 경도 내식성 전성기 급료 닦기
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2인치 6H-N 실리콘 카바이드 기판 Sic 웨이퍼 이중 광택 전도성 프라임 등급 Mos 등급
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2인치 실리콘 카바이드 웨이퍼 6H-N 유형 프라임 등급 연구 등급 더미 등급 330μm 430μm 두께
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2인치 탄화규소 기판 6H-N 양면 연마 직경 50.8mm 생산 등급 연구 등급
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p-type 4H/6H-P 3C-N TYPE SIC 기판 4inch <111>± 0.5°Zero MPD
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SiC 기판 P형 4H/6H-P 3C-N 4inch 두께 350um 생산등급 더미등급
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4H/6H-P 6inch SiC 웨이퍼 Zero MPD grade 생산 Grade Dummy Grade
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P형 SiC 웨이퍼 4H/6H-P 3C-N 6인치 두께 350μm, 1차 평면 방향